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TORUS® 10 CA leistungsstarke Magnetronkathoden für Produktionsanwendungen

Die TORUS® 10 Produktions-Sputterkathoden mit CA (zentrierter Anode) von KJLC® wurden speziell für Anwendungen entwickelt, die Masken verwenden, mit direkter Montage an der Sputterquelle (z. B. CD- und DVD-Metallisierung)

Die CD-Industrie hat schon lange die Vorteile unseres einzigartigen Designs erkannt. Es zeichnet sich aus durch folgende Merkmale:

  • Sputterquelle für die Großserienproduktion
  • 6,37" Targetdurchmesser mit einem zentrierten Anodendesign
  • Rundes, zentriertes Anodendesign 6"
  • Design mit doppelter Laufspur
  • Hohe Ausnutzung des Targetwerkstoffs
  • Hochleistungsversionen verfügbar
  • Isolierte Magnetbaugruppen
  • Eine Vielzahl von Montagekonfigurationen
  • Betrieb unter RF (Hochfrequenz), DC (Gleichspannung) oder gepulster Gleichspannung

Spezifikationstabelle

Targetdurchmesser6–3/6"
Targetdicke5/8"
HF (Hochfrequenz), DC, gepulste DCJa
Leistungsdichte>500 W/in2
Direkt gekühltes TargetNein
Indirekt gekühltes TargetJa
MagnetkühlungIndirekt
Axialer Aufbau
(Stange mit 1,5" Außendurchmesser)
Nein
FlanschaufbauJa

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