Aluminiumoxid beschichtete Verdampferquellen

Übersicht

Aluminiumoxid beschichtete Verdampferquellen wurden entwickelt, um Aluminiumoxidtiegel für bestimmte Anwendungen zu ersetzen. Die Vorteile dieser Art von Verdampferquelle bestehen in einer guten Wärmeleitung und der Inertheit von Aluminiumoxid mit den meisten Metallen. Außerdem benetzt das Verdampfungsmittel das Aluminiumoxid nicht, was zu keiner beständigen Veränderung des Schiffchens führt, wenn das Verdampfungsmaterial schmilzt. Aufgrund der nichtbenetzenden Eigenschaften von Aluminiumoxid bildet das Verdampfungsmaterial beim Schmelzen eine Kugel, was zu einer Punktquelle führt. Diese Art von Verdampferquelle ergibt eine lange Lebensdauer im Vergleich zu den nicht geschützten Quellen. Aufgrund des Unterschieds in der Wärmeleitung, benötigen beschichtete Quellen dreißig bis fünfzig Prozent mehr Leistung, um eine Verdampfung zu bewirken. Das Aluminiumoxid liegt in Halbleiterqualität vor und wird durch eine Plasmasprühtechnik auf das Schiffchen oder den Korb aufgebracht. Temperaturen von 1850 °C sollten vermieden werden. Während der Verdampfung sollte die Leistung etwas reduziert werden, um eine Überhitzung zu vermeiden.