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Representative Image

TORUS® Mag Keeper™ UHV-kompatible runde Magnetron-Sputterquellen

Anwendungen:

  • F&E
  • Optik
  • Dekoration
  • Medizin
  • Sensoren

Mag Keeper von KJLC ermöglicht dank einer mechanisch unterstützten Kühlung höhere Betriebsleistungen. Er ist ideal bei hohen Durchsatzanforderungen und ermöglicht durch sein magnetisches Befestigungssystem, mit dem das Target in der Quelle gehalten wird, einen schnellen Targetwechsel. Das Design umfasst keine O-Ringe und verwendet Keramikisolierungen. Dadurch kann es sowohl unter UHV als auch bei hohen Temperaturen eingesetzt werden.

KJLC® Research
Vorteilspackungen
Das KJLC RAP-Programm bietet die Möglichkeit zur Zusammenstellung eines Magnetrons und eines Netzgerätes, passend für Ihre spezielle Anwendung. Klicken Sie hier, um Ihr eigenes Paket zusammenzustellen und bis zu 30 % zu sparen.
Produkt-Downloads
Zum Herunterladen des Datenblatts zu diesem Produkt klicken Sie bitte hier.
Produktvideo
Klicken Sie auf den Link, um ein Beispielvideo eines Targetwechsels des TORUS MAG KEEPER anzusehen.
Services für Magnetron-Sputterkathoden
Um zu erfahren, welche Services wir Ihnen rund um TORUS® Sputterquellen anbieten, klicken Sie bitte hier.
Anleitung zur Optimierung der Magnetronleistung
Klicken Sie hier, um mehr über Sputterraten und -homogenität herauszufinden.
Kontakt
Um direkt mit jemandem zu sprechen, rufen Sie bitte +1 412 387 9200 oder senden Sie eine E-Mail an international@lesker.com.


Produktkonfiguration

Wählen Sie die Serie, Flanschgröße, den Axialhub, die Antriebsoption und den Endeffektor. Als nächstes erstellen Sie den Bestellcode wie untenstehend dargestellt.

1. Serie:
2. Größe:
3. Magnetkonfiguration:
4. Befestigung:
5. Rohrlänge:
6. Gas/Abzug:
7. Shutter:
8. Flanschbezeichnung:
 

Hinweis:

Zubehörtabelle

Zubehörtyp Beschreibung Hinweise Artikelnr. Preis Auf Lager Artikel
Posten
Zubehörtyp Beschreibung Hinweise Artikelnr. Preis Auf Lager Artikel
Posten
Verbindungskabel
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3HN Auf Anfrage Auf Lager
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NN Auf Anfrage Auf Lager
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NP Auf Anfrage Call for Availability
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu UHF Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NU Auf Anfrage Call for Availability
Netzteil
1 kW DC, Typischerweise empfohlen für 1", 2", Und 3" Kathoden
- DC01BP-2U $5.950,00 Call for Availability
Netzteil
2 kW DC , Typischerweise empfohlen für 3" und 4" Kathoden
- DC02BP-2U $6.600,00 Call for Availability
Netzteil
500 Watt DC, 85-275 V Eingang
- PD500X1 Auf Anfrage Call for Availability
Netzteil
1000 Watt DC, 85-275 V Eingang
- PD500X2 Auf Anfrage Call for Availability
Netzteil
1500 Watt DC, 85-275 V Eingang
- PD500X3 Auf Anfrage Auf Lager
Netzteil
300 W RF, Typischerweise empfohlen für 2" und 3" Kathoden
- RF03A22XX300 $9.335,00 Call for Availability
Netzteil
600 W RF, Typischerweise empfohlen für 4" Kathoden
- RF06A22XX300 $12.985,00 Call for Availability
Entnahmewerkzeug
TMK 2", 3" und 4" HS und STD Magnet-Entfernungswerkzeug
- TMK00CC-MAGRT Auf Anfrage Auf Lager

 Hinweise: 
1.
Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.
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