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Rampenverfahren für die Konditionierung keramischer Targets

Achtung Das von Ihnen gekaufte Target kann eine geringe Wärmeleitfähigkeit haben, die es anfällig für Temperaturschocks und hohe Betriebstemperaturen macht. Wir empfehlen dringend die Verwendung von Ramp-up- und Ramp-down-Verfahren beim Anlegen oder Reduzieren der Leistung.
  1. Der Versuch, ein Plasma mit geringer Leistung zu zünden, kann einen hohen Argon-Gasdruck erfordern. Typischerweise werden 5E-2 Torr (6,7 Pa) für die Zündung mit niedriger Leistung benötigt. Sobald sich das Plasma stabilisiert hat, kann der Druck auf den für das Sputtern des jeweiligen Targetmaterials üblichen Wert reduziert werden.
  2. Die Leistung auf dem Target sollte während der Einlaufphase langsam erhöht werden. Die Steigerungsrate sollte auf 10 - 20 Watt pro Minute begrenzt werden. Wenn Sie sich über die Eigenschaften des Targetmaterials und seine Reaktion auf das Anlegen von Leistung nicht sicher sind, wählen Sie den unteren Wert der Leistungsrampe. Wenn Lichtbogen, Spannungsspitzen oder andere Plasmaunregelmäßigkeiten während des Hochfahrens auftreten, stoppen Sie das Rampen der Leistung und lassen Sie das Plasma sich stabilisieren, bevor Sie fortfahren.
  3. Da die Depositionsrate mit zunehmender Leistungsdichte zunimmt, ist es die natürliche Reaktion, mehr Leistung anzulegen, um die Deposition zu beschleunigen. Allerdings hat jedes einzelne Target, das in einer bestimmten Sputterquelle montiert ist, seine eigenen Wärmeübertragungseigenschaften. Die Anwendung einer höheren Leistungsdichte als akzeptabel führt zu einer Überhitzung des Targets und anschließendem Bruch und/oder Bondausfall (wenn das Target verklebt ist).
  4. Wenn der Depositionslauf abgeschlossen ist, ist es ebenso wichtig, die Leistung mit der gleichen Geschwindigkeit wie beim Hochlauf herunterzufahren, damit das Target langsam abkühlen kann und so ein Temperaturschock und damit verbunden das Potenzial für ein Brechen des Targets vermieden wird. Als zusätzliche Vorsichtsmaßnahme sollte die Kammer vor dem Belüften langsam auf Umgebungstemperatur abgekühlt werden.

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