Repräsentative Abbildung

TORUS® Lineare Sputtermagnetrons

Anwendungen:

Architekturglas
Photovoltaik
Supraleiter
Werkzeugbeschichtungen
Verschleißschutz-Beschichtungen
Flachbildschirme
Beleuchtung
OLED / PLED
Medizin

Web Coating
Luftfahrt
Verschleißschutz-Beschichtungen
Dekoration
Photovoltaik
Nanotechnologie
Optik

Übersicht

Unsere TORUS^® Linearen Sputtermagnetrons verwenden industrieerprobte Technologie sowohl in der Magnettechnik als auch im Aufbau und bieten zuverlässige Leistung und Langlebigkeit, die für erfolgreiche Forschungs- und Produktionsanwendungen erforderlich sind.

Backed by over 65+ years of thin film experience, TORUS magnetrons are synonymous with quality and support. Unser globaler Außendienst und unsere weltweiten Standorte bieten umfassenden technischen Support und können bei Bedarf bei der Integration und Anwendungsunterstützung helfen.

Unsere linearen Sputtermagnetrons zeichnen sich durch verbesserte Erosions- und Homogenitätsprofile aus. Die Fähigkeit eine Quelle von Grund auf zu konstruieren, ermöglicht es uns, eine kundenspezifische Quelle zu modellieren, die ideal für Ihre Anwendung und Anforderungen ist. Unsere Modellierungssoftware ermöglicht es uns, Magnetfelder speziell für Ihre Ziele und Leistungsanforderungen zu konfigurieren. Wir sind auch in der Lage, Homogenitätsprofile basierend auf der Magnetrongröße und dem Magnetprofil anzubieten.

Mit einer breiten Palette von Größen, einschließlich Standardbreiten von 2", 3,5", 5" und 6" und Längen bis zu 160", ist KJLC^® in der Lage, die Sputterlösung für Ihre F&E- oder Produktionsumgebung anzubieten.

Um ein Angebot für einen unserer TORUS^® Linear Sputtering-Magnetrons anzufordern, lesen Sie bitte den Linear-Magnetron Fragebogen.

Merkmale

Magnetkonfigurationen beinhalten Folgendes:
- Designs mit hoher Targetauslastung - ≥40%.
- Hochfeste Magnete
- Optionen für asymmetrische Magnete
Standardquerschnitte von 2", 3,5", 5" und 6" Breite
Vielseitiger Betrieb mit HiPIMS-, RF-, DC- oder gepulstem DC
Interne oder auf Flansch montierte Konfigurationen
Sonderanfertigungen erhältlich
Magnet- und Homogenitätsmodellierung

Hoher Targetausnutzungsgrad

5x Enderosion

5x Mittlere Erosion

KJLC bietet Designs mit hoher Targetauslastung, die eine Targetauslastung von ≥40% ermöglichen. Nachfolgend finden Sie einige Fotos, die ein erodiertes, 5" x 27" Sputtertarget zeigen, gemessen bei 41% Auslastung.

Hinweis: Die angestrebte Erosion wird durch Strom, Druck und Prozessgas beeinflusst. Höhere Drücke führen in der Regel zu einer geringeren Auslastung. Der Betrieb mit geringer Leistung (≤15W/in²) und die Einführung von Reaktivgas (Sauerstoff) in Ihren Prozess führt ebenfalls zu einer geringeren Auslastung.

Montageoptionen

Intern: Einzel- oder Doppeldurchführung
Konfigurationen verfügbar
Extern: Konfiguration mit Flanschaufbau
(Flanschaufbau)

Intern

Extern

Optionen

Flexibel im Winkel einstellbare Haltestange
Rechtwinklige Haltestange
Depositionskamin
Gaseinlassring
Hochfeste Magnete
Schutter
Cluster-Baugruppen

Mögliche Netzteile

Magnet-Optionen

Standard (NdFeB, NeodymEisenBor)
- Optimiert für bis zu 0,750" dicke Targets
Hochfest (NdFeB, NeodymEisenBor)
- Optimiert für bis zu 0,250" dicke Ni-Targets

High Power Impulse Magnetron-Sputtern (HiPIMS)

Das Kurt J. Lesker Co™/Starfire Industries HiPIMS IMPULSE™ ist ein vielseitiges gepulstes Spannungsmodul, das ein herkömmliches Gleichstrom-Sputtersystem in ein voll funktionierendes High-Power Impulse Magnetron Sputtering-System (HiPIMS) verwandelt.

Um mehr zu erfahren, besuchen Sie die Seite IMPULSE - 2 kW Pulsed Power Modules for Advanced Magnetron Sputtering Seite.

Targets

KJLC bietet eine breite Palette von linearen Sputtertargets aus leitfähigen und nicht leitfähigen Materialien, die in Klemm-, Klebe- oder Schraubkonfigurationen verwendet werden können. Wir können alles anbieten, von monolithischen Metallen bis hin zu exotischen Legierungen. Unsere Bondingfähigkeiten umfassen standardmäßig metallisches sowie Elastomer-Bonding. Für größere Targetkonfigurationen können wir mehrteilige Konfigurationen mit abgeschrägten oder stumpfen Nahtstellen anbieten.

Please contact our materials department by clicking here for a quotation on the targets you need for you application.

Spezifikationen

Modell	2" Breit	3,5" Breit	5" Breit	6" Breit
Targetgröße	2,35" breit x 0,25" Standard-Dicke Gesamt-Target-Dicke 0,25" (1)	3,5" breit x 0,375" Standard-Dicke 0,50" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)	5,0" breit x 0,50" Standard-Dicke 0,750" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)	6,0" breit x 0,625" Standard-Dicke 0,750" Maximal empfohlene Gesamt-Target-Dicke (1)
Maße der Baugruppe	3,930" breit x Target-Länge + (1,93") (w\0,250" Schirmung)	5,30" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung)	6,80" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung)	7,80" breit x Target-Länge + (1,80") (w\0,375" Schirmung)
Membran (optional)	3,930" breit x 0,020" Standard-Dicke	4,30" breit x 0,020" Standard-Dicke	5,80" breit x 0,020" Standard-Dicke	6,80" breit x 0,020" Standard-Dicke
Trägerplatten (Optional)	3,230" breit x 0,125" dick	4,30" breit x 0,125" dick	5,8" breit x 0,250" dick	6,8" breit x 0,250" dick
Auslastung	~20% (2)	40% bis 48% (2)	40% bis 43% (2)(3)	40% bis 47% (2)(3)
Betriebsdruck	0,5 - 50 mT (3)	0,5 - 50 mT (3)	0,5 - 50 mT (3)(4)	0,5 - 50 mT (3)(4)
Strom	RF, AC, DC, gepulstes DC	RF, AC, DC, gepulstes DC	RF, AC, DC, gepulstes DC	RF, AC, DC, gepulstes DC
Maximalleistung	150 Watt/Quadratzoll (5)	200 Watt/Quadratzoll (5)	250 Watt/Quadratzoll (5)	250 Watt/Quadratzoll (5)
Wasserbedarf	1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6) 1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung	1,5 Gallonen/min pro 5 kw, 25 psi max. Eingangsdruck (6) 1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung	20°C inlet temperature, 1,5 Gallons/min per 5 kw, 25 psi max. inlet pressure (6) 1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung	20°C inlet temperature, 1,5 Gallons/min per 5 kw, 25 psi max. inlet pressure (6) 1 Megohm Widerstand zwischen Kathode und Erdung

X SCHLIESSEN

Die Gesamtdicke beinhaltet das Target und die Trägerplatte, falls zutreffend.

Auslastung basierend auf der Sollgewichtsänderung unter Verwendung von Aluminium- und Kupfertargets @ 3 mT Argon, 50 Watt pro Quadratzoll und etwa 75% bis 100% der verwendeten Solldicke.

Geringere Targetausnutzung tritt auf, wenn der Druck steigt.

Drücke über 100 mT möglich bei kundenspezifischen Ausführungen

Höhere Leistungen sind möglich, kontaktieren Sie unsere Ingenieure

Höhere Drücke sind möglich, die angestrebten Materialeigenschaften und -dicken bestimmen den ultimativen maximalen Wasserdruck.

Einige Spezifikationen variieren je nach Prozess, Zielmaterial, etc.

Hinweis:

If you require a flange or quick connect for mounting your magnetron to the chamber, we have several standard options. Please click links to see available options.
CF zu Schnellkupplung
KF (QF) zu Schnellkupplung
Durchführungskupplungen zum Anschluss an eine Grundplatte

Zubehörtabelle

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Zubehörtyp	Beschreibung	Reference	Hinweise	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Zubehörtyp	Beschreibung	Reference	Hinweise	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“	Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3 ft Länge	1	EJCBL3HN	$229,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“	Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3 ft Länge	1	EJCBL3NN	$144,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE	Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3 ft Länge	1	EJCBL3NP	$100,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“	Typ N Stecker zu UHF-Stecker, RG213, 3 ft Länge	1	EJCBL3NU	Auf Anfrage
Netzteil	TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 5 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 400V 3PH	TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 5 kW Gleichstromversorgung 400V 3PH	-	1534405	$15.160,00
Netzteil	TRUPLASMA GLEICHSTROM 3010 G1 10 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 400V 3PH	TRUPLASMA Gleichstrom 3010 G1 10 kW Gleichstromversorgung 400V 3PH	-	1534597	$15.215,00
Netzteil	TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 5 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 208V 3PH	TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 5 kW Gleichstromversorgung 208V 3PH	-	1558202	Auf Anfrage
Netzteil	TRUPLASMA GLEICHSTROM 3005 G1 10 kW GLEICHSTROMVERSORGUNG 208V 3PH	TRUPLASMA Gleichstrom 3005 G1 10 kW Gleichstromversorgung 208V 3PH	-	1601465	$15.770,00

X SCHLIESSEN

Hinweise:

Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.