Wiederbeladbare geschirmte Boxheizer
Übersicht
Ausgezeichnete thermische Quellen für die Deposition einer dünnen Schicht aus Siliciummonoxid.
Wie sie funktionieren
- Die Box wird vor der Verwendung mit SiO beladen (das in dieser Box angegebene Gewicht darf nicht überschritten werden).
- Der Hauptanteil des SiO wird in (einem) Bereich(en) gehalten, welche(r) indirekt mit dem Kaminauslass verbunden ist (sind).
- Wenn die Box erhitzt wird, wird der SiO-Dampf gezwungen, durch eine Reihe von Dampfsperren zu fließen, bevor er am Kamin austritt.
- Da zwischen dem Werkstoff und der Substratoberfläche keine Sichtlinie besteht, werden die nachteiligen Auswirkungen des Ausspuckens oder Strömens auf die Depositionsschicht eliminiert.
Zusätzliche Information
- Verfügbar als nicht wiederbeladbar und wiederbeladbare Ausführungen - Bezeichnung enthält den Ort der anfänglichen Beladung oder Wiederbeladung.
- Eine wiederbeladbare Box kann durch eine oder zwei Blenden befüllt werden, während sie noch an ihren elektrischen Durchführungen in der Vakuumkammer montiert ist.
- Eine nicht wiederbeladbare Box muss vor dem Beladen oder Nachladen aus ihren elektrischen Durchführungen ausgebaut und demontiert werden.
- Beide Stile bieten eine hohe Langlebigkeit und können viele Male aufgeladen werden.
- Entworfen mit zwei unterschiedlichen Dampfstrahlrichtungen: Aufwärts "vertikal" oder abwärts "invertiert" (durch Drehen einer Quelle auf die Seite kann eine "horizontale" Auslassrichtung erreicht werden).