Repräsentative Abbildung
TORUS® 10 CA leistungsstarke Magnetronkathoden für Produktionsanwendungen
Die TORUS® 10 Produktions-Sputterkathoden mit CA (zentrierter Anode) von KJLC® wurden speziell für Anwendungen entwickelt, die Masken verwenden, mit direkter Montage an der Sputterquelle (z. B. CD- und DVD-Metallisierung)
Die CD-Industrie hat schon lange die Vorteile unseres einzigartigen Designs erkannt. Es zeichnet sich aus durch folgende Merkmale:
- Sputterquelle für die Großserienproduktion
- 6,37" Targetdurchmesser mit einem zentrierten Anodendesign
- Rundes, zentriertes Anodendesign 6"
- Design mit doppelter Laufspur
- Hohe Ausnutzung des Targetwerkstoffs
- Hochleistungsversionen verfügbar
- Isolierte Magnetbaugruppen
- Eine Vielzahl von Montagekonfigurationen
- Betrieb unter RF (Hochfrequenz), DC (Gleichspannung) oder gepulster Gleichspannung
Spezifikationstabelle
| Targetdurchmesser | 6–3/6" |
| Targetdicke | 5/8" |
| HF (Hochfrequenz), DC, gepulste DC | Ja |
| Leistungsdichte | >500 W/in2 |
| Direkt gekühltes Target | Nein |
| Indirekt gekühltes Target | Ja |
| Magnetkühlung | Indirekt |
| Axialer Aufbau (Stange mit 1,5" Außendurchmesser) | Nein |
| Flanschaufbau | Ja |
Bemaßte Zeichnungen
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