MKS® Granville-Phillips® 390 Micro-Ion® ATM Vakuumdruckmessröhre
1x10-9 Torr to Atmosphere Modulares Vakuummeßgerät
Die MKS Granville-Phillips 390 Micro-Ion ATM Vakuumdruckmessröhre kombiniert die bewährte Micro-Ionisations-Vakuummesstechnik mit einem Miniatur Conductron® Wärmeverlustsensor und zwei piezoresistiven Sensoren für eine präzise, kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum bis Atmosphärendruck. Mit Hilfe seiner Membransensoren kann das 390 Micro-Ion ATM Micro-Ion/Conductron/Piezo-Modul einen genauen Absolutdruck bis Atmosphäre liefern und gleichzeitig den Differenzdruck der Vakuumkammer gegenüber der Umgebung genau anzeigen. Das einzigartige Design des Vakuumsensors eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinflussen können. Das kleine 390 Micro-Ion ATM Micro-Ion/Conductron/Piezo-Modul kombiniert alle vier Sensoren und Steuerelektronik in einem kompakten, modularen Design, das die Anzahl der benötigten Messgeräte in einer Kammer reduziert und den Platzbedarf minimiert.
Die Druckmessung der 390 Micro-Ion ATM Vakuumdruckmessröhre wird als einzelnes analoges Signal oder über optionale serielle RS-485 oder DeviceNet™ digitale Schnittstellen ausgegeben. Die Versionen RS-485 und DeviceNet verfügen über bis zu drei optionale Sollwertrelais, die für die Prozesssteuerung konfiguriert werden können, mit der Möglichkeit, die Relais jedem Druck über den Vakuumdruckbereich oder einem bestimmten Differenzdruckwert zuzuordnen.
Merkmale
- Kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum bis zur Atmosphäre
- Doppelte Filamente in der Ionisationsmessröhre erhöhen die Betriebszeit der Anlage
- Optionale Sollwertrelais zur Prozesssteuerung
- Analoger, RS-485- oder DeviceNet-Ausgang verfügbar
- Optionales Grafik-LCD-Display
Spezifikationstabelle
| Modell | 390 |
|---|---|
| Technologie |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo
|
| Measurements |
Torr Min: 1,000 x 10-9 Max: 1000 mbar Min: 1,330 x 10-9 Max: 1333 |
| Temperatur |
Betriebs- 40,0 ºC 104 ºF Storage 70,0 ºC 158 ºF Ausheizen 105 ºC 221 ºF |
| Vakuumexponierte Materialien |
304 Stainless Steel Tantalum Tungsten or Yttria-Coated Iridium Alumina CuAg Eutectic Kovar Gold or Nickel Plated Kovar Borosilicate Glass |
| Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male |
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Genauigkeit Bereich |
11 to 20%
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Anzeige Typ |
Digital
Nein |
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Set-Point Relays |
0 - 3 |
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Analog Ausgang |
Absoluter Druck: Logarithmisch
0,5 to 7,0 VDC 0,5 V/decade Differential Pressure: Linear 1-5 VDC -750 to +250 Torr (-1000 to +333mbar; -100 to +33 kPa) |
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Empfohlene Montageausrichtung |
beliebig
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Kommunikations (Standard) |
Analog RS485 Analog |
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Compliance and Standards |
CE
RoHS |
|
Integrated Elektronik |
Ja
|
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für die MKS Granville-Phillips 390 Mikro-Ionen ATM-Vakuum-Messgerät-Modul zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode: 390410-0-YD-T
| Optionen: Serie | Code | Konfiguration |
| Micro-Ion | 390 | 390 |
| Kommunikations-/Anzeigeoptionen | Code | Konfiguration |
| Nur analog (keine Sollwerte) / Keine Anzeige | 410 | 410 |
| Analog nur mit Anzeige (keine Sollwerte) | 411 | |
| RS485 / Analog / Keine Anzeige | 510 | |
| RS485 / Analog / Anzeige | 511 | |
| DeviceNet / Keine Anzeige | 610 | |
| DeviceNet / Anzeige | 611 | |
| Optionen für Sollwertrelais | Code | Konfiguration |
| None (Analog Only) | 0 | 0 |
| Zwei | 2 | |
| Drei | 3 | |
| Filamenttyp-Optionen | Code | Konfiguration |
| Yttria-beschichtetes Iridium | Y | Y |
| Wolfram | T | |
| Optionen: Flansch | Code | Konfiguration |
| NW16KF | D | D |
| NW25KF | E | |
| NW40KF | K | |
| 1,33-Zoll (NW16CF) ConFlat-Typ | F | |
| 2,75-Zoll (NW35CF) ConFlat-Typ | G | |
| 1/2-Zoll-VCR-Außengewinde | H | |
| Messoptionen | Code | Konfiguration |
| Torr | T | T |
| mBar | M |
1. Anschlussbelegung für Micro-Ion ATM-Modul mit zwei analogen Ausgängen und ohne Set-Point-Relais
3. Anschlussbelegung für Micro-Ion ATM-Modul mit RS-485-Schnittstelle, einem Analogausgang und zwei Set-Point-Relais
2. Anschlussbelegung für Micro-Ion ATM-Modul mit RS-485-Schnittstelle, zwei analogen Ausgängen und ohne Set-Point-Relais
4. Anschlussbelegung für Micro-Ion ATM-Modul mit RS-485-Schnittstelle, einem Analogausgang und drei Set-Point-Relais
Produktkonfiguration
Bestelltabelle
| Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Analogausgang | Communications (Standard) | Einheiten |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Analogausgang | Communications (Standard) | Einheiten |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
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TRANSDUCER, |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo | Nein | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Absoluter Druck: Logarithmic, 0,5 to 7,0 VDC, 0,5 V/decade Differential Pressure: Linear 1-5 VDC, -750 to +250 Torr (-1000 to +333mbar; -100 to +33 kPa) | Analog |
Pa Torr mbar |
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$1.365,00 |
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TRANSDUCER, |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo | Nein | 0 | 15 Pin Sub D Male | DN40CF | Absoluter Druck: Logarithmic, 0,5 to 7,0 VDC, 0,5 V/decade Differential Pressure: Linear 1-5 VDC, -750 to +250 Torr (-1000 to +333mbar; -100 to +33 kPa) | Analog |
Pa Torr mbar |
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$1.532,00 |
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TRANSDUCER, |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo | Digital | 2 | 15 Pin Sub D Male | DN40CF | Absoluter Druck: Logarithmic, 0,5 to 7,0 VDC, 0,5 V/decade Differential Pressure: Linear 1-5 VDC, -750 to +250 Torr (-1000 to +333mbar; -100 to +33 kPa) |
Analog RS485 |
- |
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|
$2.079,00 |
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TRANSDUCER, |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | DN40CF | Absoluter Druck: Logarithmic, 0,5 to 7,0 VDC, 0,5 V/decade Differential Pressure: Linear 1-5 VDC, -750 to +250 Torr (-1000 to +333mbar; -100 to +33 kPa) |
Analog RS485 |
- |
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$2.109,00 |
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Zubehörtabelle
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
| Wolfram, NW25KF |
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| Wolfram, 1,33" NW16CF |
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| Wolfram, 2,75" NW35CF |
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| Wolfram, 1/2" VCR männnlich |
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| Wolfram, NW40KF |
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| Yttria-beschichtetes Iridium, NW16KF |
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||||
| Yttria-beschichtetes Iridium, 1,33" NW16CF |
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||||
| Yttria-beschichtetes Iridium, 2,75" NW35CF |
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||||
| Yttria-beschichtetes Iridium, 1/2" VCR männnlich |
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| Yttria-beschichtetes Iridium, NW40KF |
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| Power supply, Wechselstromadapter, 15 Pin |
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| 1/4 Hard OHFC Gasket, DN40CF |
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| Bolt & Nut Set for DN35CF-N40CF, 25 per package |
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| Aluminum Clamp, DN25 ISO-KF Flange |
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| Viton® Centering Ring for DN25 ISO-KF Flange w/ screen |
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