Repräsentative Abbildung

TORUS® Runde HV (Hochvakuum) Magnetron-Sputterquellen

KJLC bietet ein umfassendes Sortiment an runden TORUS^® Magnetron-Sputterquellen an, die für die meisten Forschungs- und Entwicklungsanwendungen geeignet sind. Traditionelles Targetdesign mit indirekter Kühlung, Klemmen und integriertem Anodenschutz. Optimal für geringe bis mittlere Leistung, F&E sowie kleinere Produktionsanwendungen. Die Größe der Sputterkathoden reicht von einem bis hin zu vier Zoll Durchmesser. Sie sind mit nahezu jedem Werkstoff kompatibel, haben eine hervorragende Targetausnutzung und können mittels RF-, DC- oder gepulsten Gleichstrom-Netzgeräten betrieben werden.

Für optimale Leistung entworfen:

Großer Druckbereich bis zu 10^-9 Torr
Geringe Ausgasung
Ausgezeichnete Homogenität bei dünnen Schichten und hervorragende Depositionsraten
Effiziente Sputter-Targetausnutzung
Dank des hervorragenden Target-Haltemechanismus sind keine Wärmeleitpasten, Wärmeleitkleber usw. erforderlich.
Kompakte, modulare Magnetkonfiguration
Magnete werden NICHT dem Vakuum ausgesetzt.
Magnete kommen NICHT mit Kühlwasser in Kontakt.
Kühlwasser kommt beim Targetwechsel nicht mit der Vakuumkammer in Kontakt.
Unbalanced operation and compatibility with magnetic materials is available (please contact us by clicking here for more information)
Umfangreiche Zubehörpalette verfügbar (Gaszufuhr, Abzug, Blenden, Clusteranordnungen usw.)
Kundenspezifische Konfigurationen möglich

TORUS® Abmessungen und verfügbare Optionen Alle runden TORUS® Sputterquellen für F&E umfassen standardmäßig N-Buchsen, indirekte Wasserkühlung und symmetrischen Magnetbetrieb. Unbalanced operation is available, please contact us by clicking here for more information.

Bemaßte Zeichnungen

Spezifikationstabelle

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Modell	Abbildung	Kopf Befest. Ausführung	Target- durchm.	Target- Dicke	Abm. A	Abm. B	Abm. C	Abm. D	Abm. E	Deposition abzug	Gas zufuhr ring	Magnetische Werkstoffe
TM1	Abb. 1	Axial	1,0" (25,4 mm)	0,063" – 0,125" (1,6 mm – 3,2 mm)	4,05" (103 mm)	4,28" (109 mm)	nicht verfügbar	9,56" (243 mm)	18,48" (469 mm)	Nein	Nein	Nein
TM1	Abb. 2	Rechter Winkel	1,0" (25,4 mm)	0,063" – 0,125" (1,6 mm – 3,2 mm)	4,05" (103 mm)	4,28" (109 mm)	nicht verfügbar	9,56" (243 mm)	20,76" (527 mm)	Nein	Nein	Nein
TM1	Abb. 3	Flex	1,0" (25,4 mm)	0,063" – 0,125" (1,6 mm – 3,2 mm)	5,55" (141 mm)	5,78" (147 mm)	nicht verfügbar	9,56" (243 mm)	nicht verfügbar	Nein	Nein	Nein
TM2	Abb. 1	Axial	2,0" (50,8 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	4,08" (104 mm)	4,38" (111 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	18,58" (472 mm)	Ja	Ja	Ja
TM2	Abb. 2	Rechter Winkel	2,0" (50,8 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	4,08" (104 mm)	4,38" (111 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	20,88" (530 mm)	Ja	Ja	Ja
TM2	Abb. 3	Flex	2,0" (50,8 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	5,58" (142 mm)	5,88" (149 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	nicht verfügbar	Ja	Ja	Ja
TM3	Abb. 1	Axial	3,0" (76 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	3,41" (87 mm)	3,79" (96 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	18,11" (460 mm)	Ja	Ja	Ja
TM3	Abb. 2	Rechter Winkel	3,0" (76 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	3,41" (87 mm)	3,79" (96 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	20,41" (518 mm)	Ja	Ja	Ja
TM3	Abb. 3	Flex	3,0" (76 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	4,91" (125 mm)	5,40" (137 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	nicht verfügbar	Ja	Ja	Ja
TM4	Abb. 1	Axial	4,0" (102 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	3,66" (93 mm)	4,05" (103 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	18,37" (466 mm)	Ja	Ja	Ja
TM4	Abb. 2	Rechter Winkel	4,0" (102 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	3,66" (93 mm)	4,05" (103 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	20,67" (525 mm)	Ja	Ja	Ja
TM4	Abb. 3	Flex	4,0" (102 mm)	0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm)	5,16" (131 mm)	5,55" (141 mm)	0,11" (2,8 mm)	9,56" (243 mm)	nicht verfügbar	Ja	Ja	Ja

X SCHLIESSEN

* NOTE: Dimensions involving flange-to-target thickness assume a standard target thickness of 1/8 inch. Abhängig von der Größe Ihres Sputtertargets ist ein entsprechender Wert hinzuzufügen oder abzuziehen.

Produktkonfiguration

Select from the configuration options below to create a part number and price for the particular TORUS^{Â^®} sputter source required. Ziehen Sie als Referenz für gültige Optionen für eine bestimmte Quellengröße die obige Tabelle hinzu.
Example Configuration: TM2RS10EGP is a 2in. OD right angle mount head on a 10in. long tube with a standard magnet array mounted to an 8in. CF flange with gas injection and pneumatic shaft-style shutter.

1. Target Diameter:
2. Befestigungsart:
3. Magnetkonfiguration:
4. Rohrlänge:
5. Flanschgröße:
6. Gas Injection/Deposition Chimney:
7. Shutter:

Contact us by clicking here or +1 800 245 1656 to discuss your specific vacuum application and process equipment needs.

Bestelltabelle

Please reference the ordering table below for Magnetron Sputtering Sources that we generally have in stock in one of our global warehouses.

Target Diameter (in)	Magnet Array	Befestigungsart	Length (in)	Gas Chimney	Shutter	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Zum Warenkorb hinzufügen
Target Diameter (in)	Magnet Array	Befestigungsart	Length (in)	Gas Chimney	Shutter	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Zum Warenkorb hinzufügen
1	Standard	Flexibler Kopf	10	Gaszufuhrring	Pneumatic Actuation Swig Style	TM1FS10XGS	Auf Anfrage
1	Standard	Double Angle	5,15 (Beyond Angle)	—	—	TMS1SSXXX005	$3.095,00
2	Hochfeste Magnete	Flex Head + 45° Angle	10	—	—	TMS2SMXXX001	$3.020,00

Hinweis:

If you require a flange or quick connect for mounting your magnetron to the chamber, we have several standard options. Please click links to see available options.
CF zu Schnellkupplung
KF (QF) zu Schnellkupplung
Durchführungskupplungen zum Anschluss an eine Grundplatte

Zubehörtabelle

X SCHLIESSEN

Zubehörtyp	Beschreibung	Reference	Hinweise	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Zubehörtyp	Beschreibung	Reference	Hinweise	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“	Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang	1	EJCBL3HN	$229,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“	Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang	1	EJCBL3NN	$144,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE	Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang	1	EJCBL3NP	$100,00
Verbindungskabel	KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“	Typ N Stecker zu UHF Stecker, RG213, 3ft lang	1	EJCBL3NU	Auf Anfrage
Netzteil	500WATT DC NETZGERÄT,0-500V,0-2A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE	500 Watt DC, 85-275V Eingang	-	PD500X1	$6.250,00
Netzteil	1 KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-3A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE	1000 Watt DC, 85-275V Eingang	-	PD500X2	$6.570,00
Netzteil	1,5KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-4A,HN AUS,100-240V EINGABE,CE,ETL	1500 Watt DC, 85-275V Eingang	-	PD500X3	$6.984,00
Netzteil	KJLC 300W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE	300 W RF, Typischerweise empfohlen für 2" und 3" Kathoden	-	RF03A22XX300	$9.895,00
Netzteil	KJLC 600W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE	600 W RF, Typischerweise empfohlen für 4" Kathoden	-	RF06A22XX300	$14.150,00
Reparaturset	REPARATURSET,TM01	Torus 1 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)	-	TM01CC-RBKIT	$356,00
Reparaturset	REPARATURSET FÜR TORUS 3	Torus 3 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)	-	TM03CC-RBKIT	$350,00
Reparaturset	REPARATURSET,TM04	Torus 4 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)	-	TM04CC-RBKIT	$380,00
Reparaturset	REPARATURSET,TRS2	Torus 2 Kathode (beinhaltet alle Schrauben, Unterlegscheiben, O-Ringe, und Wasserrohre)	-	TRS2CC-RBKIT	$325,00
TM1 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1/4",BELÜFTET,VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1/4",BELÜFTET,VERSILBERT	-	HCHU0440-025S4PV	$2,00
TM1 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 6-32 X 1/2",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 6-32 X 1/2",VERSILBERT	-	HCHU0632-050S4P0	$2,00
TM1 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS 6-32 X 1-1/4",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS 6-32 X 1-1/4",VERSILBERT	-	HCHU0632-125S4P0	$6,00
TM1 Spare Part	O-RING,FKM,1,051"ID X 0,070"B (ACT),1-1/16"ID X 1/16"B (NOM)	O-RING,FKM,1,051"ID X 0,070"B (ACT),1-1/16"ID X 1/16"B (NOM)	-	O-V023	$16,00
TM1 Spare Part	O-RING,FKM,1,114"ID X 0,070"B (ACT),1-1/8"ID X 1/16"B (NOM)	O-RING,FKM,1,114"ID X 0,070"B (ACT),1-1/8"ID X 1/16"B (NOM)	-	O-V024	$13,00
TM1 Spare Part	SCHRAUBE,PAN HEAD,SLOTTED,SS, 4-40 X 3/4",VERSILBERT	SCHRAUBE,PAN HEAD,SLOTTED,SS, 4-40 X 3/4",VERSILBERT	-	SPHU0440-075S4P0	$2,00
TM1 Spare Part	ROHR VERSCHRAUBUNG, STAINLESS STEEL SWAGELOK, MALE CONNECTOR, 1/8 IN. TUBE OD X 5/16-24	ROHR VERSCHRAUBUNG, STAINLESS STEEL SWAGELOK, MALE CONNECTOR, 1/8 IN. TUBE OD X 5/16-24	-	SS-200-1-2ST	$22,00
TM1 Spare Part	ZWINGE,PTFE,1/8",FOR 1/8" TUBE FITING	ZWINGE,PTFE,1/8",FOR 1/8" TUBE FITING	-	T-200-SETS	$10,00
TM1 Spare Part	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,PTFE,NUT 1/8"	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,PTFE,NUT 1/8"	-	T-202-1	$10,00
TM1 Spare Part	VERSCHRAUBUNG,ANSCHLUSS,REDUZIERSTÜCK,TEFLON, 1/4"TUBE X 1/8"TUBE	VERSCHRAUBUNG,ANSCHLUSS,REDUZIERSTÜCK,TEFLON, 1/4"TUBE X 1/8"TUBE	-	T-400-6-2	$40,00
TM1 Spare Part	CAP,SCREW INSULATOR,#6,TORLON 5533	CAP,SCREW INSULATOR,#6,TORLON 5533	-	TM00CC-00802	$20,00
TM1 Spare Part	TORLON SCREW ISOLATOR,TRS1	TORLON SCREW ISOLATOR,TRS1	-	TM00CC-00805	$29,00
TM1 Spare Part	COPPER COOLING WELL,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	COPPER COOLING WELL,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	-	TM01CC-00100	$150,00
TM1 Spare Part	DARK SPACE SHIELD, TM1	DARK SPACE SHIELD, TM1	-	TM01CC-00410	$410,00
TM1 Spare Part	TARGET HOLD DOWN RING,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	TARGET HOLD DOWN RING,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	-	TM01CC-00600	$180,00
TM1 Spare Part	CATHODE BODY WELDMENT,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	CATHODE BODY WELDMENT,TORUS 1, FOR STD TORUS 1	-	TM01CC-00710	$400,00
TM1 Spare Part	ISOLATION RING,TORUS 1,FOR STD TORUS 1	ISOLATION RING,TORUS 1,FOR STD TORUS 1	-	TM01CC-00800	$105,00
TM1 Spare Part	REPARATURSET,TM01	REPARATURSET, TM1	-	TM01CC-RBKIT	$356,00
TM1 Spare Part	MAGNET ASSEMBLY,STD,TORUS 1,HV	MAGNET ASSEMBLY,STD,TORUS 1,HV	-	TRS802-A1050	$425,00
TM1, TM2 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1/8",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1/8",VERSILBERT	-	HCHU0440-013S4P0	$2,00
TM1, TM2, TM3, TM4 Spare Part	SPUTTERING SOURCE TOOL KIT, 1”, 2”, 3” AND 4”, COMMON TOOLS FOR SERVICE OF HEAD ASSEMBLY, FLEX ASSEMBLY AND BAYONETT CONNECTOR	SPUTTERING SOURCE TOOL KIT, 1”, 2”, 3” AND 4”, COMMON TOOLS FOR SERVICE OF HEAD ASSEMBLY, FLEX ASSEMBLY AND BAYONETT CONNECTOR	-	TM00AC-00011	$20,00
TM1, TM2, TM3, TM4 Spare Part	BAUSATZ, LÖTGERÄT, WIRE ASSEMBLY,10 AWG HV	BAUSATZ, LÖTGERÄT, WIRE ASSEMBLY,10 AWG HV	-	TM00CC-00210	$54,00
TM2 SPARE PART	TRS2 MAGNET ASSEMBLY,HIGH STRENGTH	MAGNET ASSEMBLY, 2” HIGH STRENGTH	-	TRS2CC-HS300	$1.470,00
TM2 Spare Part	DOWEL, PIN, SST, .125 DIA X .31 LG	DOWEL, PIN, SST, .125 DIA X .31 LG	-	90145A878	$2,33
TM2 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 3/4",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 3/4",VERSILBERT	-	HCHU0440-075S4P0	$1,20
TM2 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1",VERSILBERT	-	HCHU0440-100S4P0	$1,30
TM2 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1-1/4",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 1-1/4",VERSILBERT	-	HCHU0440-125S4P0	$2,10
TM2 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 6-32 X 1-1/4",BELÜFTET,VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 6-32 X 1-1/4",BELÜFTET,VERSILBERT	-	HCHU0632-125S4PV	$7,05
TM2 Spare Part	UNTERLEGSCHEIBEN,FLACH,SS,SPL,SIZE 4, 0,209"AD,0,115"ID,.016"THICKNESS	UNTERLEGSCHEIBEN,FLACH,SS,SPL,SIZE 4, .209"OD,.115"ID,.016"THICKNESS	-	NAS620C-4	Auf Anfrage
TM2 Spare Part	O-RING,FKM,1,612"ID X 0,103"B (ACT),1-5/8"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,1,612"ID X 0,103"B (ACT),1-5/8"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V130	$21,15
TM2 Spare Part	O-RING,FKM,2,112"ID X 0,103"B (ACT),2-1/8"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,2,112"ID X 0,103"B (ACT),2-1/8"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V138	$16,10
TM2 Spare Part	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,ADAPTER,SS, 1/4" ROHR AUF 1/8"MNPT	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,ADAPTER,SS, 1/4" ROHR AUF 1/8"MNPT	-	SS-400-1-2	$16,15
TM2 Spare Part	TORLON SLEEVE,CAP SCREW, ELECTRICAL ISOLATION	TORLON SLEEVE,CAP SCREW, ELECTRICAL ISOLATION	-	TM00CC-00206	$30,00
TM2 Spare Part	H.S. COPPER COOLING WELL,HIGH STRENGTH MAGNET/MAG MATL'S	H.S. COPPER COOLING WELL,HIGH STRENGTH MAGNET/MAG MATLS	-	TRS2CC-00110	$250,00
TM2 Spare Part	TTRS2 STD STRENGTH MAGNET ASSY	TTRS2 STD STRENGTH MAGNET ASSY	-	TRS2CC-00300	$555,00
TM2 Spare Part	DARK SPACE SHIELD, TM2	DARK SPACE SHIELD, TM2	-	TRS2CC-00410	$297,00
TM2 Spare Part	REAR DARK SPACE SHIELD	REAR DARK SPACE SHIELD	-	TRS2CC-00415	Auf Anfrage
TM2 Spare Part	H.S. WATER INLET/OUTLET PLATE, HIGH STRENGTH MAGNET/MAG MATLS	H.S. WATER INLET/OUTLET PLATE, HIGH STRENGTH MAGNET/MAG MATLS	-	TRS2CC-00510	$150,00
TM2 Spare Part	TARGET HOLD DOWN RING	TARGET HOLD DOWN RING	-	TRS2CC-00600	$110,00
TM2 Spare Part	TARGET HOLD DOWN RING SPACER (TO USE 1/4"THICK TARGETS)	TARGET HOLD DOWN RING SPACER (TO USE 1/4"THICK TARGETS)	-	TRS2CC-00650	$30,47
TM2 Spare Part	CATHODE BODY WELDMENT	CATHODE BODY WELDMENT	-	TRS2CC-00710	$362,22
TM2 Spare Part	PTFE ISOLATION RING	PTFE ISOLATION RING	-	TRS2CC-00800	$195,00
TM2 Spare Part	REPARATURSET,TRS2	REPARATURSET, TM2	-	TRS2CC-RBKIT	$325,00
TM2 Spare Part	UNTERLEGSCHEIBEN,SS,.275"OD X .170"ID X .032" THICK	UNTERLEGSCHEIBEN,SS,.275"OD X .170"ID X .032" THICK	-	W8SPL	Auf Anfrage
TM2, TM3, TM4 Spare Part	VERSCHRAUBUNG,UNION CONNECTOR TUBE,SUPER SPEEDFIT,R,1/4"	VERSCHRAUBUNG,UNION CONNECTOR TUBE,SUPER SPEEDFIT,R,1/4"	-	58159	$6,00
TM2, TM3, TM4 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 8-32 X 1/4",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 8-32 X 1/4",VERSILBERT	-	HCHU0832-025S4P0	$3,05
TM2, TM3, TM4 Spare Part	ROHRE,PTFE,5/32"ID,1/4"AD, PRO FUSS	ROHRE,PTFE,5/32"ID,1/4"AD, PRO FUSS	-	TT025	$5,25
TM3 SPARE PART	MAGNET ASSY, HIGH STRENGTH TORUS 3	MAGNET ASSEMBLY, 3” HIGH STRENGTH	-	TM03CC-HS300	$540,00
TM3 Spare Part	O-RING,FKM,2,425"ID X 0,103"B (ACT),2-7/16"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,2,425"ID X 0,103"B (ACT),2-7/16"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V143	$15,00
TM3 Spare Part	O-RING,FKM,2,612"ID X 0,103"B (ACT),2-5/8"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,2,612"ID X 0,103"B (ACT),2-5/8"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V146	$20,00
TM3 Spare Part	SPACER,.312"OD X .156"ID X .050"THK, +/- .005", 304SST	SPACER,.312"OD X .156"ID X .050"THK, +/- .005", 304SST	-	TM00CC-00903	$2,00
TM3 Spare Part	3" COOLING WELL MACHINING	3" COOLING WELL MACHINING	-	TM03CC-00101	$2.050,00
TM3 Spare Part	MAGNET ASSEMBLY,3" STD	MAGNET ASSEMBLY,3" STD	-	TM03CC-00300	$520,00
TM3 Spare Part	STANDOFF,RUND,1/4"OD X 1-5/16 LG,6-32 GEWINDE,MF ,ALUMINIUM	STANDOFF,RUND,1/4"OD X 1-5/16 LG,6-32 GEWINDE,MF ,ALUMINIUM	-	TM03CC-00306	$5,00
TM3 Spare Part	DARK SPACE SHIELD, TM3	DARK SPACE SHIELD, TM3	-	TM03CC-00410	$210,00
TM3 Spare Part	DARK SPACE SHIELD LIP,3"	DARK SPACE SHIELD LIP,3"	-	TM03CC-00441	$265,00
TM3 Spare Part	CATHODE BODY ASSEMBLY	CATHODE BODY ASSEMBLY	-	TM03CC-00710	$410,00
TM3 Spare Part	INSULATOR,TRS3,TORLON 5530	INSULATOR,TRS3,TORLON 5530	-	TM03CC-00800	$400,00
TM3 Spare Part	REPARATURSET FÜR TORUS 3	REPARATURSET, TM3	-	TM03CC-RBKIT	$350,00
TM3 Spare Part	TARGET HOLD DOWN RING,TORUS 3UHV	TARGET HOLD DOWN RING,TORUS 3UHV	-	TM03UC-00600	$180,00
TM3 Spare Part	HOLD DOWN RING SPACER,TORUS 3UHV	HOLD DOWN RING SPACER,TORUS 3UHV	-	TM03UC-00650	$38,00
TM3, TM4 Spare Part	SCHRAUBE,PTFE FLAT HEAD SLOTTED MACHINE,6-32 X 1/2"LONG	SCHRAUBE,PTFE FLAT HEAD SLOTTED MACHINE,6-32 X 1/2"LONG	-	94701A148	$8,00
TM3, TM4 Spare Part	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 3/16",VERSILBERT	SCHRAUBE,BUCHSENKOPFKAPPE,SS, 4-40 X 3/16",VERSILBERT	-	HCHU0440-018S4P0	$3,25
TM3, TM4 Spare Part	SCHRAUBE, SLOTTED PAN HEAD,SS,4-40 X 1/2", VERSILBERT	SCHRAUBE, SLOTTED PAN HEAD,SS,4-40 X 1/2", VERSILBERT	-	SPHU0440-050S4P0	$3,25
TM3, TM4 Spare Part	ZWINGE,SS,1/4",FÜR 1/4" ROHRARMATUR	ZWINGE,SS,1/4",FÜR 1/4" ROHRARMATUR	-	SS-400-SETS	$5,10
TM3, TM4 Spare Part	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,SS,MUTTER,1/4"	VERSCHRAUBUNG,SWAGELOK,SS,MUTTER,1/4"	-	SS-402-1	$4,55
TM3, TM4 Spare Part	SCHRAUBE,NATURAL TECATOR,10-24 X 1.11"LG	SCHRAUBE,NATURAL TECATOR,10-24 X 1.11"LG	-	TM00CC-00902	$25,00
TM4 SPARE PART	MAGNET ASSEMBLY,4" HIGH STRENGTH	MAGNET ASSEMBLY, 4” HIGH STRENGTH	-	TM04CC-HS300	$750,00
TM4 Spare Part	O-RING,FKM,3,237"ID X 0,103"B (ACT),3-1/4"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,3,237"ID X 0,103"B (ACT),3-1/4"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V152	$22,00
TM4 Spare Part	O-RING,FKM,3,487"ID X 0,103"B (ACT),3-1/2"ID X 3/32"B (NOM)	O-RING,FKM,3,487"ID X 0,103"B (ACT),3-1/2"ID X 3/32"B (NOM)	-	O-V153	$25,00
TM4 Spare Part	COOLING WELL ASSEMBLY MACHINING	COOLING WELL ASSEMBLY MACHINING	-	TM04CC-00104	$2.250,00
TM4 Spare Part	MAGNET ASSEMBLY, 4" STANDARD	MAGNET ASSEMBLY, 4" STANDARD	-	TM04CC-00300	$565,00
TM4 Spare Part	STANDOFF, ALUMINIUM, RUND, ¼” OD X 1-7/8” LONG, 6-32 X ¼” LONG MALE & 3/8” DEEP FEMALE THREAD	STANDOFF, ALUMINIUM, RUND, ¼” OD X 1-7/8” LONG, 6-32 X ¼” LONG MALE & 3/8” DEEP FEMALE THREAD	-	TM04CC-00307	$5,00
TM4 Spare Part	DARK SPACE SHIELD, TM4	DARK SPACE SHIELD, TM4	-	TM04CC-00410	$420,00
TM4 Spare Part	DARK SPACE SHIELD LIP, 4"	DARK SPACE SHIELD LIP, 4"	-	TM04CC-00441	$445,00
TM4 Spare Part	TARGET HOLD DOWN RING. TORUS 4	TARGET HOLD DOWN RING. TORUS 4	-	TM04CC-00600	$275,00
TM4 Spare Part	HOLD DOWN RING SPACER,TORUS 4	HOLD DOWN RING SPACER,TORUS 4	-	TM04CC-00650	$42,00
TM4 Spare Part	CATHODE BODY ASSEMBLY	CATHODE BODY ASSEMBLY	-	TM04CC-00710	$675,00
TM4 Spare Part	INSULATOR,TRS4,TORLON 5530	INSULATOR,TRS4,TORLON 5530	-	TM04CC-00800	$750,00
TM4 Spare Part	REPARATURSET,TM04	REPARATURSET, TM4	-	TM04CC-RBKIT	$380,00

X SCHLIESSEN

Hinweise:

Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.

Teilenummer
Preis gemäß Konfiguration:	USD

TORUS® Runde HV (Hochvakuum) Magnetron-Sputterquellen

Für optimale Leistung entworfen:

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