TORUS® runde UHV (Ultrahochvakuum) Magnetron-Sputterquellen
Wir bieten eine umfangreiche Reihe runder TORUS® Magnetron-Sputterquellen mit Durchmessern von 2" und 3" an, die für Ultrahochvakuumanwendungen im Bereich F&E geeignet sind. Traditionelles, flanschmontiertes, geschweißtes UHV-Design (Ultrahochvakuum) mit atmosphärenseitig abnehmbaren Magneten während des Ausheizens. Diese Sputterquellen sind „echte UHV“-Kathoden, die aufgrund ihrer vollverschweißten Konstruktion und der Ausheiztemperatur von 350°C Basisdrücke unter 10-10 Torr erreichen können. Ihre einzigartige hochfeste Magnetkonfiguration mit seltenen Erden kann ohne Brechen des Vakuums angepasst werden, wodurch der Anwender das Sputterprofil optimieren kann. Außerdem sind diese Sputterquellen mit einem integrierten Anschluss für die Gaszufuhr erhältlich, damit das Prozessgas direkt am Target zugeführt werden kann.
Eigenschaften der TORUS UHV-Quellen
- Vielseitig im Betrieb mit RF (Hochfrequenz), DC (Gleichspannung) und gepulster Gleichspannung
- Vollverschweißtes, echtes UHV-Design (keine Elastomerdichtungen)
- Exzellente Schichthomogenität (± 3 %) und Targetausnutzung (bis zu 30 %)
- Integrierter Anschluss für die Gaszufuhr, zum Einleiten des Prozessgas auf die Targetoberfläche
- Optionale Depositionskamine und Klappblenden reduzieren die Kontamination während Co-Deposition
- Hochfeste Magnetkonfigurationen mit seltenen Erden für magnetische und nichtmagnetische Sputterwerkstoffe erhältlich für UHV-Quellen mit 3"
- Die Magnetkonfiguration ist vom Kühlwasser isoliert und kann ohne Brechen des Vakuums entfernt werden
- Standard—Type-N (male) power connectors, indirect water cooling, and balanced magnetic operation
- Unbalanced operation is available (please contact us by clicking here for more information)
- Kathode ausheizbar bis 350 °C (mit entferntem Magnet Array)
Bemaßte Zeichnungen
TORUS Abmessungen
Alle runden TORUS F&E-Sputterquellen verfügen über Stromanschlüsse Typ-N, indirekte Wasserkühlung und standardmäßig einen balancierten Magnetbetrieb. Unsymmetrischer Betrieb ist verfügbar. Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, um mehr zu erfahren.
Spezifikationstabelle
| Modell | TM2U | TM2U | TM3U | TM3U |
|---|---|---|---|---|
| Targetdurchmesser | 2,0" (50,8 mm) | 2,0" (50,8 mm) | 3,0" (76 mm) | 3,0" (76 mm) |
| Targetdicke | 0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm) | 0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm) | 0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm) | 0,080" – 0,25" (2 mm – 6,3 mm) |
| Abm. A | 4" (102 mm) | 9,25" (235 mm) | 4" (102 mm) | 9,25" (235 mm) |
| Abm. B | 5,24" (133 mm) | 10,49" (266 mm) | 5,24" (133 mm) | 10,49" (266 mm) |
| Abm. E | 12,07" (307 mm) | 17,32" (440 mm) | 12,07" (307 mm) | 17,32" (440 mm) |
| Montageflansch | 6" CF (ConFlat®) | 6" CF (ConFlat®) | 6" CF (ConFlat®) | 6" CF (ConFlat®) |
HINWEIS: * Bei Abmessungen, die eine Flansch-zu-Target-Dicke umfassen, wird von einer standardmäßigen Targetdicke von 1/8 Zoll ausgegangen. Abhängig von der Größe Ihres Sputtertargets ist ein entsprechender Wert hinzuzufügen oder abzuziehen.
Produktkonfiguration
Zur Erstellung von Teilenummer und Preis für die spezifische benötigte TORUS Sputterquelle wählen Sie aus den untenstehenden Konfigurationsoptionen. Example Configuration: TM3US064GF is a 3" OD source mounted on a 4" body (measured from flange to target surface) with a standard magnet array mounted to a 6" CF flange with gas injection and pneumatic flip-style shutter. Optionen der gewählten Beispielkonfiguration sind unten in rot dargestellt.
Bestelltabelle
Please reference the ordering table below for Magnetron Sputtering Sources that we generally have in stock in one of our global warehouses.
| Target Diameter (in) | Magnet Array | Befestigungsart | Length (in) | Gas Chimney | Flanschgröße | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Target Diameter (in) | Magnet Array | Befestigungsart | Length (in) | Gas Chimney | Flanschgröße | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | |
| 3 | Standard | UHV / DN100CF (6,00" OD) | 4 (Insertion) | Gaszufuhr mit Kamin | DN100CF (6,00 " AD) |
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Zubehörtabelle
| Zubehörtyp | Beschreibung | Reference | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Zubehörtyp | Beschreibung | Reference | Hinweise | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
| 1 | EJCBL3HN | $229,00 |
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| 1 | EJCBL3NN | $144,00 |
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| 1 | EJCBL3NP | $100,00 |
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| 1 | EJCBL3NU | Auf Anfrage |
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| - | RF03A22XX300 | $9.895,00 |
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