Herzlich willkommen bei der Kurt J. Lesker Company.  

Anmelden | Registrieren

Aktuelle Region: International (Ändern) | Kontakt |   RSS   Twitter   LinkedIn   YouTube   Instagram

Schließen

Bitte wählen Sie das von Ihnen gewünschte Land oder die Region aus,
um auf die entsprechende Website von Lesker weitergeleitet zu werden.

Elastomer-Targetbondingservice

Vorteile der Verklebung von Sputtertargets

  1. Ein Material kann Wärme durch seine Dicke schneller übertragen, wenn es dünner ist. Bei den meisten Sputterkanonen im R&D-Bereich wird die Dicke des Targets auf die Hälfte reduziert, wenn es auf eine Trägerplatte gebondet wird, um verwendbare Maximaldicke für die Kanone einzuhalten. Die andere Hälfte der Dicke nimmt dann die Kupferträgerplatte ein. Das dünnere Target kann effektiver gekühlt werden als ein dickeres Target, da die Distanz reduziert wird, die die auf der Oberfläche des Targets erzeugte Wärme zurücklegen muss, um die gekühlte Seite zu erreichen.
  2. Ein keramischer Werkstoff kann deutlich effizienter gekühlt werden, wenn er gebondet ist. Das Target befindet sich in engem Kontakt mit der leitfähigen Lötschicht, die die Wärme von der Oberfläche des Targets in die Kupferträgerplatte zieht. Die Kupferträgerplatte ist in Kontakt mit der wassergekühlten Kanone, so dass die Wärme durch beide Kupferstücke übertragen und durch das Kühlwasser abgeführt wird.
  3. Einige keramische Sputtertargets reißen beim Sputtern aufgrund eines Temperaturschocks, unabhängig davon, ob das Target verklebt ist oder ein Rampenverfahren zur Konditionierung des Targets verwendet wird. Gebondete Targets können in der Regel auch nach dem Auftreten eines Targetrisses weiterverwendet werden, wohingegen dies bei einem Target ohne Bonding typischerweise nicht möglich ist.

Merkmale

Elastomer ist eine alternative Bondingmethode mit einer höhere Temperaturbeständigkeit im Vergleich zum Indiumbonding. Das Elastomerbonding wird empfohlen, wenn bei Kunden ein Indiumbonding immer wieder schmilzt. Wir empfehlen auch Elastomerbindungen für niedrigschmelzende Targetmaterialien sowie temperaturempfindliche Verbindungen und Targets, die entweder eine geringe Dichte haben oder besonders zerbrechlich sind. Die Elastomerverklebung erfolgt bei relativ niedrigen Temperaturen zwischen 50 °C und 100 °C, so dass sie während des eigentlichen Bondingprozesses schonender für das Target ist. Viele Kunden zögern, die Elastomerbindung zu wählen, weil sie wissen, dass die meisten polymerbasierten Materialien in einer Vakuumkammer ausgasen. Das Elastomerbonding ist aber tatsöchlich UHV-kompatibel und hat ein NASA "A"-Rating, was bedeutet, dass es bei 150 °C bei 1 x 10-7 Torr über 24 Stunden eine Gesamtmassenänderung von weniger als 1 % erfährt. Zudem nimmt das Elastomer keine Feuchtigkeit auf und ist für Zyklen zwischen Vakuum und Atmosphäre mehr als geeignet. Einige Materialien, die ein Elastomerbonding erfordern, sind die folgenden:

Spezifikationstabelle

Maximale Betriebstemperatur ( °C) 250 °C
Wärmeleitfähigkeit (W/mK) 54
Wärmeausdehnungskoeffizient (K-1) 2,2 x 10-4
Elektrischer Widerstand (Ohm-cm) 0,0476
Abdeckung des Bonding >98 %
Dicke des Bonding 0,010” - 0,025”

Produktdatenblatt
Klicken Sie für ein herunterladbares Datenblatt über den Elastomer-Targetbondingservice.
FAQ zu den Depositionsmaterialien
Klicken Sie hier für Antworten auf einige der häufigsten Fragen, die uns gestellt werden.
Kontakt
Um direkt mit jemandem zu sprechen, rufen Sie bitte +1 412 387 9200 oder senden Sie eine E-Mail an international@lesker.com.

Bestelltabelle

Target-
Größe
Target-
Werkstoff
Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
hinzufügen
Target-
Größe
Target-
Werkstoff
Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb
hinzufügen
1" bis 2" Durchmesser
Metall oder Keramik
EJBOND1-ELAS $194,00 Call for Availability
3" bis 4" Durchmesser
Metall oder Keramik
EJBOND3-ELAS $317,00 Call for Availability
5" bis 6" Durchmesser
Metall oder Keramik
EJBOND5-ELAS $378,00 Call for Availability
7" bis 8" Durchmesser
Metall oder Keramik
EJBOND7-ELAS $439,00 Call for Availability
Powered By OneLink