Werkstoffdepositionstabelle
Werkstoff | Symbol | MP (°C) |
S/D | g/cm3 | Z-Verhältnis | Temp.(°C) gegeben Verdampf. Druck (Torr) |
Elektronenstrahlverdampfung | Thermisches Verdampfen | Sputter | Bemerkungen | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
10-8 | 10-6 | 10-4 | Elektronenstrahl Leistung |
Tiegel Werkstoff |
Schiffchen | Spule | hinzufügen | Tiegel | ||||||||
Werkstoff | Symbol | MP (°C) |
S/D | g/cm3 | Z-Verhältnis | 10-8 | 10-6 | 10-4 | Elektronenstrahl Leistung |
Tiegel Werkstoff |
Schiffchen | Spule | hinzufügen | Tiegel | Sputter | Bemerkungen |
Temp.(°C) gegeben Verdampf. Druck (Torr) |
Elektronenstrahlverdampfung | Thermisches Verdampfen | ||||||||||||||
Aluminium
|
Al | 660 | - | 2.7 | 1,08 | 677 | 821 | 1.010 | Exzellent | FABMATE®, Intermetallic | - | - | W | TiB2-BN, BN | Gleichspannung |
![]() Legiert mit W/Mo/Ta. Entweder Blitzverdampfung oder Verwendung eines BN-Tiegel. |
Aluminiumantimonid
|
AlSb | 1.080 | - | 4,3 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Aluminumarsenid
|
AlAs | 1.600 | - | 3,7 | - | - | - | ~1.300 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Aluminiumbromid
|
AlBr3 | 97 | - | 2,64 | - | - | - | ~50 | - | - | Mo | - | - | Gr | - |
- |
Aluminiumcarbid
|
Al4C3 | ~1.400 | D | 2,36 | - | - | - | ~800 | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF |
- |
Aluminumfluorid
|
AlF3 | 1.291 | S | 2,36 | - | 410 | 490 | 700 | Schlecht | Graphite, FABMATE® | Mo, W, Ta | - | - | Gr | RF |
- |
Aluminumnitrid
|
AlN | >2.200 | S | 3,26 | **1,00 | - | - | ~1.750 | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF-R |
Zerfällt. Reaktive Verdampfung in 10-3 T N2 mit Glimmentladung. |
Aluminiumoxid
|
Al2O3 | 2.072 | - | 3,97 | 0,336 | - | - | 1.550 | Exzellent | FABMATE®, Tungsten | W | - | W | - | RF-R |
![]() Sapphire excellent in E-beam; forms smooth, hard films. |
Aluminiumphosphid
|
AlP | 2.000 | - | 2,42 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Aluminum, 1 % Kupfer
|
Al/Cu 99/1 Gew.-% | 640 | - | 2.82 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
Drahtvorschub und Blitzverdampfung. Schwierig aus zwei Quellen. |
Aluminium, 1 % Silicium
|
Al/Si 99/1 Gew.-% | 640 | - | 2,69 | **1,00 | - | - | 1.010 | - | - | - | - | - | TiB2-BN | RF, DC |
Drahtvorschub und Blitzverdampfung. Schwierig aus zwei Quellen. |
Antimon
|
Sb | 630 | S | 6,68 | 0,768 | 279 | 345 | 425 | Schlecht | - | Mo*** Ta*** | Mo, Ta | Mo, Ta | BN, C, Al2O3 | RF, DC |
Gut zum Verdampfen geeignet |
Antimonoxid
|
Sb2O3 | 656 | S | 5,2 | - | - | - | ~300 | Gut | - | - | - | - | BN, Al2O3 | RF-R |
Zerfällt auf W. |
Antimonselenid
|
Sb2Se3 | 611 | - | - | - | - | - | - | - | - | Ta | - | - | C | RF |
Stöchiometrie variabel. |
Antimonsulfid
|
Sb2S3 | 550 | - | 4,64 | - | - | - | ~200 | Gut | Molybdän, Tantal | Mo, Ta | - | Mo, Ta | Al2O3 | - |
Keine Zersetzung. |
Antimontellurid
|
Sb2Te3 | 629 | - | 6,5 | **1,00 | - | - | 600 | - | - | - | - | - | C | RF |
Zersetzt sich über 750°C. |
Arsen
|
As | 817 | S | 5,73 | - | 107 | 150 | 210 | Schlecht | FABMATE® | C | - | - | Al2O3 | - |
Sublimiert schnell bei niedriger Temperatur. Nicht fürs Sputtern empfohlen. |
Arsenoxid
|
As2O3 | 312 | - | 3,74 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Arsenselenid
|
As2Se3 | ~360 | - | 4,75 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Al2O3, Q | RF |
- |
Arsensulfid
|
As2S3 | 300 | - | 3,43 | - | - | - | ~400 | Ausreichend | - | Mo | - | - | Al2O3, Q | RF |
- |
Arsentellurid
|
As2Te3 | 362 | - | 6,5 | - | - | - | - | - | - | Blitz | - | - | - | - |
Siehe JVST. 1973, 10:748 |
Barium
|
Ba | 725 | - | 3,51 | 2,1 | 545 | 627 | 735 | Ausreichend | - | W, Ta, Mo | W | W | Metalle | RF |
Benetzt ohne zu legieren, reagiert mit Keramik. Nicht fürs Sputtern empfohlen. |
Bariumchlorid
|
BaCl2 | 963 | - | 3,92 | - | - | - | ~650 | - | - | Ta, Mo | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Bariumfluorid
|
BaF2 | 1.355 | S | 4,89 | 0,793 | - | - | ~700 | Gut | Molybdän | Mo | - | - | - | RF |
- |
Bariumoxid
|
BaO | 1.918 | - | 5,72 | - | - | - | ~1.300 | Schlecht | - | - | - | - | Al2O3 | RF, RF-R |
Zersetzt sich leicht. |
Bariumsulfid
|
BaS | 1.200 | - | 4,25 | - | - | - | 1.100 | - | - | Mo | - | - | - | RF |
- |
Bariumtitanat
|
BaTiO3 | 1.625 | D | 6,02 | 0,464 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Gibt Ba ab. Für Co-Evaporation und Sputtern geeignet. |
Beryllium
|
Be | 1.278 | - | 1.85 | - | 710 | 878 | 1.000 | Exzellent | Graphite, FABMATE® | W, Ta | W | W | C | Gleichspannung |
Benetzt W/Mo/Ta. Leicht zu verdampfen |
Berylliumcarbid
|
Be2C | >2.100 | D | 1,9 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Berylliumchlorid
|
BeCl2 | 405 | - | 1,9 | - | - | - | ~150 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Berylliumfluorid
|
BeF2 | 800 | S | 1,99 | - | - | - | ~200 | Gut | - | - | - | - | - | - |
- |
Berylliumoxid
|
BeO | 2.530 | - | 3,01 | - | - | - | 1.900 | Gut | - | - | - | W | - | RF, RF-R |
Keine Zersetzung durch Elektronenstrahlkanonen. |
Bismut
|
Bi | 271 | - | 9,8 | 0,79 | 330 | 410 | 520 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | W, Mo, Ta | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
Widerstandsfähigkeit hoch. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern. |
Bismutfluorid
|
BiF3 | 727 | S | 5,32 | - | - | - | ~300 | - | - | - | - | - | Gr | RF |
- |
Bismutoxid
|
Bi2O3 | 860 | - | 8,55 | **1,00 | - | - | ~1.400 | Schlecht | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Bismutselenid
|
Bi2Se3 | 710 | D | 6,82 | **1,00 | - | - | ~650 | Gut | - | - | - | - | Gr, Q | RF |
Co-Evaporation von 2 Quellen oder Sputtern. |
Bismutsulfid
|
Bi2S3 | 685 | D | 7,39 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Bismuttellurid
|
Bi2Te3 | 573 | - | 7,7 | **1,00 | - | - | ~600 | - | - | W, Mo | - | - | Gr, Q | RF |
Co-Evaporation von 2 Quellen oder Sputtern. |
Bismuttitanat
|
Bi2Ti2O7 | 870 | D | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Sputtern oder gleichzeitiges Verdampfen von 2 Quellen in 10-2 Torr O2. |
Bor
|
B | 2.079 | - | 2,34 | 0,389 | 1.278 | 1.548 | 1.797 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | C | - | - | C | RF |
Explodiert mit schneller Abkühlung. Bildet Carbid mit Behälter. |
Borcarbid
|
B4C | 2.350 | - | 2,52 | **1,00 | 2.500 | 2.580 | 2.650 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | - | - | - | - | RF |
Ähnlich zu Chrom. |
Bornitrid
|
BN | ~3.000 | S | 2.25 | - | - | - | ~1.600 | Schlecht | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Zersetzt sich beim Sputtern. Reaktiver Prozess bevorzugt |
Boroxid
|
B2O3 | ~450 | - | 1,81 | - | - | - | ~1.400 | Gut | Molybdän | Mo | - | - | - | - |
- |
Borsulfid
|
B2S3 | 310 | - | 1,55 | - | - | - | 800 | - | - | - | - | - | Gr | RF |
- |
Cadmium
|
Cd | 321 | - | 8,64 | 0,682 | 64 | 120 | 180 | Schlecht | - | W, Mo, Ta | - | W, Mo, Ta | Al2O3, Q | DC, RF |
Schlecht für Vakuumsysteme. Niedriger Haftkoeffizient. |
Cadmiumantimonid
|
Cd3Sb2 | 456 | - | 6,92 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Cadmiumarsenid
|
Cd3As2 | 721 | - | 6,21 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Cadmiumbromid
|
CdBr2 | 567 | - | 5,19 | - | - | - | ~300 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Cadmiumchlorid
|
CdCl2 | 568 | - | 4,05 | - | - | - | ~400 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Cadmiumfluorid
|
CdF2 | 1.100 | - | 6,64 | - | - | - | ~500 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Cadmiumiodid
|
CdI2 | 387 | - | 5,67 | - | - | - | ~250 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Cadmiumoxid
|
CdO | >1.500 | D | 6,95 | - | - | - | ~530 | - | - | - | - | - | - | RF-R |
Disproportioniert |
Cadmiumselenid
|
CdSe | >1.350 | S | 5,81 | **1,00 | - | - | 540 | Gut | Molybdän, Tantal | Mo, Ta | - | - | Al2O3, Q | RF |
Verdampft leicht. |
Cadmiumsulfid
|
CdS | 1.750 | S | 4,82 | 1,02 | - | - | 550 | Ausreichend | - | W, Mo, Ta | - | W | Al2O3, Q | RF |
Vom Substrat beeinflusster Haftkoeffizient. |
Cadmiumtellurid
|
CdTe | 1.092 | - | 5,85 | 0,98 | - | - | 450 | - | - | W, Mo, Ta | W | W, Ta, Mo | - | RF |
Stöchiometrie ist abhängig von der Substrattemperatur n~2,6. |
Calcium
|
Ca | 839 | S | 1,54 | 2,62 | 272 | 357 | 459 | Schlecht | - | W | W | W | Al2O3, Q | - |
![]() Korrodiert an Luft. |
Calciumfluorid
|
CaF2 | 1.423 | - | 3,18 | 0,775 | - | - | ~1.100 | - | - | W, Mo, Ta | W, Mo, Ta | W, Mo, Ta | Q | RF |
Kontrolle der Aufdampfrate ist entscheidend. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Calciumoxid
|
CaO | 2.614 | - | ~3,3 | - | - | - | ~1.700 | - | - | W, Mo | - | - | ZrO2 | RF-R |
Bildet flüchtige Oxide mit W/Mo. |
Calciumsilikat
|
CaSiO3 | 1.540 | - | 2,91 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Calciumsulfid
|
CaS | 2.525 | D | 2,5 | - | - | - | 1.100 | - | - | Mo | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Calciumtitanat
|
CaTiO3 | 1.975 | - | 4,1 | - | 1.490 | 1.600 | 1.690 | Schlecht | - | - | - | - | - | RF |
Disproportioniert typischerweise, außer beim Sputtern. |
Calciumwolframat
|
CaWO4 | 1.200 | - | 6,06 | - | - | - | - | Gut | - | W | - | - | - | RF |
- |
Kohlenstoff
|
C | ~3.652 | S | 2.25 | 3,26 | 1.657 | 1.867 | 2.137 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | - | - | - | - | PDC |
Elektronenstrahl bevorzugt. Lichtbogenverdampfung. Schlechte Filmhaftung. |
Cerium
|
Ce | 798 | - | ~6,70 | **1,00 | 970 | 1.150 | 1.380 | Gut | - | W, Ta | W | W, Ta | Al2O3 | DC, RF |
- |
Cerium-(III)-Oxide
|
Ce2O3 | 1.692 | - | 6,86 | - | - | - | - | Ausreichend | - | W | - | - | - | - |
Legiert mit Quelle. Verwenden Sie 0,015"–0,020" W Schiffchen. |
Cerium-(IV)-Oxide
|
CeO2 | ~2.600 | - | 7,13 | **1,00 | 1.890 | 2.000 | 2.310 | Gut | Tantalum, Graphite, FABMATE® | W | - | - | - | RF, RF-R |
![]() Sehr geringe Zersetzung. |
Ceriumfluorid
|
CeF3 | 1.460 | - | 6,16 | **1,00 | - | - | ~900 | Gut | Wolfram, Tantal, Molybdän | W, Mo, Ta | - | Mo, Ta | - | RF |
Zum ausgasen sanft erwärmen. n~1.7. |
Caesium
|
Cs | 28 | - | 1,88 | - | -16 | 22 | 80 | - | - | - | - | - | Q | - |
- |
Caesiumbromid
|
CsBr | 636 | - | 3,04 | - | - | - | ~400 | - | - | W | - | - | - | RF |
- |
Caesiumchlorid
|
CsCl | 645 | - | 3,99 | - | - | - | ~500 | - | - | W | - | - | - | RF |
- |
Caesiumfluorid
|
CsF | 682 | - | 4,12 | - | - | - | ~500 | - | - | W | - | - | - | RF |
- |
Caesiumhydroxid
|
CsOH | 272 | - | 3,68 | - | - | - | 550 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Caesiumiodid
|
CsI | 626 | - | 4,51 | - | - | - | ~500 | - | - | W | - | - | Q | RF |
- |
Chiolit
|
Na5Al3F14 | 735 | - | 2,9 | - | - | - | ~800 | - | - | Mo, W | - | - | - | RF |
- |
Chrom
|
Cr | 1.857 | S | 7.2 | 0,305 | 837 | 977 | 1.157 | Gut | FABMATE®, Graphite, Tungsten | Verchromte W-Stäbe | W | W | VitC | Gleichspannung |
![]() Sehr haftstarke Schichten. Hohe Raten möglich. |
Chrombromid
|
CrB | 1.950-2.050 | - | 6,17 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Chrom-(II)-bromid
|
CrBr2 | 842 | - | 4,36 | - | - | - | 550 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Chromcarbid
|
Cr3C2 | 1.895 | - | 6,68 | - | - | - | ~2.000 | Ausreichend | - | W | - | - | - | RF |
- |
Chromchlorid
|
CrCl2 | 824 | - | 2,88 | - | - | - | 550 | - | - | Fe | - | - | - | RF |
- |
Chromoxid
|
Cr2O3 | 2.266 | - | 5,21 | **1,00 | - | - | ~2.000 | Gut | - | W, Mo | - | W | - | RF, RF-R |
Disproportiniert zu niederwertigen Oxiden; reoxidiert bei 600 °C in Luft. |
Chromsilizid
|
CrSi2 | 1.490 | - | 5,5 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Chrom-Siliciummonoxid
|
Cr-SiO | - | S | * | - | * | * | * | Gut | - | W | - | W | - | RF |
Blitzverdampfung |
Cobalt †
|
Co | 1.495 | - | 8.9 | 0,343 | 850 | 990 | 1.200 | Exzellent | Direkt aus dem Pocket | W, Nb | - | W | Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Legiert mit W/Ta/Mo. |
Cobaltbromid
|
CoBr2 | 678 | D | 4,91 | - | - | - | 400 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Cobaltchlorid
|
CoCl2 | 724 | D | 3,36 | - | - | - | 472 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Cobaltoxid
|
CoO | 1.795 | - | 6.45 | 0,412 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | DC-R, RF-R |
Sputtern bevorzugt. |
Kupfer
|
Cu | 1.083 | - | 8.92 | 0,437 | 727 | 857 | 1.017 | Exzellent | Graphit, Molybdän | Mo, W | W | W | Al2O3, Mo, Ta | Gleichspannung |
![]() Adhäsion schlecht. Zwischenschicht (Cr) verwenden. Verdampft aus Quellen beliebigen Werkstoffs. |
Kupferchlorid
|
CuCl | 430 | - | 4,14 | - | - | - | ~600 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Kupferoxid
|
Cu2O | 1.235 | S | 6 | **1,00 | - | - | ~600 | Gut | Graphite, FABMATE®, Tantalum | Ta | - | - | Al2O3 | DC-R, RF-R |
- |
Kupfersulfid
|
Cu2S | 1.100 | - | 5.6 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Kryolith
|
Na3AlF6 | 1.000 | - | 2,9 | - | 1.020 | 1.260 | 1.480 | Exzellent | FABMATE®, Tungsten | W, Mo, Ta | - | W, Mo, Ta | VitC | RF |
Große Stücke reduzieren ein Ausspritzen. Geringe Zersetzung. |
Dysprosium
|
Dy | 1.412 | - | 8,55 | 0.6 | 625 | 750 | 900 | Gut | Direkt aus dem Pocket | Ta | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Dysprosiumfluorid
|
DyF3 | 1.360 | S | - | - | - | - | ~800 | Gut | - | Ta | - | - | - | RF |
- |
Dysprosiumoxid
|
Dy2O3 | 2.340 | - | 7,81 | - | - | - | ~1.400 | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
Erbium
|
Er | 1.529 | S | 9,07 | 0,74 | 650 | 775 | 930 | Gut | Wolfram, Tantal | W, Ta | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Erbiumfluorid
|
ErF3 | 1.350 | - | 7,82 | - | - | - | ~750 | - | - | Mo | - | - | - | RF |
Siehe JVST. 1985; A3(6):2320. |
Erbiumoxid
|
Er2O3 | 2.350 | - | 8,64 | **1,00 | - | - | ~1.600 | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
Europium
|
Eu | 822 | S | 5,24 | **1,00 | 280 | 360 | 480 | Ausreichend | - | W, Ta | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
Geringe Ta-Löslichkeit. |
Europiumfluorid
|
EuF2 | 1.380 | - | 6,5 | - | - | - | ~950 | - | - | Mo | - | - | - | RF |
- |
Europiumoxid
|
Eu2O3 | 2.350 | - | 7,42 | - | - | - | ~1.600 | Gut | - | Ta, W | - | - | ThO2 | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. Filme klar und hart. |
Europiumsulfid
|
EuS | - | - | 5.75 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | RF |
- |
Gadolinium †
|
Gd | 1.313 | - | 7,9 | 0,67 | 760 | 900 | 1.175 | Exzellent | Direkt aus dem Pocket | Ta | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
Hohe Ta-Löslichkeit |
Gadoliniumcarbid
|
GdC2 | - | - | - | - | - | - | 1.500 | - | - | - | - | - | C | RF |
Zersetzt beim Sputtern. |
Gadoliniumoxid
|
Gd2O3 | 2.330 | - | 7,41 | - | - | - | - | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
Gallium
|
Ga | 30 | - | 5,9 | - | 619 | 742 | 907 | Gut | FABMATE® | - | - | - | Al2O3, Q | - |
Legiert mit W/Ta/Mo. Verwenden Sie eine Elektronenstrahlkanone. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern. |
Galliumantimonid
|
GaSb | 710 | - | 5.6 | - | - | - | - | Ausreichend | - | W, Ta | - | - | - | RF |
Blitzverdampfung |
Galliumarsenid
|
GaAs | 1.238 | - | 5,3 | - | - | - | - | Gut | Graphite, FABMATE® | W, Ta | - | - | C | RF |
Blitzverdampfung |
Galliumnitrid
|
GaN | 800 | S | 6,1 | - | - | - | ~200 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF, RF-R |
Verdampft Ga in 10-3 Torr N2. |
Galliumoxid
|
Ga2O3 | 1.900 | - | 6,44 | - | - | - | - | - | - | W | - | - | - | RF |
Verliert Sauerstoff. |
Galliumphosphid
|
GaP | 1.540 | - | 4,1 | - | - | 770 | 920 | - | - | W, Ta | - | W | Q | RF |
Zersetzt sich nicht. Kontrolle der Aufdampfrate ist entscheidend. |
Germanium
|
Ge (N-Typ) | 937 | - | 5,32 | 0,516 | 812 | 957 | 1.167 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | W, C, Ta | - | - | Q, Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Exzellente Schichten per Elektronenstrahl. |
Germanium-(II)-oxid
|
GeO | 700 | S | - | - | - | - | 500 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Germanium-(III)-oxid
|
GeO2 | 1.086 | - | 6,24 | - | - | - | ~625 | Gut | FABMATE®, Tantalum, Molybdenum | Ta, Mo | - | W, Mo | Q, Al2O3 | RF-R |
Ähnlich wie SiO; Dünnfilm überwiegend GeO. |
Germaniumnitrid
|
Ge3N2 | 450 | S | 5,2 | - | - | - | ~650 | - | - | - | - | - | - | RF-R |
Sputtern bevorzugt. |
Germaniumtellurid
|
GeTe | 725 | - | 6,2 | - | - | - | 381 | - | - | W, Mo | - | W | Q, Al2O3 | RF |
- |
Glass, Schott® 8329
|
— | 1.300 | - | 2,2 | - | - | - | - | Exzellent | - | - | - | - | - | RF |
Verdampfbares Alkaliglas. Vor dem Verdampfen an der Luft schmelzen. |
Gold
|
Au | 1.064 | - | 19,32 | 0,381 | 807 | 947 | 1.132 | Exzellent | FABMATE®, Molybdenum | W*** Mo*** W | - | - | Al2O3, BN | Gleichspannung |
![]() Weiche Schicht; nicht sehr haftend. |
Hafnium
|
Hf | 2.227 | - | 13.31 | 0,36 | 2.160 | 2.250 | 3.090 | Gut | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Hafniumborid
|
HfB2 | 3.250 | - | 10.5 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | DC, RF |
- |
Hafniumcarbid
|
HfC | ~3.890 | S | 12,2 | **1,00 | - | - | ~2.600 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Hafniumnitrid
|
HfN | 3.305 | - | 13,8 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Hafniumoxid
|
HfO2 | 2.758 | - | 9,68 | **1,00 | - | - | ~2.500 | Ausreichend | Direkt aus dem Pocket | - | - | - | - | RF, RF-R |
![]() HfO-Schicht. |
Hafniumsilizid
|
HfSi2 | 1.750 | - | 7.2 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Holmium
|
Ho | 1.474 | - | 8.8 | 0,58 | 650 | 770 | 950 | Gut | - | W, Ta | W | W | - | - |
- |
Holmiumfluorid
|
HoF3 | 1.143 | - | 7,68 | - | - | - | ~800 | - | - | - | - | - | Q | DC, RF |
- |
Holmiumoxid
|
Ho2O3 | 2.370 | - | 8,41 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
Inconel®
|
Ni/Cr/Fe | 1.425 | - | 8.5 | - | - | - | - | Gut | FABMATE®, Tungsten | W | W | W | - | Gleichspannung |
Verwenden Sie einen feinen Draht, der auf W gewickelt ist. Geringe Rate für glatte Folien erforderlich. |
Indium
|
IN | 157 | - | 7.3 | 0,841 | 487 | 597 | 742 | Exzellent | FABMATE®, Graphite, Molybdenum | W, Mo | - | W | Gr, Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Benetzt W und Cu. Verwenden Sie Mo-Tiegel. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern. |
Indium-(I)-oxid
|
In2O | ~600 | S | 6,99 | - | - | - | 650 | - | - | - | - | - | - | RF |
Zersetzt beim Sputtern. |
Indium-(III)-oxid
|
In2O3 | 850 | - | 7.18 | **1,00 | - | - | ~1.200 | Gut | - | W, Pt | - | - | Al2O3 | - |
- |
Indium-(I)-sulfid
|
In2S | 653 | - | 5,87 | - | - | - | 650 | - | - | - | - | - | Gr | RF |
- |
Indium-(II)-sulfid
|
InS | 692 | S | 5,18 | - | - | - | 650 | - | - | - | - | - | Gr | RF |
- |
Indium-(III)-sulfid
|
In2S3 | 1.050 | S | 4,9 | - | - | - | 850 | - | - | - | - | - | Gr | RF |
Film In2S. |
Indium-(II)-tellurid
|
InTe | 696 | - | 6,29 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Indium-(III)-tellurid
|
In2Te3 | 667 | - | 5,78 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Sputtern bevorzugt; oder Co-Evaporation aus 2 Quellen; Blitz. |
Indiumantimonid
|
InSb | 535 | - | 5,8 | - | - | - | - | - | - | W | - | - | - | RF |
Zerfällt. Sputtern bevorzugt; oder mitverdampfen. |
Indiumarsenid
|
InAs | 943 | - | 5,7 | - | 780 | 870 | 970 | - | - | W | - | - | - | RF |
- |
Indiumnitrid
|
InN | 1.200 | - | 7 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Indiumphosphid
|
InP | 1.070 | - | 4,8 | - | - | 630 | 730 | - | - | W, Ta | - | W, Ta | Gr | RF |
Die Einlagen sind P-reich. |
Indiumselenid
|
In2Se3 | 890 | - | 5,67 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Sputtern bevorzugt; oder Co-Evaporation aus 2 Quellen; Blitz. |
Indiumzinnoxid
|
In2O3/SnO2 90/10 Gew.-% | 1.800 | S | 7.14 | - | - | - | - | - | FABMATE®, Graphite | - | - | - | - | - |
![]() - |
Iridium
|
Ir | 2.410 | - | 22.42 | 0,129 | 1.850 | 2.080 | 2.380 | Ausreichend | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() - |
Eisen †
|
Fe | 1.535 | - | 7.86 | 0,349 | 858 | 998 | 1.180 | Exzellent | FABMATE®‡ | W | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Greift Wolfram an. Schichten hart, glatt. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Eisen-(II)-oxid
|
FeO | 1.369 | - | 5,7 | - | - | - | - | Schlecht | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Zersetzt sich; Sputtern bevorzugt. |
Eisen-(III)-oxid
|
Fe2O3 | 1.565 | - | 5,24 | **1,00 | - | - | - | Gut | - | W | - | W | - | - |
Disproportioniert zu Fe3O4 bei 1.530 °C. |
Eisenbromid
|
FeBr2 | 684 | D | 4,64 | - | - | - | 561 | - | - | - | - | - | Fe | RF |
- |
Eisenchlorid
|
FeCl2 | 670 | S | 3,16 | - | - | - | 300 | - | - | - | - | - | Fe | RF |
- |
Eiseniodid
|
FeI2 | - | - | 5,32 | - | - | - | 400 | - | - | - | - | - | Fe | RF |
- |
Eisensulfid
|
FeS | 1.193 | D | 4,74 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF |
Zersetzt sich |
Kanthal
|
FeCrAl | - | - | 7.1 | - | - | - | - | - | - | W | W | W | - | Gleichspannung |
- |
Lanthan
|
La | 921 | - | 6,17 | 0,92 | 990 | 1.212 | 1.388 | Exzellent | Wolfram, Tantal | W, Ta | - | - | Al2O3 | RF |
Filme verbrennen an Luft, wenn sie abgekratzt werden. |
Lanthanborid
|
LaB6 | 2.210 | D | 4,72 | **1,00 | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | RF |
- |
Lanthanbromid
|
LaBr3 | 783 | - | 5,06 | - | - | - | - | - | - | - | - | Ta | - | RF |
Hygroskopisch. |
Lanthanfluorid
|
LaF3 | 1.490 | S | ~6,0 | - | - | - | 900 | Gut | Tantal, Molybdän | Ta, Mo | - | Ta | - | RF |
Keine Zersetzung. n~1,6. |
Lanthanoxid
|
La2O3 | 2.307 | - | 6,51 | **1,00 | - | - | 1.400 | Gut | Graphite, FABMATE®, Tungsten | W, Ta | - | - | - | RF |
Verliert Sauerstoff. n~1,73. |
Blei
|
Pb | 328 | - | 11,34 | 1,13 | 342 | 427 | 497 | Exzellent | FABMATE® | W, Mo | W | W, Ta | Al2O3, Q | Gleichspannung |
- |
Bleibromid
|
PbBr2 | 373 | - | 6,66 | - | - | - | ~300 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Bleichlorid
|
PbCl2 | 501 | - | 5,85 | - | - | - | ~325 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF |
Geringe Zersetzung. |
Bleifluorid
|
PbF2 | 855 | S | 8,24 | - | - | - | ~400 | - | - | W, Mo | - | - | BeO | RF |
- |
Bleiiodid
|
PbI2 | 402 | - | 6,16 | - | - | - | ~500 | - | - | - | - | - | Q | - |
- |
Bleioxid
|
PbO | 886 | - | 9,53 | - | - | - | ~550 | - | - | - | - | - | Q, Al2O3 | RF-R |
Keine Zersetzung. n~2.6. |
Bleiselenid
|
PbSe | 1.065 | S | 8,1 | - | - | - | ~500 | - | - | W, Mo | - | W | Gr, Al2O3 | RF |
- |
Bleistannat
|
PbSnO3 | 1.115 | - | 8,1 | - | 670 | 780 | 905 | Schlecht | - | - | - | - | Al2O3 | RF |
Disproportioniert |
Bleisulfid
|
PbS | 1.114 | S | 7,5 | - | - | - | 500 | - | - | W | - | W, Mo | Q, Al2O3 | RF |
Geringe Zersetzung. |
Bleitellurid
|
PbTe | 917 | - | 8,16 | 0,651 | 780 | 910 | 1.050 | - | - | Mo, Pt, Ta | - | - | Al2O3, Gr | RF |
Deposits are Te rich. Sputtern bevorzugt. |
Bleititanat
|
PbTiO3 | - | - | 7,52 | 1,16 | - | - | - | - | - | Ta | - | - | - | RF |
- |
Lithium
|
Li | 181 | - | 0,53 | 5,9 | 227 | 307 | 407 | Gut | Tantal | Ta | - | - | Al2O3 | - |
![]() Metall reagiert schnell an der Luft. |
Lithiumbromid
|
LiBr | 550 | - | 3,46 | - | - | - | ~500 | - | - | Ni | - | - | - | RF |
- |
Lithiumchlorid
|
LiCl | 605 | - | 2,07 | - | - | - | 400 | - | - | Ni | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Lithiumfluorid
|
LiF | 845 | - | 2,64 | 0,778 | 875 | 1.020 | 1.180 | Gut | Tantal, Wolfram, Molybdän | Ni, Ta, Mo, W | - | - | Al2O3 | RF |
![]() kontrollierte Aufdampfraten wichtig für optische Schichten. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Lithiumiodid
|
LiI | 449 | - | 4,08 | - | - | - | 400 | - | - | Mo, W | - | - | - | RF |
- |
Lithiumniobat
|
LiNbO3 | - | - | 4,7 | 0,463 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Lithiumoxid
|
Li2O | >1.700 | - | 2,01 | - | - | - | 850 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Lutetium
|
Lu | 1.663 | - | 9,84 | - | - | - | 1.300 | Exzellent | Direkt aus dem Pocket | Ta | - | - | Al2O3 | RF, DC |
- |
Lutetiumoxid
|
Lu2O3 | - | - | 9,42 | - | - | - | 1.400 | - | - | - | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Magnesium
|
Mg | 649 | S | 1.74 | 1,61 | 185 | 247 | 327 | Gut | FABMATE®, Graphite, Tungsten | W, Mo, Ta, Cb | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Extrem hohe Raten möglich. |
Magnesiumaluminat
|
MgAl2O4 | 2.135 | - | 3,6 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | RF |
Natürlicher Spinell. |
Magnesiumbromid
|
MgBr2 | 700 | - | 3,72 | - | - | - | ~450 | - | - | Ni | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Magnesiumchlorid
|
MgCl2 | 714 | - | 2,32 | - | - | - | 400 | - | - | Ni | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Magnesiumfluorid
|
MgF2 | 1.261 | - | 2,9–3,2 | 0,637 | - | - | 1.000 | Exzellent | FABMATE®, Graphite, Molybdenum | Mo, Ta | - | - | Al2O3 | RF |
![]() Kontrolle der Substrattemperatur und Rate wichtig. Reagiert mit W. Mo OK. |
Magnesiumiodid
|
MgI2 | <637 | D | 4,43 | - | - | - | 200 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Magnesiumoxid
|
MgO | 2.852 | - | 3.58 | 0,411 | - | - | 1.300 | Gut | FABMATE®, Graphite | - | - | - | C, Al2O3 | RF, RF-R |
Aus Stöchiometrie-Gründen bei 10-3 Torr O2 zu verdampfen. |
Mangan
|
Mn | 1.244 | S | 7.2 | 0,377 | 507 | 572 | 647 | Gut | Wolfram | W, Ta, Mo | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
- |
Mangan-(II)-oxid
|
MnO | 1945 | - | 5,37 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Mangan-(III)-oxid
|
Mn2O3 | 1.080 | - | 4.5 | 0,467 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Mangan-(IV)-oxid
|
MnO2 | 535 | - | 5,03 | - | - | - | - | Schlecht | - | W | - | W | - | RF-R |
Verliert Sauerstoff bei 535 °C. |
Manganbromid
|
MnBr2 | - | D | 4,39 | - | - | - | 500 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Manganchlorid
|
MnCl2 | 650 | - | 2,98 | - | - | - | 450 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Mangansulfid
|
MnS | - | D | 3,99 | - | - | - | 1.300 | - | - | Mo | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Quecksilber
|
Hg | -39 | - | 13,55 | - | -68 | -42 | -6 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Quecksilbersulfid
|
HgS | 584 | S | 8,1 | - | - | - | 250 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF |
Zerfällt. |
Molybdän
|
Mo | 2.617 | - | 10.2 | 0,257 | 1.592 | 1.822 | 2.117 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() Schichten glatt, hart. Sorgfältiges Ausgasen erforderlich. |
Molybdänborid
|
MoB2 | 2.100 | - | 7,12 | - | - | - | - | Schlecht | - | - | - | - | - | RF |
- |
Molybdäncarbid
|
Mo2C | 2.687 | - | 8.9 | **1,00 | - | - | - | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF |
Verdampfung von Mo(CO)6 führt zu Mo2C. |
Molybdänsulfid
|
MoS2 | 1.185 | - | 4,8 | **1,00 | - | - | ~50 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Molybdänoxid
|
MoO3 | 795 | S | 4,69 | **1,00 | - | - | ~900 | - | - | Mo | - | Mo | Al2O3, BN | RF |
![]() Leichter Sauerstoffverlust. |
Molybdänsilizid
|
MoSi2 | 2.050 | - | 6.31 | **1,00 | - | - | - | - | - | W | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Neodym
|
Nd | 1.021 | - | 7,01 | **1,00 | 731 | 871 | 1.062 | Exzellent | Tantal | Ta | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
Geringe Löslichkeit in Wolfram. |
Neodymfluorid
|
NdF3 | 1.410 | - | 6,5 | - | - | - | ~900 | Gut | Wolfram, Molybdän | Mo, W | - | Mo, Ta | Al2O3 | RF |
Sehr geringe Zersetzung. |
Neodymoxid
|
Nd2O3 | ~1.900 | - | 7,24 | - | - | - | ~1.400 | Gut | Tantal, Wolfram | Ta, W | - | - | ThO2 | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff; Film ist klar. Elektronenstrahl bevorzugt. |
Nichrome IV®
|
Ni/Cr | 1.395 | - | 8.5 | **1,00 | 847 | 987 | 1.217 | Exzellent | FABMATE® | *** | W | W, Ta | Al2O3 | Gleichspannung |
Legiert mit W/Ta/Mo. |
Nickel †
|
Ni | 1.453 | - | 8,91 | 0,331 | 927 | 1.072 | 1.262 | Exzellent | FABMATE®‡,Copper | W*** | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Legiert mit W/Ta/Mo. Glatte, haftende Schichten. |
Nickelbromid
|
NiBr2 | 963 | S | 5,1 | - | - | - | 362 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Nickelchlorid
|
NiCl2 | 1.001 | S | 3,55 | - | - | - | 444 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Nickeloxid
|
NiO | 1.984 | - | 6,67 | **1,00 | - | - | ~1.470 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF-R |
Dissoziiert bei Erwärmung. |
Nickel/Eisen †
|
Ni/Fe | - | - | 8,7 | **1,00 | - | - | - | - | FABMATE®‡ | - | - | - | - | - |
- |
Nimendium †
|
Ni3%Mn | 1.425 | - | 8.8 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Niob
|
Nb | 2.468 | - | 8.57 | 0,492 | 1.728 | 1.977 | 2.287 | Exzellent | FABMATE® | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() Greift Wolfram an |
Niob-(II)-oxid
|
NbO | - | - | 7.3 | - | - | - | 1.100 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Niob-(III)-oxid
|
Nb2O3 | 1.780 | - | 7,5 | - | - | - | - | - | - | W | - | W | - | RF, RF-R |
- |
Niob-(V)-oxid
|
Nb2O5 | 1.485 | - | 4,6 | **1,00 | - | - | - | - | - | W | - | W | - | RF, RF-R |
- |
Niobborid
|
NbB2 | 2.900 | - | 6,97 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Niobcarbid
|
NbC | 3.500 | - | 7,6 | **1,00 | - | - | - | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF |
- |
Niobnitrid
|
NbN | 2.573 | - | 8,4 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Reaktiv. Verdampft Nb in 10-3 Torr N2. |
Niobtellurid
|
NbTe2 | - | - | 7,6 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Zusammensetzung variabel. |
Niobzinn
|
Nb3Sn | - | - | - | - | - | - | - | Exzellent | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
Gleichzeitige Verdampfung von 2 Quellen. |
Osmium
|
Os | 3.045 | - | 22.48 | - | 2.170 | 2.430 | 2.760 | Ausreichend | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Osmiumoxid
|
Os2O3 | - | D | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
Legt Os in 10-3 Torr O2 ein. |
Palladium
|
Pd | 1.554 | S | 12.02 | 0,357 | 842 | 992 | 1.192 | Exzellent | FABMATE®, Graphite, Tungsten | W*** | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
![]() Legiert mit hochschmelzenden Metallen. |
Palladiumoxid
|
PdO | 870 | - | 9,7 | - | - | - | 575 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF-R |
Zerfällt. |
Parylen
|
C8H8 | 300–400 | - | 1,1 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
Aufdampfbarer Kunststoff. |
Permalloy® †
|
Ni/Fe/Mo/Mn | 1.395 | - | 8,7 | **1,00 | 947 | 1.047 | 1.307 | Gut | FABMATE®‡ | W | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
abgeschiedener Film enthält wenig Ni. |
Phosphor
|
P | 44,1 | - | 1,82 | - | 327 | 361 | 402 | - | - | - | - | - | Al2O3 | - |
Material reagiert heftig an Luft. |
Phosphornitrid
|
P3N5 | - | - | 2,51 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Platin
|
Pt | 1.772 | - | 21.45 | 0,245 | 1.292 | 1.492 | 1.747 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | W | W | W | C | Gleichspannung |
![]() Legiert mit Metallen. Films soft, poor adhesion. |
Platinoxid
|
PtO2 | 450 | - | 10.2 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF-R |
Für die Verdampfung wird Elektronenstrahl bevorzugt. |
Plutonium
|
Pu | 641 | - | 19,84 | - | - | - | - | - | - | W | - | - | - | - |
- |
Polonium
|
Po | 254 | - | 9,4 | - | 117 | 170 | 244 | - | - | - | - | - | Q | - |
- |
Potassium
|
K | 63 | - | 0,86 | - | 23 | 60 | 125 | - | - | Mo | - | - | Q | - |
Metall reagiert schnell in der Luft. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Potassiumbromid
|
KBr | 734 | - | 2,75 | - | - | - | ~450 | - | - | Ta, Mo | - | - | Q | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Potassiumchlorid
|
KCl | 770 | S | 1,98 | - | - | - | 510 | Gut | Tantal | Ta, Ni | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Potassiumfluorid
|
KF | 858 | - | 2,48 | - | - | - | ~500 | - | - | - | - | - | Q | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Potassiumhydroxid
|
KOH | 360 | - | 2,04 | - | - | - | ~400 | - | - | - | - | - | - | - |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Potassiumiodid
|
KI | 681 | - | 3,13 | - | - | - | ~500 | - | - | Ta | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Praseodym
|
Pr | 931 | - | 6,77 | **1,00 | 800 | 950 | 1.150 | Gut | - | Ta | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Praseodymoxid
|
Pr2O3 | - | D | 7,07 | - | - | - | 1.400 | Gut | - | - | - | - | ThO2 | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
PTFE
|
PTFE | 330 | - | 2,9 | - | - | - | - | - | - | W | - | - | - | RF |
Quelle unklar. Filmstruktur zweifelhaft. |
Radium
|
Ra | 700 | - | 5,5 | - | 246 | 320 | 416 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Rhenium
|
Re | 3.180 | - | 21,02 | 0,15 | 1.928 | 2.207 | 2.571 | Schlecht | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
- |
Rheniumoxid
|
ReO3 | - | D | ~7 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Verdampft Re in 10-3 Torr O2. |
Rhodium
|
Rh | 1.966 | - | 12,41 | 0,21 | 1.277 | 1.472 | 1.707 | Gut | FABMATE®, Tungsten | W | W | W | ThO2, VitC | Gleichspannung |
bevorzugt mittels Elektronenstrahl zu verdampfen |
Rubidium
|
Rb | 39 | - | 1,48 | - | -3 | 37 | 111 | - | - | - | - | - | Q | - |
- |
Rubidiumchlorid
|
RbCl | 718 | - | 2,09 | - | - | - | ~550 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Rubidiumiodid
|
RbI | 647 | - | 3,55 | - | - | - | ~400 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Ruthenium
|
Ru | 2.310 | - | 12.3 | 0,182 | 1.780 | 1.990 | 2.260 | Schlecht | - | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() - |
Samarium
|
Sm | 1.074 | - | 7,52 | 0,89 | 373 | 460 | 573 | Gut | - | Ta | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
- |
Samariumoxid
|
Sm2O3 | 2.350 | - | 8,35 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | ThO2 | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. Filme geschmeidig, klar. |
Samariumsulfid
|
Sm2S3 | 1.900 | - | 5,73 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | - |
- |
Scandium
|
Sc | 1.541 | - | 2,99 | 0,91 | 714 | 837 | 1.002 | Exzellent | Wolfram, Molybdän | W | - | - | Al2O3 | RF |
Legiert mit Ta. |
Scandiumoxid
|
Sc2O3 | 2.300 | - | 3,86 | - | - | - | ~400 | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Selen
|
Se | 217 | - | 4,81 | 0,864 | 89 | 125 | 170 | Gut | FABMATE®, Tungsten, Molybdenum | W, Mo | W, Mo | W, Mo | Al2O3 | - |
Schlecht für Vakuumsysteme. Materialien mit hohem Dampfdruck und niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal für das Sputtern. |
Silizium
|
Si | 1.410 | - | 2,32 | 0,712 | 992 | 1.147 | 1.337 | Ausreichend | FABMATE®‡, Tantalum | - | - | - | - | RF |
Legiert mit W; schweres W-Schiffchen verwenden. SiO produziert. |
Silicium-(II)-oxid
|
SiO | >1.702 | S | 2,13 | 0,87 | - | - | 850 | Ausreichend | FABMATE®, Tungsten, Tantalum | Ta | W | W | Ta | RF, RF-R |
Verwenden Sie einen Korbverdampfer und eine niedrige Depositionsrate für die thermische Verdampfung |
Silicium-(IV)-oxid
|
SiO2 | 1.610 | - | ~2,65 | **1,00 | * | * | 1.025* | Exzellent | FABMATE®, Graphite, Tantalum | - | - | - | Al2O3 | RF |
![]() Quarz eignet sich ausgezeichnet zum Elektronenstrahlverdampfen. |
Silicium (N-Typ)
|
Si (N-Typ) | 1.410 | - | 2,32 | 0,712 | 992 | 1.147 | 1.337 | Ausreichend | FABMATE®‡, Tantalum | - | - | - | - | DC, RF |
- |
Silicium (P-Typ)
|
Si (P-Typ) | 1.410 | - | 2,32 | 0,712 | 992 | 1.147 | 1.337 | Ausreichend | FABMATE®‡, Tantalum | - | - | - | - | DC, RF |
![]() - |
Siliciumborid
|
SiB6 | - | - | - | - | - | - | - | Schlecht | - | - | - | - | - | RF |
- |
Siliciumcarbid
|
SiC | ~2.700 | S, D | 3,22 | **1,00 | - | - | 1.000 | - | - | - | - | - | - | RF |
Sputtern bevorzugt. |
Siliziumnitrid
|
Si3N4 | 1.900 | - | 3.44 | **1,00 | - | - | ~800 | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Siliciumselenid
|
SiSe | - | - | - | - | - | - | 550 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Siliciumsulfid
|
SiS | 940 | S | 1.85 | - | - | - | 450 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Siliciumtellurid
|
SiTe2 | - | - | 4,39 | - | - | - | 550 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Silber
|
Ag | 962 | - | 10.5 | 0,529 | 847 | 958 | 1.105 | Exzellent | FABMATE®, Tungsten, Molybdenum, Tantalum | W | Mo | Ta, Mo | Al2O3,W | Gleichspannung |
![]() - |
Silberbromid
|
AgBr | 432 | D | 6,47 | - | - | - | ~380 | - | - | Ta | - | - | Q | RF |
- |
Silberchlorid
|
AgCl | 455 | - | 5,56 | - | - | - | ~520 | - | - | Mo | - | Mo | Q | RF |
- |
Silberiodid
|
AgI | 558 | - | 6,01 | - | - | - | ~500 | - | - | Ta | - | - | - | RF |
- |
Natrium
|
Na | 98 | - | 0,97 | - | 74 | 124 | 192 | - | - | Ta | - | - | Q | - |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. Metall reagiert schnell an der Luft. |
Natriumbromid
|
NaBr | 747 | - | 3,2 | - | - | - | ~400 | - | - | - | - | - | Q | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Natriumchlorid
|
NaCl | 801 | - | 2,17 | - | - | - | 530 | Gut | - | Ta, W, Mo | - | - | Q | RF |
Kupferofen; wenig Zersetzung. Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Natriumcyanid
|
NaCN | 564 | - | - | - | - | - | ~550 | - | - | - | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Natriumfluorid
|
NaF | 993 | - | 2,56 | - | - | - | ~1.000 | Gut | Tungsten, FABMATE® | Mo, Ta, W | - | - | BeO | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. Keine Zersetzung. |
Natriumhydroxid
|
NaOH | 318 | - | 2,13 | - | - | - | ~470 | - | - | - | - | - | - | - |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Spinell
|
MgAI2O4 | - | - | 8 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | RF |
- |
Strontium
|
Sr | 769 | - | 2,6 | **1,00 | 239 | 309 | 403 | Schlecht | - | W, Ta, Mo | W | W | VitC | RF |
Benetzt, legiert aber nicht mit W/Ta/Mo. Kann in der Luft reagieren. |
Strontiumchlorid
|
SrCl2 | 875 | - | 3,05 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Strontiumfluorid
|
SrF2 | 1.473 | - | 4,24 | - | - | - | ~1.000 | - | - | - | - | - | Al2O3 | RF |
- |
Strontiumoxid
|
SrO | 2.430 | S | 4,7 | - | - | - | 1.500 | - | - | Mo | - | - | Al2O3 | RF |
Reagiert mit W/Mo. |
Strontiumsulfid
|
SrS | >2.000 | - | 3,7 | - | - | - | - | - | - | Mo | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Strontiumtitanat
|
SrTiO3 | - | - | 4,81 | 0,31 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Schwefel
|
S | 113 | - | 2,07 | - | 13 | 19 | 57 | Schlecht | - | W | - | W | Q | - |
Schlecht für Vakuumsysteme. Nicht fürs Sputtern empfohlen. |
Supermalloy® †
|
Ni/Fe/Mo | 1.410 | - | 8.9 | - | - | - | - | Gut | FABMATE®‡ | - | - | - | - | Gleichspannung |
Sputtern bevorzugt; oder Co-Evaporation aus 2 Quellen-Ni/Fe und Mo. |
Tantal
|
Ta | 3.017 | - | 16.6 | 0,262 | 1.960 | 2.240 | 2.590 | Exzellent | FABMATE®, Graphite | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() Bildet gute Schichten. |
Tantalborid
|
TaB2 | 3.000(?) | - | 11,15 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Tantalcarbid
|
TaC | 3.880 | - | 13,9 | **1,00 | - | - | ~2.500 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Tantalnitrid
|
TaN | 3.360 | - | 16.3 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verdampft Ta in 10-3 Torr N2. |
Tantalpentoxid
|
Ta2O5 | 1.872 | - | 8.2 | 0,3 | 1.550 | 1.780 | 1.920 | Gut | FABMATE®, Tantalum | Ta | W | W | VitC | RF, RF-R |
![]() Leichte Zersetzung. Verdampfen Sie Ta bei einem Partialdruck von 10-3 Torr O2. |
Tantalsulfid
|
TaS2 | >1.300 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Technetium
|
Tc | 2.200 | - | 11,5 | - | 1.570 | 1.800 | 2.090 | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Tellur
|
Te | 449 | - | 6,25 | 0.9 | 157 | 207 | 277 | Schlecht | FABMATE® | W, Ta | W | W, Ta | Al2O3, Q | RF |
Benetzt ohne zu legieren. Nicht fürs Sputtern empfohlen. |
Terbium
|
Tb | 1.356 | - | 8,27 | 0,66 | 800 | 950 | 1.150 | Exzellent | Graphite, FABMATE®, Tantalum | Ta | - | - | Al2O3 | RF |
- |
Terbiumfluorid
|
TbF3 | 1.172 | - | - | - | - | - | ~800 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Terbiumoxid
|
Tb2O3 | 2.387 | - | 7,87 | - | - | - | 1.300 | - | - | - | - | - | - | RF |
Zersetzt sich teilweise. |
Terbiumperoxid
|
Tb4O7 | - | D | - | - | - | - | - | - | - | Ta | - | - | - | RF |
Filme sind TbO. |
Thallium
|
Tl | 304 | - | 11,85 | - | 280 | 360 | 470 | Schlecht | FABMATE® | W, Ta | - | W | Al2O3, Q | Gleichspannung |
Nässt ungehindert. Nicht fürs Sputtern empfohlen. |
Thalliumbromid
|
TlBr | 480 | S | 7,56 | - | - | - | ~250 | - | - | Ta | - | - | Q | RF |
- |
Thalliumchlorid
|
TlCl | 430 | S | 7 | - | - | - | ~150 | - | - | Ta | - | - | Q | RF |
- |
Thalliumiodid
|
TlI | 440 | S | 7.1 | - | - | - | ~250 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Thalliumoxid
|
Tl2O2 | 717 | - | 10,19 | - | - | - | 350 | - | - | - | - | - | - | RF |
Unverhältnismäßig bei 850 °C zu Tl2O. |
Thorium
|
Th | 1.750 | - | 11.7 | - | 1.430 | 1.660 | 1.925 | Exzellent | Molybdän, Tantal, Wolfram | W, Ta, Mo | W | W | - | - |
- |
Thoriumbromid
|
ThBr4 | 610 | S | 5,67 | - | - | - | - | - | - | Mo | - | - | - | - |
- |
Thoriumcarbid
|
ThC2 | 2.655 | - | 8,96 | - | - | - | ~2.300 | - | - | - | - | - | C | RF |
- |
Thoriumfluorid
|
ThF4 | >900 | - | 6,32 | - | - | - | ~750 | Ausreichend | - | Mo | - | W | VitC | RF |
- |
Thoriumoxid
|
ThO2 | 3.220 | - | 9,86 | - | - | - | ~2.100 | Gut | Wolfram | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Thoriumoxyfluorid
|
ThOF2 | 900 | - | 9,1 | - | - | - | - | - | - | Mo, Ta | - | - | - | - |
- |
Thoriumsulfid
|
ThS2 | 1.925 | - | 7.3 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
Sputtern bevorzugt; oder mitverdampfen aus 2 Quellen. |
Thulium
|
Tm | 1.545 | S | 9,32 | - | 461 | 554 | 680 | Gut | - | Ta | - | - | Al2O3 | Gleichspannung |
- |
Thuliumoxid
|
Tm2O3 | - | - | 8.9 | - | - | - | 1.500 | - | - | - | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Zinn
|
Sn | 232 | - | 7,28 | 0,724 | 682 | 807 | 997 | Exzellent | FABMATE®, Tantalum | Mo | W | W | Al2O3 | Gleichspannung |
Benetzt Mo. Geringe Sputterleistung Verwenden Sie Ta-Liner in Elektronenstrahlkanonen. Werkstoffe mit niedrigem Schmelzpunkt sind nicht ideal fürs Sputtern. |
Zinnoxid
|
SnO2 | 1.630 | S | 6,95 | **1,00 | - | - | ~1.000 | Exzellent | - | W | W | W | Q, Al2O3 | RF, RF-R |
Schichten aus W sind sauerstoffarm; oxidieren an Luft. |
Zinnselenid
|
SnSe | 861 | - | 6,18 | - | - | - | ~400 | Gut | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Zinnsulfid
|
SnS | 882 | - | 5.22 | - | - | - | ~450 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Zinntellurid
|
SnTe | 780 | D | 6,48 | - | - | - | ~450 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Titan
|
Ti | 1.660 | - | 4.5 | 0,628 | 1.067 | 1.235 | 1.453 | Exzellent | FABMATE®,Intermetallic | W | - | - | TiC, TiB2-BN | Gleichspannung |
![]() Legiert mit W/Ta/Mo; Ausgasen beim ersten Erhitzen. |
Titan-(II)-oxid
|
TiO | 1.750 | - | 4,95 | **1,00 | - | - | ~1.500 | Gut | FABMATE®, Tantalum | W, Mo | - | - | VitC | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Titan-(III)-oxid
|
Ti2O3 | 2.130 | D | 4,6 | - | - | - | - | Gut | FABMATE®, Tantalum | W | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Titan-(IV)-oxid
|
TiO2 | 1.830 | - | 4,23 | 0,4 | - | - | ~1.300 | Ausreichend | FABMATE®, Tantalum | W, Mo | - | W | - | RF, RF-R |
![]() Suboxid, muss zu Rutil reoxidiert werden. Ta reduziert TiO2 auf TiO und Ti. |
Titanborid
|
TiB2 | 2.900 | - | 4.5 | **1,00 | - | - | - | Schlecht | - | - | - | - | - | RF |
- |
Titancarbid
|
TiC | 3.140 | - | 4,93 | **1,00 | - | - | ~2.300 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Titannitrid
|
TiN | 2.930 | - | 5,4 | **1,00 | - | - | - | Gut | Molybdän | Mo | - | - | - | RF, RF-R |
Sputtern bevorzugt. Zersetzt sich durch thermische Verdampfung. |
Wolfram
|
W | 3.410 | - | 19,25 | 0,163 | 2.117 | 2.407 | 2.757 | Gut | Direkt aus dem Pocket | - | - | - | - | Gleichspannung |
![]() Bildet flüchtige Oxide. Dünnfilme sind hart und haften gut. |
Wolframborid
|
WB2 | ~2.900 | - | 10,77 | - | - | - | - | Schlecht | - | - | - | - | - | RF |
- |
Wolframcarbid
|
WC | 2.860 | - | 15.63 | 0,151 | 1.480 | 1.720 | 2.120 | Exzellent | Graphite, FABMATE® | C | - | - | - | RF |
- |
Wolframdisulfid
|
WS2 | 1.250 | D | 7,5 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Wolframoxid
|
WO3 | 1.473 | S | 7,16 | **1,00 | - | - | 980 | Gut | Wolfram | W | - | - | - | RF-R |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. W reduziert Oxid leicht. |
Wolframselenid
|
WSe2 | - | - | 9 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Wolframsilizid
|
WSi2 | >900 | - | 9,4 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Wolframtellurid
|
WTe2 | - | - | 9,49 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Uran
|
U | 1.132 | - | 19.05 | - | 1.132 | 1.327 | 1.582 | Gut | - | Mo, W | W | W | - | - |
Filme oxidieren. |
Uran-(II)-sulfid
|
US | >2.000 | - | 10,87 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
- |
Uran-(III)-oxid
|
U2O3 | 1.300 | D | 8,3 | - | - | - | - | - | - | W | - | W | - | RF-R |
Unverhältnismäßig bei 1.300 °C zu UO2. |
Uran-(IV)-oxid
|
UO2 | 2.878 | - | 10,96 | - | - | - | - | - | - | W | - | W | - | RF |
Ta verursacht Zersetzung. |
Uran-(IV)-sulfid
|
US2 | >1.100 | - | 7,96 | - | - | - | - | - | - | W | - | - | - | RF |
Leichte Zersetzung. |
Urancarbid
|
UC2 | 2.350 | - | 11,28 | - | - | - | 2.100 | - | - | - | - | - | C | RF |
Zerfällt. |
Uranfluorid
|
UF4 | 960 | - | 6,7 | - | - | - | 300 | - | - | Ni | - | - | - | RF |
- |
Uranphosphat
|
UP2 | - | - | 8.57 | - | - | - | 1.200 | - | - | Ta | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Vanadium
|
V | 1.890 | - | 6,11 | 0,53 | 1.162 | 1.332 | 1.547 | Exzellent | Wolfram | W, Mo | - | - | - | Gleichspannung |
Benetzt Mo. Elektronenstrahlverdampfte Schichten bevorzugt. |
Vanadium-(IV)-oxid
|
VO2 | 1.967 | S | 4,34 | - | - | - | ~575 | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Sputtern bevorzugt. |
Vanadium-(V)-oxid
|
V2O5 | 690 | D | 3,36 | **1,00 | - | - | ~500 | - | - | - | - | - | Q | RF |
- |
Vanadiumborid
|
VB2 | 2.400 | - | 5,1 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Vanadiumcarbid
|
VC | 2.810 | - | 5,77 | **1,00 | - | - | ~1.800 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Vanadiumnitrid
|
VN | 2.320 | - | 6,13 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
- |
Vanadiumsilizid
|
VSi2 | 1.700 | - | 4,42 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Ytterbium
|
Yb | 819 | S | 6,98 | 1,13 | 520 | 590 | 690 | Gut | Tantal | Ta | - | - | - | - |
- |
Ytterbiumfluorid
|
YbF3 | 1.157 | - | 8.2 | - | - | - | ~800 | - | Tantal, Molybdän | Mo | - | - | - | RF |
![]() - |
Ytterbiumoxid
|
Yb2O3 | 2.346 | S | 9,17 | **1,00 | - | - | ~1.500 | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verliert Sauerstoff. |
Yttrium
|
Y | 1.522 | - | 4.47 | 0,835 | 830 | 973 | 1.157 | Exzellent | Wolfram | W, Ta | W | W | Al2O3 | RF, DC |
Hohe Ta-Löslichkeit. |
Ytterbiumaluminiumoxid
|
Y3Al5O12 | 1.990 | - | - | - | - | - | - | Gut | - | - | W | W | - | RF |
Filme nicht ferroelektrisch. |
Yttriumfluorid
|
YF3 | 1.387 | - | 4,01 | - | - | - | - | - | Tantal, Molybdän | - | - | - | - | RF |
![]() - |
Yttriumoxid
|
Y2O3 | 2.410 | - | 5,01 | **1,00 | - | - | ~2.000 | Gut | FABMATE®, Graphite, Tungsten | W | - | - | C | RF, RF-R |
![]() Verliert Sauerstoff; Schichten sind glatt und klar. |
Zink
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Zn | 420 | - | 7.14 | 0,514 | 127 | 177 | 250 | Exzellent | FABMATE®, Graphite, Tungsten | Mo, W, Ta | W | W | Al2O3, Q | Gleichspannung |
Verdampft gut unter verschiedensten Bedingungen. |
Zinkantimonid
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Zn3Sb2 | 570 | - | 6,33 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Zinkbromid
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ZnBr2 | 394 | - | 4,2 | - | - | - | ~300 | - | - | W | - | - | C | RF |
Zerfällt. |
Zinkfluorid
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ZnF2 | 872 | - | 4,95 | - | - | - | ~800 | - | - | Ta | - | - | Q | RF |
- |
Zinknitrid
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Zn3N2 | - | - | 6,22 | - | - | - | - | - | - | Mo | - | - | - | RF |
Zerfällt. |
Zinkoxid
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ZnO | 1.975 | - | 5.61 | 0,556 | - | - | ~1.800 | Ausreichend | - | - | - | - | - | RF-R |
- |
Zinkselenid
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ZnSe | >1.100 | - | 5,42 | 0,722 | - | - | 660 | - | Tantal, Molybdän | Ta, W, Mo | W, Mo | W, Mo | Q | RF |
![]() Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. Gut zum Verdampfen geeignet |
Zinksulfid
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ZnS | 1.700 | S | 3.98 | 0,775 | - | - | ~800 | Gut | Tantal, Molybdän | Ta, Mo | - | - | - | RF |
![]() Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. Filme zersetzen sich teilweise. n=2,356. |
Zinktellurid
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ZnTe | 1.239 | - | 6,34 | 0,77 | - | - | ~600 | - | - | Mo, Ta | - | - | - | RF |
Heizen Sie den Werkstoff zum Ausgasen sanft vor. |
Zirkonium
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Zr | 1.852 | - | 6.49 | 0.6 | 1.477 | 1.702 | 1.987 | Exzellent | - | W | - | - | - | Gleichspannung |
![]() Legiert mit Wolfram. Dünnfilme oxidieren sofort. |
Zirconiumborid
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ZrB2 | ~3.200 | - | 6,09 | - | - | - | - | Gut | - | - | - | - | - | RF |
- |
Zirkoniumcarbid
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ZrC | 3.540 | - | 6,73 | 0,264 | - | - | ~2.500 | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Zirkoniumnitrid
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ZrN | 2.980 | - | 7,09 | **1,00 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF, RF-R |
Verdampft reaktiv in 10-3 Torr N2. |
Zirkoniumoxid
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ZrO2 | ~2.700 | - | 5,89 | **1,00 | - | - | ~2.200 | Gut | Graphit, Wolfram | W | - | - | - | RF, RF-R |
![]() Dünnfilme sind sauerstoffarm, klar und hart. |
Zirconiumsilikat
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ZrSiO4 | 2.550 | - | 4,56 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
- |
Zirconiumsilizid
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ZrSi2 | 1.700 | - | 4,88 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | RF |
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Z-Faktoren
Empirische Bestimmung des Z-Faktors
Leider sind der Z-Faktor und das Schubmodul für viele Werkstoffe nicht ohne weiteres verfügbar. In diesem Fall kann der Z-Faktor auch empirisch unter Verwendung der folgenden Verfahren bestimmt werden:
- Legen Sie den Werkstoff ab, bis die Lebensdauer des Kristalls bei 50 % oder kurz vor dem Ende der Lebensdauer des Kristalls liegt, je nachdem, was früher eintritt.
- Legen Sie ein neues Substrat neben den verwendeten Quarzsensor.
- Stellen Sie die QCM Dichte auf den kalibrierten Wert ein; Werkzeug auf 100 %.
- Nehmen Sie eine Null-Kalibrierung der Schichtdickenmessung vor.
- Dampfen Sie ungefähr 1000 bis 5000 A des Werkstoffs auf das Substrat auf.
- Verwenden Sie ein Profilometer oder Interferometer, um die tatsächliche Dicke der Substratschicht zu messen.
- Stellen Sie den Z-Faktor des Instruments ein, bis der korrekte Dickenwert angezeigt wird.
Eine weitere Alternative besteht darin, die Kristalle häufig zu wechseln und den Fehler zu ignorieren. Die folgende Grafik zeigt den %-Fehler in der Rate bzw. Dicke bei Verwendung des falschen Z-Faktors. Bei einem Kristall mit einer Lebensdauer von 90 % ist der Fehler vernachlässigbar, selbst für große Fehler in dem programmierten gegenüber dem tatsächlichen Z-Faktor.
