FABMATE® Crucibles for E-Beam Sources

Übersicht

FABMATE^® Werkstoff = 99,9995% elementarer Kohlenstoff.

• FABMAT zeigt eine Erosionsrate von 0% nach (15) einstündigen Einweichzyklen in 10% Flusssäure und eine Erosionsrate von 0% nach (20) einstündigen Einweichzyklen in einer 70%igen Kombination aus Salpetersäure und Flusssäure.
• Alternative zu anfälligen Werkstoffen wie Quarz
• Ein hochfester Graphit, der gereinigt, bearbeitet und einer patentierten Kohlenstoffmodifizierungsbehandlung von Poco Graphite, Inc. unterzogen wurde.
• Besteht aus amorphem Kohlenstoff in den ersten Porenschichten und eine abriebfeste, nahezu partikelfreie Oberfläche.
• Säurebeständig und außergewöhnlich langlebig.
• Bleibt thermisch stabil (bis zu 2500 ºC in inerten Atmosphären).

Werkstoffe, die für FABMATE geeignet sind:

• Werkstoffe, die mit FABMATE-Tiegeln eine optimale Leistung zeigen, sind Ag, As, Au, Ga, GeO2, Ni-Cr Legierungen, Pb, Se, Sn, Te, and TiO.
• Werkstoffe, für die der FABMATE-Tiegel eine verlängerte Lebensdauer aufweist: Al
• Werkstoffe, die FABMATE benötigen, aber nur für einen einzigen Durchlauf geeignet sind: Fe, Ni, und Si.
• FABMATE funktioniert auch gut mit allen unter Graphittiegeln aufgeführten Materialien.

HINWEIS: Wir bieten FABMATE in den gleichen Modellen bzw. Abmessungen wie die standardmäßigen Graphittiegel an.

Häufige Ursachen für ein Brechen des Tiegels

1. Die Ramp-/Haltestufen sind für dieses Material nicht ausgelegt bzw. sind falsch. Ein Rezept für die Elektronenstrahlverdampfung besteht in der Regel aus zwei Leistungsstufen für das Rampen/Halten (ramp/soak). Dies ermöglicht eine allmähliche Erwärmung des Materials bis zu einem Punkt, an dem die Deposition beginnen kann. Zu Beginn der Deposition erfolgt eine Übertragung der Leistungsregelung von ramp/soak auf eine PID-Regelung zwischen dem Elektronenkanonennetzteil und dem Quarzkristallregler. Wenn der Leistungspegel ramp2/soak2 nicht in der Nähe des Leistungspegels liegt, um die angegebene Depositionsrate (z. B. 1 Angstrom/sec) zu erreichen, bedeutet dies, dass der PID-Regler sehr hart arbeiten muss oder sehr stark suchen muss, um die Rate zu erhalten. Da der PID-Regler die Leistung steuert, kann die Leistung für eine Weile stark schwanken (+90 % bis 0 %), bevor der PID-Regler schließlich die Leistung auf dem richtigen Niveau erhält, um die 1 Angstrom/sec-Rate zu regeln. Wilde Stromschwankungen werden schnell aufgelöst und kondensieren das Material mehrmals, noch bevor die Deposition beginnt. Dies wird jeden Tiegel zerbrechen. Es ist am besten, den ramp2/soak 2 Leistungspegel sehr nahe an die Leistung heranzuführen, die benötigt wird, um die gewünschte Rate zu erreichen. Auf diese Weise muss der PID-Regler, wenn er die Kontrolle übernimmt, die Leistung nicht so stark anpassen, um die Rate zu erreichen - lediglich eine leichte Anpassung. Dadurch wird verhindert, dass dieser schnelle Verflüssigungs-/Kondensationsprozess stattfindet. Daher können falsche Rampenniveaus definitiv zu Tiegelrissen führen.

2. Der zweite Grund ist viel einfacher. Der Anwender schaltet die Stromversorgung ab oder erlaubt nur eine sehr kurze Nachlaufzeit für die Stromversorgung nach der Deposition. Dies führt zu einer schnellen Verfestigung der Schmelze, die den Tiegeleinsatz belastet.