Das Baratron 626D Kapazitätsmanometer für Raumtemperatur ist das neueste der analogen, RoHS-konformen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druck-Transducer von MKS. Es benötigt ±15VDC Eingangsspannung und liefert ein hochpegeliges 0-10VDC analoges Ausgangssignal, das linear mit dem Druck skaliert. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigegerät oder einem anderen Gerät, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Die radial gespannte Inconel®-Membrane im Sensor bietet sehr schnelles Ansprechverhalten (in vielen Fällen <20 msec), geringe Hysterese, ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit, sehr hohe Auflösung (bis 0,001 % des Messbereichs), außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und doppelwandige Schweißkonstruktion für maximale Benutzersicherheit. Der Sensor selbst kann wiederholten Belastungen durch 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Schäden oder Messjustage standhalten, so dass er in nahezu jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann.
Merkmale
- Messgenauigkeit spezifiziert in Prozent vom Messwert - für höchste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute.
- Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder Zusammensetzung, eliminiert Nachschlagetabellen und Umrechnungsfaktoren.
- Langfristige Ausgangsstabilität für modernste Prozesswiederholbarkeit.
- Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierungskonstruktion des Basissensors arbeitet ohne Beeinträchtigung in praktisch jeder chemischen Umgebung, einschließlich Halogenen, deionisiertem Wasser und Dampf sowie Ozon.
- Hohe Überdruckgrenze sorgt für Sicherheit bei Systemausfällen.
Anwendungen
- Industriell
- Elektronik
- F&E
Spezifikationstabelle
Modell | 622D | 626D | 626C |
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Technologie |
Capacitance Manometer
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Capacitance Manometer
|
Capacitance Manometer
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Messbereichsendwert |
1,00 Torr
2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 500 Torr 1000 Torr |
0,10 Torr
0,25 Torr 1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 500 Torr 1000 Torr |
0,10 Torr
1,00 Torr 10,0 Torr 100 Torr 1000 Torr |
Temperatur |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
Temperature Compensation, ºC |
Raumtemp.
|
Raumtemp.
|
Raumtemp.
|
Vakuumexponierte Materialien |
Incoloy® Nickel Alloys Inconel® Nickel Alloys |
316 Edelstahl Inconel® Nickel Alloys Incoloy® Nickel Alloys |
316 Edelstahl |
Steckverbinder |
Klemmleiste |
15 Pin Sub D Male |
15 Pin Sub D Male |
Typische Genauigkeit |
0,25 % of reading
|
0,25 % of reading
0,50 % of reading |
0,25 % of reading
|
Accuracy Range |
0,05 to 1%
|
0,05 to 1%
|
0,05 to 1%
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Anzeige-Typ |
nicht verfügbar
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nicht verfügbar
|
nicht verfügbar
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Ansprechverhalten des Relais |
nicht verfügbar
|
nicht verfügbar
|
nicht verfügbar
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Analogausgang |
0 to 10 VDC
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0 to 10 VDC
|
0 to 10 VDC
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Recommended Mounting Orientation |
Any except for upside down
|
beliebig
Any except for upside down |
beliebig
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Eingangsleistung |
±15VDC (±5 %) @ 35 mA
|
±15VDC (±5 %) @ 35 mA
|
±15VDC (±5 %) @ 35 mA
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Communications (Standard) |
Analog
|
Analog
|
Analog
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Compliance and Standards |
CE
RoHS |
CE
RoHS |
CE
RoHS |
Integrated Electronics |
Ja
|
Ja
|
Ja
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Remote-Steuerung
946 Vakuum Systemsteuerung |
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100 |
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
Spezifikationstabelle
Netzteil und Anzeige | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
Anzeige-Typ | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
Kanäle | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
Sollwertrelais | Ja | Ja |
Eingangsleistung | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
Ungefährer Listenpreis | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
626, 627, 628, E27 und E28 Kapazitätsmanometer Pinbelegung
Sub-D 15-Pin
Stift | Beschreibung |
2 | Signalausgang |
5 | Netzteil Masse |
6 | -15 VDC |
7 | +15 VDC |
12 | Signal Masse |
15 | Gehäuseerdung |
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für das MKS® 626D Baratron® Kapazitanzmanometer zur Messung der absoluten Umgebungstemperatur zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode: 622D11TBE
Modell | Code | Konfiguration |
Manometer ungeheizt, Anschlussklemmen als elektrischer Anschluss | 622D | 622D |
Manometer ungeheizt, Sub-D 15-Pin elektrischer Anschluss | 626D | |
Messbereichsendwert | Code | Konfiguration |
0,1 Torr (nur 626D) | .1T | 11T |
0,25 Torr (nur 626D) | RET | |
1 Torr | 01T | |
2 Torr | 02T | |
10 Torr | 11T | |
20 Torr | 21T | |
100 Torr | 12T | |
500 Torr | 52T | |
1000 Torr | 13T | |
Anschlüsse | Code | Konfiguration |
1/2" (12,7 mm) Rohr (Außendurchmesser) | A | B |
8 VCR weiblich | B | |
1,33" (33,8 mm) Conflat, drehbar | C | |
NW16-KF | D | |
8 VCO weiblich | E | |
NW25-KF | Q | |
Genauigkeit | Code | Konfiguration |
0,25 % vom Messwert (1 bis 1000 Torr) - Standard | E | E |
0,15 % vom Messwert (10 bis 1000 Torr) - Optional | D | |
0,50 % vom Messwert (< 1 Torr) - Standard | F |
Bitte wählen Sie das Modell, Messbereich, Anschlussart und die Genauigkeit, um Ihre Teilenummer zu konfigurieren.
Produktkonfiguration
Bestelltabelle
Beschreibung | Flansch | Messbereichsendwert | Temperature Compensation, ºC |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
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Beschreibung | Flansch | Messbereichsendwert | Temperature Compensation, ºC |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
EUDF, |
DN40CF | 0,1 Torr | Raumtemp. |
|
|
$1.532,00 |
|
— | |||||
EUDF, |
KF16 | 1 Torr | Raumtemp. |
|
|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
DN16CF | 10 Torr | Raumtemp. |
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$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
KF16 | 10 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
KF25 | 10 Torr | Raumtemp. |
|
|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
8 VCR weiblich | 100 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
KF16 | 1000 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
8 VCR weiblich | 0,1 Torr | Raumtemp. |
|
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$1.532,00 |
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— | |||||
EUDF, |
DN16CF | 0,1 Torr | Raumtemp. |
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|
Auf Anfrage |
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— | |||||
EUDF, |
DN40CF | 0,1 Torr | Raumtemp. |
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$1.458,00 |
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EUDF, |
KF16 | 1 Torr | Raumtemp. |
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|
Auf Anfrage |
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EUDF, |
DN40CF | 1 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.320,00 |
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EUDF, |
DN16CF | 10 Torr | Raumtemp. |
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$1.386,00 |
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EUDF, |
KF16 | 10 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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— | |||||
EUDF, |
KF25 | 10 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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EUDF, |
8 VCR weiblich | 100 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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EUDF, |
8 VCR weiblich | 1000 Torr | Raumtemp. |
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|
$1.386,00 |
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EUDF, |
KF16 | 1000 Torr | Raumtemp. |
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|
Auf Anfrage |
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EUDF, |
DN35CF - DN40CF | 1000 Torr | Raumtemp. |
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$1.320,00 |
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