Repräsentative Abbildung
Punktförmige Verdampferdepositionsquellen für organisches Material
Unsere Niedertemperaturverdampfer (Low Temperature Evaporators, LTE) scheiden dünne Schichten von flüchtigen organischen Verbindungen ab, die zur Herstellung von organischen LEDs (OLEDs), Solarzellen und anderen auf organischen Verbindungen basierenden Geräten benötigt werden.
Es können mehrere Quellen angeordnet werden, um gleichzeitig gefärbte oder dotierte Schichten für Farbdisplays abzuscheiden.
Merkmale des Niedrigtemperatur-Verdampfers
- Optionen für Einzelkanal und sequenzielle Steuerung verfügbar
- Temperaturregelung mit Eurotherm 2408 PID Controller mit Regelung bis zu ±0,1 °C
- Autom. Abstimmungsmodi
- Anpassbare Alarmbedingungen
- Aufdampfraten-Steuereingang mit handelsüblichen Depositionskontrollen kompatibel
- CE-Kennzeichnung
Merkmale des Hydravap Niedrigtemperatur-Verdampfers mit Wasserkühlung
- 3,7-mal schnellere Kühlung im Vergleich zur standardmäßigen KJLC Niedrigtemperatur-Verdampferquelle: von 420 °C auf 50 °C in nur 95 Minuten*
- Upgrade-Lösungen für KJLC-Systeme und -Software
- Effiziente Heizwendel für optimales Heizprofil
- PID-Regler (±0,1 °C) für Niedrigtemperatur-Betrieb (50–450 °C)
- Erzeugung von homogenen Schichten (±1%) abhängig von Substratgröße und Werkstofftyp
Spezifikationstabelle
| Modell | LTE 01 | LTE 10 | Hydravap |
|---|---|---|---|
| Höhe | 3,5" (89 mm) | 5,1" (129 mm) | 5,1'' (129 mm) |
| Durchmesser | 1,5" (38 mm) Außendurchmesser | 2,24" (57 mm) Außendurchmesser | 2,4'' (62 mm) Außendurchmesser |
| Standardtiegel | 2cc Alumina | 15 cc Aluminiumoxid | 15 cc Aluminiumoxid |
| Ladekapazität | 1 cc | 10 cc | 10 cc |
| Temperaturbereich | 50 °C bis 600 °C | 50 °C bis 600 °C | 50°C to 450°C |
X SCHLIESSEN
Typische LTE-Depositionsraten (bei Wurfweite von 300 mm)
| AlQ3 | 0,2 bis 5,0 Å/s |
| PTCDA | 0,2 bis 2,0 Å/s |
| CuPc | 0,2 bis 2,0 Å/s |
| C60 | 0,2 bis 2,0 Å/s |
| MAI | 0,2 bis 0,5 Å/s |
Bemaßte Zeichnungen
Diagramme
