Representative Image
423 IMAG Cold Cathode Gauge
The 423 IMAG is an inverted magnetron cold cathode gauge with a measurement range from 1e-11 to 1e-2 Torr.
Merkmale
- Wide pressure measurement range 10-11 to 10-2 Torr
- No adjustment in emission current or filament voltage required
- No need to degas the gauge and no filaments to burn out
- Sensor tubes can be mounted in any position without affecting reading
- Cleaning of sensor is easy with a demountable tube
Anwendungen
- Industriell
- PVD
- Mass Spec
- High Energy Physics
- Ion Implantation
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | 423 I-MAG |
|---|---|
| Technologie |
Kaltkathode
|
| Measurements |
Torr Min: 1,000 x 10-11 Max: 1,000 x 10-2 mbar Min: 1,000 x 10-11 Max: 1,000 x 10-2 |
| Temperatur |
Betriebs- 70,0 ºC 158 ºF Storage 50,0 ºC 122 ºF Ausheizen 400 ºC 752 ºF |
| Vakuumexponierte Materialien |
6061 Aluminum Alumina Ceramic Glas Inconel Edelstahl |
| Steckverbinder |
Bayonet Connector and Threaded Coaxial Connector |
|
Typical Genauigkeit |
±30% of reading
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Genauigkeit Bereich |
1 to 10%
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Empfohlene Montageausrichtung |
beliebig
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Compliance and Standards |
CE
RoHS |
X CLOSE
Remote-Steuerung
946 Vakuum Systemsteuerung
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
| Netzteil und Anzeige | 946 Vakuum Systemsteuerung |
| Anzeige-Typ | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. |
| Kanäle | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
| Sollwertrelais | Ja |
| Eingangsleistung | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz |
| Ungefährer Listenpreis | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
Gas Correction Factors for Ionization Vacuum Gauges
The values in the following table are the gas correction factors for various gases with respect to Nitrogen for both hot cathode and cold cathode ionization vacuum gauges.
In a gauge calibrated for Nitrogen, where the predominant gas being measured is other than Nitrogen, divide the actual gauge reading by the appropriate gas correction factor to get the corrected pressure value for the specific gas being measured.
| Gas | Symbol | Gas Correction Factor |
|---|---|---|
| Aceton | (CH3)2CO | 3,60 |
| Luft | - | 1,00 |
| Ammoniak | NH3 | 1,30 |
| Argon | Ar | 1,29 |
| Benzen | C6H6 | 5,90 |
| Brom | Br2 | 3,80 |
| Bromomethane | CH3Br | 3,70 |
| Kohlenstoffdioxid | CO2 | 1,42 |
| Kohlenstoffdisulfid | CS2 | 5,00 |
| Kohlenstoffmonoxid | CO | 1,05 |
| Tetrachlorkohlenstoff | CCl4 | 6,00 |
| Chlor | Cl2 | 0,68 |
| Deuterium | D2 | 0,35 |
| Helium | He | 0,18 |
| Wasserstoff | H2 | 0,46 |
| Wasserstoffbromid | HBr | 2,00 |
| Chlorwasserstoff | HCl | 1,50 |
| Fluorwasserstoff | Hf | 1,40 |
| Isobutylene | C4H8 | 3,60 |
| Krypton | Kr | 1,94 |
| Methan | CH4 | 1,40 |
| Neon | Ne | 0,30 |
| Stickoxid | NO | 1,30 |
| Stickstoff | N2 | 1,00 |
| Nitrogen Oxide | NO | 1,16 |
| Lachgas | N2O | 1,50 |
| Sauerstoff | O2 | 1,01 |
| Phosphin | PH3 | 2,60 |
| Propan | C3H8 | 4,20 |
| Schwefeldioxid | SO2 | 2,10 |
| Schwefelhexafluorid | SF6 | 2,50 |
| xenon | xe | 2,87 |
| Gas | Symbol | Gas Correction Factor |
Bestelltabelle
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| Beschreibung | Technologie | Flansch |
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GAUGE I-MAG COLD CATHODE SENSOR NWKF40 AIR, |
Kaltkathode | KF40 |
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Auf Anfrage |
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MESSGERÄT, |
Kaltkathode | DN40CF |
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Auf Anfrage |
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| - | Kaltkathode | 1" OD Tube |
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Auf Anfrage |
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MESSGERÄT, |
Kaltkathode | KF25 |
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Auf Anfrage |
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