TORUS® Mag Keeper™ UHV-kompatible runde Magnetron-Sputterquellen

Übersicht

Das Mag Keeper™ Design ist die neueste Ergänzung unserer TORUS^® Reihe der Sputtermagnetron-Lösungen. Er ist für die Targetgrößen 2", 3" und 4" verfügbar. Das Magnetron-Design verwendet sowohl monolithische als auch gebondete Targetkonfigurationen mit einer Dicke von bis zu 0,375".

Alle Targets (außer magnetischen Werkstoffen) verwenden einen angeschraubten magnetischen „Keeper“, um das Target am Magnetron zu befestigen, wodurch keine Targetklammer erforderlich ist. Alle gebondeten Targets erfordern ein „Elastomer“-Bonding.

Das Magnetron verwendet keinen unabhängigen Anodenschutz, der entfernt werden muss. Stattdessen gibt es nur eine Anodenwand, die sich unter der Targetoberfläche befindet und so verhindert, dass sich auf der Targetoberfläche Material festsetzt und abblättert.

Our patented cooling well is the heart of the design, which enables operation at power densities ≥200 watts/.in².

Die Baugruppe weist KEINE Dichtungsringe auf und verfügt über eine einzelne Metalldichtung. Dadurch ist sie nicht nur UHV-kompatibel (Ultrahochvakuum), sondern kann auch mit größerer Wärmeeinwirkung belastet werden als unser standardmäßiges TORUS^®-Design. Durch ihre geringere Gesamtgrundfläche können auch mehr Quellen in unseren Standardkammermodellen verbaut werden.

Die Baugruppe wird sowohl mit den Magnetoptionen Standard als auch Hochfest angeboten, die beide auf das gleiche Kathodendesign zugeschnitten sind. Dadurch ist die magnetische Optimierung der Quellen im Feld einfach und, falls benötigt, kann auch ein unbalanciertes Feld integriert werden.

Merkmale

• Kompaktes Design
• HV- und UHV-kompatibel (Hochvakuum und Ultrahochvakuum)
• Schneller Targetwechsel (keine Befestigung oder Abschirmung)
• Kann Targets von bis zu 0,375" Dicke sputtern
• Das High Mag Design kann Eisen von bis zu 0,125" Dicke sputtern
• Niedriger Betriebsdruck – kann bei ≤ 1 mTorr betrieben werden
• Keine Dichtungsringe
• Hochleistungs- / Hochgeschwindigkeitsvermögen

Bemaßte Zeichnungen

 

Diagramme

 

Spezifikationen

Targets

Die Kurt J. Lesker Company^® bietet eine umfangreiche Palette hochreiner Materialien.

• Metalle: Typischerweise gebohrt und mit Gewinde versehen, wobei der Halter direkt am Ziel befestigt ist.
  • Wolfram- und Tantal-Targets erfordern eine elastomere Bindung an die Trägerplatten, da sie aufgrund ihrer harten, aber spröden Beschaffenheit nicht zuverlässig gebohrt und mit einem Gewinde versehen werden können.
• Magnetische Werkstoffe: Direkte Installation ohne Halter.
• Keramik, Legierungen (je nach Legierung), zerbrechliche Materialien usw.: Erforderlich ist die Verklebung mit Trägerplatten mittels Halterungen.
  • Dies ist materialspezifisch und KJLC empfiehlt Ihnen gerne eine Lösung, wenn etwas unklar ist.
  • Überprüfen Sie die Leistungsanforderungen auf unseren Webseiten in Bezug auf die zulässige Höchstleistung für verschiedene Materialien. Alles, was geklebt wird, liegt bei 20 Watt pro Quadratzoll oder weniger, abhängig vom Material.
  • Gebundene Baugruppen müssen elastomergebunden sein, da sie auf 250 °C ausgelegt sind, während Indium nur auf 150 °C ausgelegt ist.

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