Sichtfenster (manchmal auch Schaugläser genannt) werden zu Folgendem verwendet:
- Um dem Bediener die Betrachtung eines Prozesses zu ermöglichen (z.B. Überprüfung der Plasmainitiierung bei der Sputterdeposition).
- Um chemische oder physikalische Vorgänge mit bestimmten Wellenlängen zu initiieren (z.B. Pulslaserdeposition).
- Um Messung der in einem Prozess auftretenden Emissionen durchzuführen (z.B. optische Emissionsspektrometrie).
- Um die Auswirkungen bestimmter Wellenlängen zu überwachen (z.B. Ellipsometrie).
Optische Scheiben für die erste Anwendung sind handelsübliche, vollgeglühte Alkaliborosilikatgläser wie 7056 oder Kodial. For other applications, special optically polished disks of MgF2, fused silica, quartz, sapphire, germanium, etc. are used. Die Wahl eines optischen Materials, das bei den gewünschten Wellenlängen eine hohe Transmission aufweist, führt in der Regel zu den besten Ergebnissen. Beachten Sie, dass das, was nicht übertragen wird, reflektiert oder absorbiert wird (und die Absorption erwärmt das optische Material).
Kodial viewports can withstand repeated bakeout cycles to 350°C. However, to avoid thermal expansion stress, the heating rate should not exceed 2-3° per minute. Zusätzlich reflektiert eine mehrlagige Abdeckung des Sichtfensters mit Aluminiumfolie während der Erwärmung die Wärmestrahlung aus der Kammer zurück durch das Glas.
Alle Sichtfenster sind zerbrechlich und sollten mit äußerster Vorsicht behandelt und montiert werden. Vollgeglühte Kupferdichtungen werden häufig zur Montage von ConFlat®-Flanschschschfen verwendet. Bei jeder Kupferdichtung müssen die Schrauben mit den Fingern angezogen werden und man muss sich strikt an das Kreuzflansch-Anzugsmuster halten und niemals eine bestimmte Schraube mehr als 1/8 Umdrehung auf einmal drehen.
Never scratch the viewing area—a weakened viewport may implode (or more easily explode under adverse pressure conditions).