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Technische Hinweise zu Aufdampfmaterialien und Sputtertargets


KJLC™ ist ISO-zertifiziert ISO:9001

Die Firma Kurt J. Lesker ist stolz darauf, die Zertifizierung der International Standards Organization (ISO) für Qualitätsmanagement bekannt zu geben. Wir halten uns an die ISO 9001-Normen, die für das Qualitätsmanagement im Business-to-Business-Geschäft erforderlich sind. Im Mittelpunkt dieser ISO-Anforderungen steht die Steigerung der Kundenzufriedenheit durch die Erfüllung von Kunden- und gesetzlichen Anforderungen bei gleichzeitiger kontinuierlicher Leistungssteigerung.

Durch die ISO-Zertifizierung ist unsere Materialabteilung besser in der Lage, die Anforderungen unserer Kunden im Bereich der thermischen Verdampfung und Magnetron-Sputtern zu erfüllen. Unser präzises Lagerverwaltungssystem und die strengen Verpackungsanforderungen stellen sicher, dass Ihr Auftrag pünktlich ankommt und für Ihre F&E- oder Produktionsvakuumanwendung bereit ist. Wir stellen unseren Kunden bei jeder Bestellung Materialzertifizierungsdatenblätter zur Verfügung, so dass Sie beruhigt bei uns Edelmetalle, Legierungen und Verbindungen bestellen können, denn Sie erhalten genau die von Ihnen gewünschte Reinheit und Elementzusammensetzung.

Überzeugen Sie sich selbst, warum unser ISO-zertifiziertes Unternehmen Ihr Hauptlieferant von Materialien für die Deposition sein sollte.


Materialien und Reinheit

Die aufgelisteten Produkte umfassen reine Elemente, Verbindungen, Legierungen, Zwischenmetalle und Mischungen (Elemente und/oder Verbindungen gemischt mit den vom Kunden angegebenen Atomgewichtsprozenten).

Die Reinheit einer Dünnfilms hängt zum Teil von der Reinheit des Ausgangsmaterials ab.

Zusätzliche Verunreinigungen können durch Reaktion mit Luft, Partikeltransfer bei der Handhabung oder Montage, Restdämpfe im Vakuumsystem und Kreuzkontaminationen aus anderen Depositionsquellen entstehen. Jedoch kann keine noch so hohe Sauberkeit des Systems oder beim Handling eine Verunreiningung des Dünnfilms aufgrund ursprünglicher Materialreinheit reduzieren.

HINWEIS: Hier sind nur die am häufigsten bestellten Reinheiten aufgeführt. Wenn andere Reinheitsgrade erforderlich sind, wenden Sie sich an unsere Verkaufsabteilung.

Einige reaktive Materialien werden in einer leichten Mineralölbeschichtung geliefert. Es ist wichtig, ein korrektes Reinigungsprotokoll zu befolgen, um dieses Öl zu entfernen. Wenn sich die Anweisungen vom Material abgelöst haben oder nicht zur Verfügung gestellt wurden, wenden Sie sich bitte an die Verkaufsabteilung.


TORUS® Targets

Targets für die meisten TORUS Sputterquellen sind einfache Scheibenformen mit konstanter Dicke, geordnet nach Material und Durchmesser. Einige ältere TORUS-Designs mit großem Durchmesser erfordern Targets, die ringförmige Aussparungen aufweisen.

Gebondete Targets sind dünne Scheiben aus reinem Material, die mit einer OFHC-Kupferträgerplatte verbunden sind. Gebondete Targets werden eingesetzt, um die Targetkosten bei ersten Depositionstests zu reduzieren, insbesondere bei teureren Materialien. Ein Bonding bietet zudem Stabilität für zerbrechliche, spröde Materialien.

Die Materialabteilung von KJLC bietet Bondingservice und die Materialscheiben separat an für Kunden, die es vorziehen, ihre eigenen Trägerplatten bereitzustellen oder das Target selbst zu bonden.

Gebondete Targets werden auch in Hochleistungsanwendungen eingesetzt, wo das dünnere Target einen geringeren thermischen Widerstand bietet und die Leitfähigkeit des Kupfers die thermische Leitung zum Kühlkopf der Quelle verbessert.

Da die Bandbreite der möglichen Targetformen und -größen so enorm ist, führen wir nur Scheiben mit einheitlicher Dicke auf. Wenn Sie die Größe, Form oder nicht das Material finden, das Sie für Ihre OEM Sputterquelle benötigen, kontaktieren Sie bitte unsere Materialabteilung unter materials@lesker.com mit Ihren Anfragen.


Targets für TORUS® Sputterquellen - Größentabelle

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TORUS Ausgangsmodell Durchmesser Target Dicke (nicht magnetisch) Dicke (Ferromagnetische Materialien)
TORUS 1
(Modell TRS1)
1" +0,005"/-0,020" 0,120"-0,130" Nicht geeignet für magnetische Materialien
TORUS 2
(Modell TRS2 und TM02)
2" +/-0,020" 0,125"-0,255"* Fe: 0,06" Max (HSMA**)
Co und Ni: 0,125" Max (HSMA**)
TORUS 3
(Modell TRS3 und TM03)
3" +/-0,020" 0,050"-0,255" Fe: 0,08" Max (HSMA**)
Co: 0,125" Max (HSMA**)
Ni: 0,125" (SMA***) oder 0,250" Max (HSMA**)
TORUS 4
(Modell TRS4)
4" +/-0,020" 0,050"-0,255" Fe: 0,08" Max (HSMA**)
Co: 0,125" Max (HSMA**)
Ni: 0,125" (SMA) oder 0,250" Max (HSMA**)
TORUS 6
(Modell TRS6)
6" +0,020" /-0,030" Max 0,625" -
TORUS 7
(Modell TM07)
7" +0,020" /-0,030" Max 0,625" -
TORUS Mag Keeper 2 2" +/-0,010" 0,250" +/-0,010" Fe: 0,055" Max (HSMA**)
Co: 0,080" Max (HSMA**)
Ni: 0,125" Max (HSMA**)
TORUS Mag Keeper 3 3" +/-0,010" 0,375" +/-0,010" Fe: 0,100" Max (HSMA**)
Co: 0,125" Max (HSMA**)
Ni: 0,250" Max (HSMA**)
TORUS Mag Keeper 4 4" +/-0,010" 0,375" +/-0,010" Fe: 0,100" Max (HSMA**)
Co: 0,100" Max (HSMA**)
Ni: 0,250" Max (HSMA**)
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*Dünnere Targets können durch Bonding des Materials auf eine Kupferträgerplatte verwendet werden.
**HSMA Hochfeste Magnetanordnung
***SMA Standard-Magnetanordnung
Sputter-Targets

Sputter-Targets

Materialreinheit

Verdampfungsstücke

Depositionsverfahren

Für weitere Informationen zur thermischen Verdampfung und dem Sputtern von Materialien, suchen Sie bitte in unseren technische Informationen.

Beschreibungen und Begriffe

Bonding: Für diese Materialien wird ein Bonding empfohlen. Viele Materialien haben Eigenschaften, die für das Sputtern nicht geeignet sind, z. B. Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit. Um mehr Informationen zu erhalten, klicken Sie bitte hier.

Dichte: Einige Materialien und Herstellungsverfahren können Produkte mit geringerer Dichte als der Durchschnitt ergeben. Unterdurchschnittliche Dichten beeinflussen die Leistung je nach Prozessanforderung.

Magnetismus: Ferromagnetische Materialien erfordern eine zusätzliche Berücksichtigung bei der Auswahl der Konfiguration/Dicke. Hochfeste Magnete oder dünnere Targets können erforderlich sein. Ein Bonding dieser Materialien muss zusätzlich bedacht werden, da sich dadurch der Abstand zum Magneten vergrößert. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an Ihren Magnetron-Sputterkathodenlieferanten oder lesen Sie Ihr Gerätehandbuch.

Kann in Öl verpackt sein: Aufgrund der hohen Reaktivität dieser Materialien ist eine Lagerung in Öl erforderlich, um die Möglichkeit einer Oxidation oder einer anderen Reaktion zu verringern. Klicken Sie bitte hier, um den empfohlenen Reinigungsvorgang zu lesen.

Porosität: Einige Materialien und Herstellungsmethoden können Produkte mit einer überdurchschnittlichen Porosität ergeben. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.

Oberfläche: Einige Materialien und Herstellungsmethoden können zu Produkten mit Oberflächenfehlern führen. In vielen Fällen sind diese Unvollkommenheiten lediglich optische Mängel. Die Leistung kann je nach Prozessanforderungen beeinträchtigt werden.

TREM: Reinheit für diese Materialien wird unter Berücksichtigung von Trace Rare Earth Metals (TREM) berechnet. Nicht Selten-Erdelemente können von der Gesamtreinheitsberechnung ausgeschlossen werden.

Preisgestaltung

  • Es werden alle Anstrengungen unternommen, um korrekte Preise anzuzeigen. Wo immer möglich, halten wir uns an den Listenpreis, auch wenn der aktuelle Preis höher ist. Wir behalten uns aber das Recht vor, die Preise ohne Vorankündigung zu ändern, auch nachdem das Material bestellt wurde.
  • Bei Materialien mit großen täglichen Preisschwankungen geben wir in der Preisspalte „Call“ an.

OEM Targets

Die Palette der von OEM-Sputterquellen verwendeten Targetformen und -abmessungen ist zu groß, um jede Variante aufzulisten. Es werden nur Scheibenformen angezeigt, aber kundenspezifische Größen, Formen oder Profile für fast jede OEM-Quelle sind verfügbar. Kontaktieren Sie die Materialabteilung für weitere Informationen.

Aufdampfmaterialien

Verdampfungsmaterialien werden nach Material und Form aufgelistet, z. B. Al Canes, Al Clips, Al Pellets. Für andere als die aufgeführten Materialien und Formen wenden Sie sich bitte an die Materialabteilung.

Setzen Sie sich mit uns in Verbindung

For inquiries regarding pure materials as sputter targets or evaporation pieces, please contact KJLC's Materials Department by clicking here .

Besuchen Sie unsere Website für ein Online-Angebot unter www.lesker.com/MaterialsQuotation.cfm.

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