Diese sind hauptsächlich für die Zufuhr von Flüssigkeiten oder Gasen zu einem vakuummontierten Gerät bestimmt, oft um die Temperatur des Geräts aufrechtzuerhalten oder um einen gas- oder flüssigkeitsbetriebenen Rotor zu betätigen.
Bei Standardflanschen und Grundplattenanschlüssen sind ein oder mehrere Rohre mit Durchgangsbohrungen verschweißt, sodass die Rohre auf beiden Seiten des Flansches herauskommen. Die Rohre sind in verschiedenen Durchmessern erhältlich und werden oft mit einem kleinen Flansch oder einem Gasanschluss wie Swagelok® oder Cajon® abgeschlossen.
Bei Mehrrohrdurchführungen passen bestimmte Kombinationen von Rohrdurchmesser/Zahlen nicht in den „freien“ Bereich eines bestimmten Flansches. Darüber hinaus können die Maße einiger vakuumseitiger Abschlüsse die Bohrung der Kammeröffnung überschreiten. Eine Matrix aus kompatiblen Flanschdurchmessern, Anzahl und Durchmesser der Rohre und Anschlüsse ist im entsprechenden Produktsegment angegeben.
Gelegentlich werden Gas-Flüssigkeitsdurchführungen an interne Geräte angeschlossen, die nicht auf Massepotential liegen. Verwenden Sie für diese Anwendungen galvanisch getrennte Stromdurchführungen mit Rohrleitern.
Bei der Auswahl einer Gas-Flüssigkeitsdurchführung geht es in erster Linie um einen Flansch, der zu einem vorhandenen (unbenutzten) Flansch an der Kammer passt, die Anzahl der Durchführungen, den Rohrdurchmesser und die Rohranschlüsse, die entweder zu den vorhandenen Komponenten oder zur Anwendung passen.
Kryogene (LN2)-Durchführungen
Kryo-Durchführungen sind ähnlich wie Gas-Flüssigkeitsdurchführungen, außer eines verlängerten thermischen Weges zwischen Rohr und Flansch. Durch die Verwendung eines dünnen Edelstahls und eines langen Verbindungsflansches und -rohres wird die Wärmeübertragung (und damit die Verdampfungsrate des Kältemittels) reduziert.