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TORUS® Lineare Sputtermagnetrons

Anwendungen:

  • Architekturglas
  • Photovoltaik
  • Supraleiter
  • Werkzeugbeschichtungen
  • Verschleißschutz-Beschichtungen
  • Flachbildschirme
  • Beleuchtung
  • OLED / PLED
  • Medizin
  • Web Coating
  • Luftfahrt
  • Verschleißschutz-Beschichtungen
  • Dekoration
  • Photovoltaik
  • Nanotechnologie
  • Optik

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Spezifikationen

Modell 2" Breit 3,5" Breit 5" Breit 6" Breit
Targetgröße 2,35" breit x 0,25" Standard-Dicke

Gesamt-Target-Dicke 0,25" (1)
3,5" breit x 0,375" Standard-Dicke

0,50" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)
5,0" breit x 0,50" Standard-Dicke

0,750" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)
6,0" breit x 0,625" Standard-Dicke

0,750" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)
Maße der Baugruppe 3,930" breit x Target-Länge + (1,93") (w\0,250" Schirmung) 5,30" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung) 6,80" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung) 7,80" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung)
Membran (optional) 3,930" breit x 0,020" Standard-Dicke 4,30" breit x 0,020" Standard-Dicke 5,80" breit x 0,020" Standard-Dicke 6,80" breit x 0,020" Standard-Dicke
Trägerplatten (Optional) 3,230" breit x 0,125" dick 4,30" breit x 0,125" dick 5,8" breit x 0,250" dick 6,8" breit x 0,250" dick
Auslastung ~20% (2) 40% bis 48% (2) 40% bis 43% (2)(3) 40% bis 47% (2)(3)
Betriebsdruck 0,5 - 50 mT (3) 0,5 - 50 mT (3) 0,5 - 50 mT (3)(4) 0,5 - 50 mT (3)(4)
Strom RF, AC, DC, gepulstes DC RF, AC, DC, gepulstes DC RF, AC, DC, gepulstes DC RF, AC, DC, gepulstes DC
Maximalleistung 150 Watt/Quadratzoll (5) 200 Watt/Quadratzoll (5) 250 Watt/Quadratzoll (5) 250 Watt/Quadratzoll (5)
Wasserbedarf 1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6)

1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung
1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6)

1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung
20°C Vorlauftemperatur, 1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6)

1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung
20°C Vorlauftemperatur, 1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6)

1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung
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  1. Die Gesamtdicke beinhaltet das Target und die Trägerplatte, falls zutreffend.
  2. Auslastung basierend auf der Sollgewichtsänderung unter Verwendung von Aluminium- und Kupfertargets @ 3 mT Argon, 50 Watt pro Quadratzoll und etwa 75% bis 100% der verwendeten Solldicke.
  3. Geringere Targetausnutzung tritt auf, wenn der Druck steigt.
  4. Drücke über 100 mT möglich bei kundenspezifischen Ausführungen
  5. Höhere Leistungen sind möglich, kontaktieren Sie unsere Ingenieure
  6. Höhere Drücke sind möglich, die angestrebten Materialeigenschaften und -dicken bestimmen den ultimativen maximalen Wasserdruck.
Einige Spezifikationen variieren je nach Prozess, Zielmaterial, etc.

Hinweis:

Zubehörtabelle

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Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3 ft Länge
1 EJCBL3HN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3 ft Länge
1 EJCBL3NN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE
Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3 ft Länge
1 EJCBL3NP Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“
Typ N Stecker zu UHF-Stecker, RG213, 3 ft Länge
1 EJCBL3NU Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 5 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 400V 3PH
TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 5 kW Gleichstromversorgung 400V 3PH
- 1534405 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
TRUPLASMA GLEICHSTROM 3010 G1 10 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 400V 3PH
TRUPLASMA Gleichstrom 3010 G1 10 kW Gleichstromversorgung 400V 3PH
- 1534597 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 5 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 208V 3PH
TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 5 kW Gleichstromversorgung 208V 3PH
- 1558202 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 10 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 208V 3PH
TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 10 kW Gleichstromversorgung 208V 3PH
- 1601465 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.
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