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TORUS® Runde HV (Hochvakuum) Magnetron-Sputterquellen

KJLC bietet ein umfassendes Sortiment an runden TORUS® Magnetron-Sputterquellen an, die für die meisten Forschungs- und Entwicklungsanwendungen geeignet sind. Traditionelles Targetdesign mit indirekter Kühlung, Klemmen und integriertem Anodenschutz. Optimal für geringe bis mittlere Leistung, F&E sowie kleinere Produktionsanwendungen. Die Größe der Sputterkathoden reicht von einem bis hin zu vier Zoll Durchmesser. Sie sind mit nahezu jedem Werkstoff kompatibel, haben eine hervorragende Targetausnutzung und können mittels RF-, DC- oder gepulsten Gleichstrom-Netzgeräten betrieben werden.

Für optimale Leistung entworfen:

  • Großer Druckbereich bis zu 10-9 Torr
  • Geringe Ausgasung
  • Ausgezeichnete Homogenität bei dünnen Schichten und hervorragende Depositionsraten
  • Effiziente Sputter-Targetausnutzung
  • Dank des hervorragenden Target-Haltemechanismus sind keine Wärmeleitpasten, Wärmeleitkleber usw. erforderlich.
  • Kompakte, modulare Magnetkonfiguration
  • Magnete werden NICHT dem Vakuum ausgesetzt.
  • Magnete kommen NICHT mit Kühlwasser in Kontakt.
  • Kühlwasser kommt beim Targetwechsel nicht mit der Vakuumkammer in Kontakt.
  • Unbalanced operation and compatibility with magnetic materials is available (please contact us by clicking here for more information)
  • Umfangreiche Zubehörpalette verfügbar (Gaszufuhr, Abzug, Blenden, Clusteranordnungen usw.)
  • Kundenspezifische Konfigurationen möglich
TORUS® Abmessungen und verfügbare Optionen Alle runden TORUS® Sputterquellen für F&E umfassen standardmäßig N-Buchsen, indirekte Wasserkühlung und symmetrischen Magnetbetrieb. Unbalanced operation is available, please contact us by clicking here for more information.

Bemaßte Zeichnungen

 
Fig. 1: TM03AS10 Fig. 2: TM03RS10 Fig. 3: TM03FS10

Practical Sputter Process Tips
To learn more about sputtering rates, uniformity, and process tips click here.
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Spezifikationstabelle

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Modell Abbildung Kopf
Befest.
Ausführung
Target-
durchm.
Target-
Dicke
Abm. A Abm. B Abm. C Abm. D Abm. E Deposition
abzug
Gas
zufuhr
ring
Magnetische
Werkstoffe
TM1 Abb. 1 Axial 1,0"
(25,4 mm)
0,063" – 0,125"
(1,6 mm – 3,2 mm)
4,05"
(103 mm)
4,28"
(109 mm)
nicht verfügbar 9,56"
(243 mm)
18,48"
(469 mm)
Nein Nein Nein
TM1 Abb. 2 Rechter
Winkel
1,0"
(25,4 mm)
0,063" – 0,125"
(1,6 mm – 3,2 mm)
4,05"
(103 mm)
4,28"
(109 mm)
nicht verfügbar 9,56"
(243 mm)
20,76"
(527 mm)
Nein Nein Nein
TM1 Abb. 3 Flex 1,0"
(25,4 mm)
0,063" – 0,125"
(1,6 mm – 3,2 mm)
5,55"
(141 mm)
5,78"
(147 mm)
nicht verfügbar 9,56"
(243 mm)
nicht verfügbar Nein Nein Nein
TM2 Abb. 1 Axial 2,0"
(50,8 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
4,08"
(104 mm)
4,38"
(111 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
18,58"
(472 mm)
Ja Ja Ja
TM2 Abb. 2 Rechter
Winkel
2,0"
(50,8 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
4,08"
(104 mm)
4,38"
(111 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
20,88"
(530 mm)
Ja Ja Ja
TM2 Abb. 3 Flex 2,0"
(50,8 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
5,58"
(142 mm)
5,88"
(149 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
nicht verfügbar Ja Ja Ja
TM3 Abb. 1 Axial 3,0"
(76 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
3,41"
(87 mm)
3,79"
(96 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
18,11"
(460 mm)
Ja Ja Ja
TM3 Abb. 2 Rechter
Winkel
3,0"
(76 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
3,41"
(87 mm)
3,79"
(96 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
20,41"
(518 mm)
Ja Ja Ja
TM3 Abb. 3 Flex 3,0"
(76 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
4,91"
(125 mm)
5,40"
(137 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
nicht verfügbar Ja Ja Ja
TM4 Abb. 1 Axial 4,0"
(102 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
3,66"
(93 mm)
4,05"
(103 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
18,37"
(466 mm)
Ja Ja Ja
TM4 Abb. 2 Rechter
Winkel
4,0"
(102 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
3,66"
(93 mm)
4,05"
(103 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
20,67"
(525 mm)
Ja Ja Ja
TM4 Abb. 3 Flex 4,0"
(102 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
5,16"
(131 mm)
5,55"
(141 mm)
0,11"
(2,8 mm)
9,56"
(243 mm)
nicht verfügbar Ja Ja Ja
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* NOTE: Dimensions involving flange-to-target thickness assume a standard target thickness of 1/8 inch. Abhängig von der Größe Ihres Sputtertargets ist ein entsprechender Wert hinzuzufügen oder abzuziehen.

Produktkonfiguration

Select from the configuration options below to create a part number and price for the particular TORUS® sputter source required. Ziehen Sie als Referenz für gültige Optionen für eine bestimmte Quellengröße die obige Tabelle hinzu.
Example Configuration: TM2RS10EGP is a 2in. OD right angle mount head on a 10in. long tube with a standard magnet array mounted to an 8in. CF flange with gas injection and pneumatic shaft-style shutter.

1. Target Diameter:
2. Befestigungsart:
3. Magnetkonfiguration:
4. Rohrlänge:
5. Flanschgröße:
6. Gas Injection/Deposition Chimney:
7. Shutter:
 

Contact us by clicking here or +1 412 387 9200 to discuss your specific vacuum application and process equipment needs.

Hinweis:

Zubehörtabelle

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Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3HN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE
Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NP Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“
Typ N Stecker zu UHF Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NU Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
500WATT DC NETZGERÄT,0-500V,0-2A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE
500 Watt DC, 85-275V Eingang
- PD500X1 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
1 KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-3A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE
1000 Watt DC, 85-275V Eingang
- PD500X2 Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
1,5KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-4A,HN AUS,100-240V EINGABE,CE,ETL
1500 Watt DC, 85-275V Eingang
- PD500X3 Auf Anfrage Auf Lager
Netzteil
KJLC 300W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE
300 W RF, Typischerweise empfohlen für 2" und 3" Kathoden
- RF03A22XX300 $9.895,00 Contact KJLC for Availability
Netzteil
KJLC 600W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE
600 W RF, Typischerweise empfohlen für 4" Kathoden
- RF06A22XX300 $14.150,00 Contact KJLC for Availability
Reparaturset
REPARATURSET,TM01
Torus 1 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)
- TM01CC-RBKIT Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Reparaturset
REPARATURSET FÜR TORUS 3
Torus 3 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)
- TM03CC-RBKIT Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Reparaturset
REPARATURSET,TM04
Torus 4 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)
- TM04CC-RBKIT Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Reparaturset
REPARATURSET,TRS2
Torus 2 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)
- TRS2CC-RBKIT Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.
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