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Alumina Coated Micro-Electronic Sources

Übersicht

Aluminiumoxid beschichtete Verdampferquellen wurden entwickelt, um Aluminiumoxidtiegel für bestimmte Anwendungen zu ersetzen. Die Vorteile dieser Art von Verdampferquelle bestehen in einer guten Wärmeleitung und der Inertheit von Aluminiumoxid mit den meisten Metallen. Außerdem benetzt das Verdampfungsmittel das Aluminiumoxid nicht, was zu keiner beständigen Veränderung des Schiffchens führt, wenn das Verdampfungsmaterial schmilzt. Aufgrund der nichtbenetzenden Eigenschaften von Aluminiumoxid bildet das Verdampfungsmaterial beim Schmelzen eine Kugel, was zu einer Punktquelle führt. Diese Art von Verdampferquelle ergibt eine lange Lebensdauer im Vergleich zu den nicht geschützten Quellen. Aufgrund des Unterschieds in der Wärmeleitung, benötigen beschichtete Quellen dreißig bis fünfzig Prozent mehr Leistung, um eine Verdampfung zu bewirken. Das Aluminiumoxid liegt in Halbleiterqualität vor und wird durch eine Plasmasprühtechnik auf das Schiffchen oder den Korb aufgebracht. Temperaturen von 1850 °C sollten vermieden werden. Während der Verdampfung sollte die Leistung etwas reduziert werden, um eine Überhitzung zu vermeiden.

Werkstoffdepositionstabelle
The Material Deposition Chart is useful to determine the optimum vacuum deposition technique, thermal source, and power supply requirements.
FAQ zu Verdampferquellen
Click here for answers to some of the most common questions we are asked.
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Narrowed Trough


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Molybdän 5 0,86 151 130 1200 °C Nein EVSME3AOMO $59,00 Auf Lager

Mulde


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Molybdän 5 0,83 116 96 1200 °C Nein EVSME4AOMO $49,00 Auf Lager

Inverted Top-Hat Dimple


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Molybdän 5 0,84 106 89 1200 °C Nein EVSME6BAOMO $50,00 Auf Lager

Invertierter Zylinderhuttrog


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Molybdän 5 0,80 83 66 1200 °C Nein EVSME9AOMO $60,00 Contact KJLC for Availability


Heaters Covers


Abdeckung für Heizelement (EVSME22BAO)


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1 Nein EVSME22AAO $44,00 Contact KJLC for Availability

Box Heater


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Alumina-Coated Tantalum 1 Nein EVSME22BAO $57,00 Contact KJLC for Availability

Abdeckung für Heizelement (EVSSB3AOTA)


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1 Nein EVSSB3AAOTA Auf Anfrage Contact KJLC for Availability

Box Heater


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Alumina-Coated Tantalum 1 Nein EVSSB3AOTA $117,00 Contact KJLC for Availability

Abdeckung für Heizelement (EVSSB5AO)


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1 Nein EVSSB5AAOTA $56,00 Contact KJLC for Availability

Box Heater


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Alumina-Coated Tantalum 1 Nein EVSSB5AO $141,00 Contact KJLC for Availability
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