Wiederbeladbare geschirmte Boxheizer

Übersicht

Ausgezeichnete thermische Quellen für die Deposition einer dünnen Schicht aus Siliciummonoxid.

Wie sie funktionieren

• Die Box wird vor der Verwendung mit SiO beladen (das in dieser Box angegebene Gewicht darf nicht überschritten werden).
• Der Hauptanteil des SiO wird in (einem) Bereich(en) gehalten, welche(r) indirekt mit dem Kaminauslass verbunden ist (sind).
• Wenn die Box erhitzt wird, wird der SiO-Dampf gezwungen, durch eine Reihe von Dampfsperren zu fließen, bevor er am Kamin austritt.
• Da zwischen dem Werkstoff und der Substratoberfläche keine Sichtlinie besteht, werden die nachteiligen Auswirkungen des Ausspuckens oder Strömens auf die Depositionsschicht eliminiert.

Zusätzliche Information

• Verfügbar als nicht wiederbeladbar und wiederbeladbare Ausführungen - Bezeichnung enthält den Ort der anfänglichen Beladung oder Wiederbeladung.
• Eine wiederbeladbare Box kann durch eine oder zwei Blenden befüllt werden, während sie noch an ihren elektrischen Durchführungen in der Vakuumkammer montiert ist.
• Eine nicht wiederbeladbare Box muss vor dem Beladen oder Nachladen aus ihren elektrischen Durchführungen ausgebaut und demontiert werden.
• Beide Stile bieten eine hohe Langlebigkeit und können viele Male aufgeladen werden.
• Entworfen mit zwei unterschiedlichen Dampfstrahlrichtungen: Aufwärts "vertikal" oder abwärts "invertiert" (durch Drehen einer Quelle auf die Seite kann eine "horizontale" Auslassrichtung erreicht werden).