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Zirconium Oxide (ZrO2, Partially stabilized ~5% Y2O3) Sputtering Targets

Zirconium Oxide (ZrO2, Partially stabilized ~5% Y2O3) Sputtering Targets Overview

Unser umfassendes Angebot an Sputtertargets, Verdampferquellen und anderen Depositionswerkstoffen ist nach Werkstoff auf der Webseite aufgelistet. Nachfolgend finden Sie Preise für Sputtertargets und Depositionsmaterialien nach Ihren Anforderungen. Die tatsächlichen Preise können aufgrund von Marktschwankungen variieren. To speak to someone directly about current pricing or for a quote on sputtering targets and other deposition products not listed, please click here.


Z-Faktoren

Empirische Bestimmung des Z-Faktors

Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:

  • Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
  • Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
  • Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
  • Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
  • Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
  • Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
  • Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.

Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.

Hazard Notes:
  • Export Controlled: Es handelt sich um einen Werkstoff, dessen Export kontrolliert wird. Es können Einschränkungen gelten.
SDS
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FAQ zu den Depositionsmaterialien
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Process Equipment Expertise
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Bestelltabelle

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Werkstoff Beschreibung Größe Reinheit Kompatible(s) Sputterkanonen Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
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Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 1,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 1,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY301A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 1,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 1,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY301A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 2,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 2,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY302A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 2,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 2,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY302A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 3,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 3,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY303A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 3,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 3,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY303A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 4,00" DURCHMESSER X 0,125" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 4,00" Durchmesser x 0,125" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY304A2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Zirkoniumoxid EUDF ZIRkONIUMOXID/YTTRIA TARGET, ZrO2/Y2O3 95/5 MOL%, 99,9% REIN EX Hf, 4,00" DURCHMESSER X 0,250" DICKE, +/-0,010" ALLE, TEILWEISE STABILISIERT 4,00" Durchmesser x 0,250" Dicke 99,9 % die meisten Standardkanonen 1 EJTZROY304A4 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Die Abmessungen variieren je nach Sputterpistole. Lesen Sie das Handbuch der Sputterpistole, um die richtige Targetgröße zu bestimmen.

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