KJLC® ACG Ambient Series Capacitance Manometers

Die KJLC^®-Kapazitätsmanometer gehören zur Reihe der gasartunabhängigen Druckmessröhren und sind die beste Wahl für eine hochgenaue Druckmessung und -regelung. Sie sind für alle Messbereiche mit allen gängigen Flanschtypen erhältlich Die KJLC Manometer verwenden eine hochreine Aluminiumoxid-Keramikmembran, die korrosionsbeständig ist und eine verbesserte Signalstabilität bietet, sowie schnellere Erholung von Exposition gegen Atmosphärendruck, kurze Aufwärmzeiten und eine außergewöhnlich lange Lebensdauer.

Merkmale

• Messbereiche (oberer Grenzwert) von 100 mTorr - 1000 Torr
• Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
• Schnelle Erholung von atmosphärischem Druck
• Korrosionsbeständiger Keramiksensor
• Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
• Temperaturkompensiert
• Sensor doppelt vor Kontamination geschützt
• Null-Kalibrierung per Knopfdruck
• Hohe Anzahl an Netzteilen
• 2 Sollwertrelais
• RS232 Schnittstelle
• Reinraumkonform

Anwendungen

• Ätzprozesse, CVD, PVD und andere Halbleiterherstellungsverfahren
• Chemische und korrosive Vakuumprozesse
• Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die einen Schutz des Messgerätes erfordern
• Datenspeicher- und Display-Herstellungsanlagen
• Referenzsensor zur Überwachung von Instrumenten nach internationalen Standards
• Transferstandard für Rückverfolgbarkeitsmessungen
• Industrielle Vakuumanlagen

Bemaßte Zeichnungen

Konfigurationsoptionen

This chart is to help you review all the available options for the KJLC ACG Ambient Series Capacitance Manometers. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.

Ordering Code Example: ACG-HT-3-1

Hinweis: Below you will find common methods to control your gauge / transducer. Please note that not all controllers are listed for every gauge / transducer. If you do not see the controller that you need, please contact your local KJLC Sales Representative.

• Powered via a controller. Suggested Controllers:
  • KJLC SPARC (Only for Ambient version.)
• Connected directly to a PLC (data acquisition system) or computer. The interconnector cable will need to be supplied by the end user. The pinouts for this unit can be found in the manual.

Compatible Controller	Beschreibung	Components Needed	Schematic Download
KJLC SPARC	Cost-effective, Single unit power supply and display.	KJL-SPARC, KJLC ACG, FCC68/DB15 adaptor, and power cable (if outside of US). 10ft. interconnect cable included.