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TORUS® runde UHV (Ultrahochvakuum) Magnetron-Sputterquellen

Wir bieten eine umfangreiche Reihe runder TORUS® Magnetron-Sputterquellen mit Durchmessern von 2" und 3" an, die für Ultrahochvakuumanwendungen im Bereich F&E geeignet sind. Traditionelles, flanschmontiertes, geschweißtes UHV-Design (Ultrahochvakuum) mit atmosphärenseitig abnehmbaren Magneten während des Ausheizens. Diese Sputterquellen sind „echte UHV“-Kathoden, die aufgrund ihrer vollverschweißten Konstruktion und der Ausheiztemperatur von 350°C Basisdrücke unter 10-10 Torr erreichen können. Ihre einzigartige hochfeste Magnetkonfiguration mit seltenen Erden kann ohne Brechen des Vakuums angepasst werden, wodurch der Anwender das Sputterprofil optimieren kann. Außerdem sind diese Sputterquellen mit einem integrierten Anschluss für die Gaszufuhr erhältlich, damit das Prozessgas direkt am Target zugeführt werden kann.

Eigenschaften der TORUS UHV-Quellen

  • Vielseitig im Betrieb mit RF (Hochfrequenz), DC (Gleichspannung) und gepulster Gleichspannung
  • Vollverschweißtes, echtes UHV-Design (keine Elastomerdichtungen)
  • Exzellente Schichthomogenität (± 3 %) und Targetausnutzung (bis zu 30 %)
  • Integrierter Anschluss für die Gaszufuhr, zum Einleiten des Prozessgas auf die Targetoberfläche
  • Optionale Depositionskamine und Klappblenden reduzieren die Kontamination während Co-Deposition
  • Hochfeste Magnetkonfigurationen mit seltenen Erden für magnetische und nichtmagnetische Sputterwerkstoffe erhältlich für UHV-Quellen mit 3"
  • Die Magnetkonfiguration ist vom Kühlwasser isoliert und kann ohne Brechen des Vakuums entfernt werden
  • Standard—Type-N (male) power connectors, indirect water cooling, and balanced magnetic operation
  • Unbalanced operation is available (please contact us by clicking here for more information)
  • Kathode ausheizbar bis 350 °C (mit entferntem Magnet Array)

Bemaßte Zeichnungen


TORUS Abmessungen

Alle runden TORUS F&E-Sputterquellen verfügen über Stromanschlüsse Typ-N, indirekte Wasserkühlung und standardmäßig einen balancierten Magnetbetrieb. Unsymmetrischer Betrieb ist verfügbar. Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, um mehr zu erfahren.

Spezifikationstabelle

ModellTM2UTM2UTM3UTM3U
Targetdurchmesser2,0"
(50,8 mm)
2,0"
(50,8 mm)
3,0"
(76 mm)
3,0"
(76 mm)
Targetdicke0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
0,080" – 0,25"
(2 mm – 6,3 mm)
Abm. A4"
(102 mm)
9,25"
(235 mm)
4"
(102 mm)
9,25"
(235 mm)
Abm. B5,24"
(133 mm)
10,49"
(266 mm)
5,24"
(133 mm)
10,49"
(266 mm)
Abm. E12,07"
(307 mm)
17,32"
(440 mm)
12,07"
(307 mm)
17,32"
(440 mm)
Montageflansch6" CF (ConFlat®)6" CF (ConFlat®)6" CF (ConFlat®)6" CF (ConFlat®)
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HINWEIS: * Bei Abmessungen, die eine Flansch-zu-Target-Dicke umfassen, wird von einer standardmäßigen Targetdicke von 1/8 Zoll ausgegangen. Abhängig von der Größe Ihres Sputtertargets ist ein entsprechender Wert hinzuzufügen oder abzuziehen.

Produktkonfiguration

Zur Erstellung von Teilenummer und Preis für die spezifische benötigte TORUS Sputterquelle wählen Sie aus den untenstehenden Konfigurationsoptionen.
Beispielkonfiguration: TM3US064GF ist eine 3-Zoll-Quelle mit einer Aufbaulänge von 4 " (gemessen vom Flansch bis zur Targetoberfläche). Sie verfügt über eine Standard-Magnetkonfiguration und ist auf einem 6 " CF-Flansch mit Gaszufuhr und pneumatischer Klappblende montiert. Optionen der gewählten Beispielkonfiguration sind unten in rot dargestellt.

1. Targetdurchmesser (Targetdicke):
2. Magnetkonfiguration:
3. Einführlänge:
4. Flanschgröße:
5. Gaszufuhr/Depositionsabzug:
6. Shutter:
Teilenummer   

Contact us by clicking here to discuss your specific vacuum application and process equipment needs.


Magnetron-Leistungsfähigkeit
Optimierungsanleitung
Klicken Sie hier, um mehr über Sputterraten und -homogenität herauszufinden.
Kontakt
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Zubehörtabelle

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Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Zubehörtyp Beschreibung Reference Hinweise Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3HN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NN Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE
Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang
1 EJCBL3NP Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Verbindungskabel
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“
Typ N Stecker bis UHF Stecker, RgG213, 3ft lang
1 EJCBL3NU Auf Anfrage Contact KJLC for Availability
Netzteil
KJLC 300W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE
300 W RF, Typischerweise empfohlen für 2" und 3" Kathoden
- RF03A22XX300 $9.895,00 Contact KJLC for Availability
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 Hinweise: 
1.
Andere Kabellängen sind verfügbar. Ersetzten Sie dazu das '3' lange Kabel durch die gewünschte Länge.
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