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Zirkonium (Zr) Sputtertargets

Zirconium (Zr) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.

Zirconium (Zr) General Information

Zirkonium ist im Periodensystem als Übergangsmetall eingestuft. Es hat eine Dichte von 6,49 g/cm³, einen Schmelzpunkt von 1.852 °C und einen Dampfdruck von 10-4 Torr bei 1.987 °C. Es ist silberweiß und wird aufgrund seiner Neigung zur Korrosionsbeständigkeit stark in der chemischen Industrie eingesetzt. Zirkonium findet man in chirurgischen Geräten, supraleitenden Magneten und der Umhüllung von Kernreaktoren. Es wird auch als Legierungsmittel für Stahl verwendet. Seine Verbindung, Zirkonoxid, ist oft ein Ersatz für Diamanten in Schmuck. Zirkonium, zusammen mit seinen Legierungen und Verbindungen, wird unter Vakuum für optische Beschichtungen, Halbleiter und Datenspeicher verdampft.

Zirconium (Zr) Specifications

WerkstofftypZirkonium
SymbolZr
Atomares Gewicht91,224
Ordnungszahl40
Farbe und AussehenSilbrig weiß, metallisch
Wärmeleitfähigkeit22,7 W/m.K
Schmelzpunkt (°C)1.852
Wärmeausdehnungskoeffizient5,7 x 10-6/K
Theoretische Dichte (g/cm³)6,49
Z-Verhältnis0,6
SputterGleichspannung
Max. Leistungsdichte*
(Watt/Quadratzoll)
50*
Art des BondingIndium, Elastomer
Exportkontrolle (ECCN) 1C234
BemerkungenLegiert mit Wolfram. Dünnfilme oxidieren sofort.

* Dies ist eine Empfehlung, die auf unserer Erfahrung mit diesen Materialien in KJLC-Sputterkanonen basiert. Die Raten basieren auf nicht-gebondeten Targets und sind materialspezifisch. Gebondete Targets sollten mit geringerer Leistung betrieben werden, um ein Versagen des Bondings zu vermeiden. Gebondete Targets sollten je nach Material mit 20 Watt/Quadratzoll oder niedriger betrieben werden.

* Suggested maximum power densities are based on using a sputter up orientation with optimal thermal transfer from target to the sputter cathode cooling well. Using other sputtering orientations or if there is a poor thermal interface between target to sputter cathode cooling well may require a reduction in suggested maximum power density and/or application of a thermal transfer paste. Please contact techinfo@lesker.com for specific power recommendations.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hazard Notes:
  • Export Controlled: Es handelt sich um einen Werkstoff, dessen Export kontrolliert wird. Es können Einschränkungen gelten.
SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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By staying on the leading edge of engineering and technology, we offer our customers the advantage of unparalleled knowledge and expertise in the manufacturing of TORUS® Magnetron Sputtering Cathodes and Thin Film Deposition Vacuum Systems.

Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX271A2 $86,00 Auf Lager
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX271A4 $113,00 Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 2,00"DURCHMESSER X 0,125"DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX272A2 $94,00 Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 2,00" DURCHMESSER X 0.250"DICKE, +/- 0,010" ALLE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX272A4 $99,00 Auf Lager
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702 2,00"DURCHMESSER X 0,250"DICKE, +/-0,010" ALLE, W/ 2-56 ZENTRALES LOCH, 0,133" TIEF, MIT HALTER UND SCHRAUBE 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 US-Pistolen EJTZRXX272K4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 2,00"DURCHMESSER X 0,250"DICKE, +/- 0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 2" TORUS MAG KEEPER 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 TORUS Mag Keeper 2 2 EJTZRXX272TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010" ALLE 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX273A2 $111,00 Auf Lager
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, PRO ZEICHNUNG 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX273A4 $155,00 Auf Lager
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE, MIT SCHLÜSSEL, FÜR 3" TORUS MAG KEEPER 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 TORUS Mag Keeper 3 2 EJTZRXX273TK4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX274A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX274A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 54 MM DURCHMESSER X 0.5 MM DICKE, +/- 0.25 MM ALL 54 mm Dia. x 0,5 mm Thick Grad 702 EJTZRXXSPL14 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 6,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/- 0,010” ALL 6,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX276A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 6,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/- 0,010" ALLE 6,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX276A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 8,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE,+/- 0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,125" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX278A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkonium EUDF ZIRkONIUM TARGET, Zr, GRAD 702, 8,00" DURCHMESSER X 0,25" DICKE, +/-0,010" ALLE 8,00" Durchmesser x 0,250" Dicke Grad 702 die meisten Standardkanonen 1 EJTZRXX278A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.
2.
Gebundene Baugruppen zur Verwendung in TORUS Mag Keeper Pistolen erfordern Elastomer-Verbindungen.

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