MKS® 626D Baratron® Absolute Ambient Temperature Capacitance Manometer

Representative Image

MKS® 626D Baratron® Absolutdruck Kapazitätsmanometer, ungeheizt

Das Baratron 626D Kapazitätsmanometer für Raumtemperatur ist das neueste der analogen, RoHS-konformen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druck-Transducer von MKS. Es benötigt ±15VDC Eingangsspannung und liefert ein hochpegeliges 0-10VDC analoges Ausgangssignal, das linear mit dem Druck skaliert. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigegerät oder einem anderen Gerät, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Die radial gespannte Inconel^®-Membrane im Sensor bietet sehr schnelles Ansprechverhalten (in vielen Fällen <20 msec), geringe Hysterese, ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit, sehr hohe Auflösung (bis 0,001 % des Messbereichs), außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und doppelwandige Schweißkonstruktion für maximale Benutzersicherheit. Der Sensor selbst kann wiederholten Belastungen durch 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Schäden oder Messjustage standhalten, so dass er in nahezu jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann.

Merkmale

Messgenauigkeit spezifiziert in Prozent vom Messwert - für höchste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute.
Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder Zusammensetzung, eliminiert Nachschlagetabellen und Umrechnungsfaktoren.
Langfristige Ausgangsstabilität für modernste Prozesswiederholbarkeit.
Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierungskonstruktion des Basissensors arbeitet ohne Beeinträchtigung in praktisch jeder chemischen Umgebung, einschließlich Halogenen, deionisiertem Wasser und Dampf sowie Ozon.
Hohe Überdruckgrenze sorgt für Sicherheit bei Systemausfällen.

Anwendungen

Industriell
Elektronik
F&E

Bemaßte Zeichnungen

Spezifikationstabelle

Modell	622D	626D	626C
Technologie	Capacitance Manometer	Capacitance Manometer	Capacitance Manometer
Full Scale Bereich	1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 500 Torr 1000 Torr	0,10 Torr 0,25 Torr 1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 500 Torr 1000 Torr	0,10 Torr 1,00 Torr 10,0 Torr 100 Torr 1000 Torr
Temperatur	Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF	Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF	Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF
Temperatur Compensation, ºC	Raumtemp.	Raumtemp.	Raumtemp.
Vakuumexponierte Materialien	Incoloy® Nickel Alloys Inconel® Nickel Alloys	316 Edelstahl Inconel® Nickel Alloys Incoloy® Nickel Alloys	316 Edelstahl
Steckverbinder	Klemmleiste	15 Pin Sub D Male	15 Pin Sub D Male
Typical Genauigkeit	0,25 % of reading	0,25 % of reading 0,50 % of reading	0,25 % of reading
Genauigkeit Bereich	0,05 to 1%	0,05 to 1%	0,05 to 1%
Anzeige Typ	nicht verfügbar	nicht verfügbar	nicht verfügbar
Relais Response	nicht verfügbar	nicht verfügbar	nicht verfügbar
Analog Ausgang	0 to 10 VDC	0 to 10 VDC	0 to 10 VDC
Empfohlene Montageausrichtung	Any except for upside down	beliebig Any except for upside down	beliebig
Input Strom	±15VDC (±5 %) @ 35 mA	±15VDC (±5 %) @ 35 mA	±15VDC (±5 %) @ 35 mA
Kommunikations (Standard)	Analog	Analog	Analog
Compliance and Standards	CE RoHS	CE RoHS	CE RoHS
Integrated Elektronik	Ja	Ja	Ja

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Remote-Steuerung

946 Vakuum Systemsteuerung

Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.

Eigenschaften und Vorteile:

Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
Druckmessung von 1.000 Torr bis 10^-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
Unabhängige Steuereinheit (standalone)

PAC 100

Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.

Eigenschaften und Vorteile:

Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
Steuerung mittels PLC
Niedrige Betriebskosten

Downloads:

946 Handbuch
946 Datenblatt

PAC 100 Handbuch
PAC 100 Datenblatt

For additional information, please contact us by clicking here .

Spezifikationstabelle


Netzteil und Anzeige	946 Vakuum Systemsteuerung	PAC 100 Automatisierungssystem
Anzeige-Typ	320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung.	PC (nicht enthalten)
Kanäle	6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCsMKS Baratrons, MKS Piranis, MKS Convectron/Convection Serie, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren, MKS Druckregelventile	4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs, MKS Baratrons **Andere Module verfügbar
Sollwertrelais	Ja	Ja
Eingangsleistung	150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz	19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE)
Ungefährer Listenpreis	1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)

Hinweise:

*Weitere Informationen zu kompatiblen Einheiten finden Sie auf den jeweiligen Webseiten der Steuereinheiten.

Hinweise:

**Andere Konfigurationen sind verfügbar. Please contact us by clicking here for further details and configurations.

626, 627, 628, E27 und E28 Kapazitätsmanometer Pinbelegung

Sub-D 15-Pin

Stift	Beschreibung
2	Signalausgang
5	Netzteil Masse
6	-15 VDC
7	+15 VDC
12	Signal Masse
15	Gehäuseerdung

Konfigurationsoptionen

Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für das MKS^® 626D Baratron^® Kapazitanzmanometer zur Messung der absoluten Umgebungstemperatur zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.

Beispiel für den Bestellcode: 622D11TBE

Modell	Code	Konfiguration
Manometer ungeheizt, Anschlussklemmen als elektrischer Anschluss	622D	622D
Manometer ungeheizt, Sub-D 15-Pin elektrischer Anschluss	626D	622D
Messbereichsendwert	Code	Konfiguration
0,1 Torr (nur 626D)	.1T	11T
0,25 Torr (nur 626D)	RET
1 Torr	01T
2 Torr	02T
10 Torr	11T
20 Torr	21T
100 Torr	12T
500 Torr	52T
1000 Torr	13T
Anschlüsse	Code	Konfiguration
1/2" (12,7 mm) Rohr (Außendurchmesser)	A	B
8 VCR weiblich	B
1,33" (33,8 mm) Conflat, drehbar	C
NW16-KF	D
8 VCO weiblich	E
NW25-KF	Q
Genauigkeit	Code	Konfiguration
0,25 % vom Messwert (1 bis 1000 Torr) - Standard	E	E
0,15 % vom Messwert (10 bis 1000 Torr) - Optional	D
0,50 % vom Messwert (< 1 Torr) - Standard	F

A Complete Package Consists of

Hinweis: Below you will find common methods to control your gauge / transducer. Please note that not all controllers are listed for every gauge / transducer. If you do not see the controller that you need, please contact your local KJLC Sales Representative.

This unit can either be:
- Powered via a controller. Suggested Controllers:
  - MKS 946 Vacuum System Controller
  - MKS PR4000 Controller
  - MKS 660C Controller
- Connected directly to a PLC (data acquisition system) or computer. The interconnector cable, will need to be supplied by the end user. The pinouts for this unit can be found in the manual.

Compatible Controller	Beschreibung	Components Needed
MKS 946 Vacuum System Controller	Multi-unit power supply and simultaneous display, up to 6 setpoint relays, RS485 communications, and pressure control capability.	MKS 946, MKS 626D Baratron, and interconnect cable. Power cable included.
MKS PR4000	1-2 unit controller, compatible with MKS Baratrons and MKS Mass Flow Controllers.	MKS PR4000, MKS 626D Baratron, and interconnect cable. Power cable included.
MKS 660C	Cost-effective single unit power supply, compatible with MKS Baratrons and MKS Mass Flow Controllers requiring a +/- 15 VDC and 250 mA max power.	MKS 660C, MKS 626D Baratron, and interconnect cable. Power cable included.

Bitte wählen Sie das Modell, Messbereich, Anschlussart und die Genauigkeit, um Ihre Teilenummer zu konfigurieren.

Produktkonfiguration

1. Serie:
2. Messbereichsendwert:
3. Anschluss:
4. Genauigkeit:

Hinweise:

Bitte beachten Sie die untenstehende Bestell-Tabelle für Geräte, die wir in der Regel in einem unserer weltweiten Lager vorrätig haben.
Aufgrund der Exportbestimmungen kann es sein, dass das Produkt nicht in allen Regionen erhältlich ist.

Kennen Sie schon VacuCAD^SM?

VacuCAD ist eine kostenlose Bibliothek mit Tausenden von 2D CAD-Zeichnungen (im DXF-Format) und 3D Modellen (im STP-Format) für viele unserer Standard-Vakuum-Komponenten und -Kammern. Bitte melden Sie sich an.

Bestelltabelle

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Beschreibung

Flansch

Messbereichsendwert

Temperature Compensation, ºC

VacuCAD^SM

Teilenummer

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Zubehör

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Flansch

Messbereichsendwert

Temperature Compensation, ºC

VacuCAD^SM

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Zubehör

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 0,1 TOR RF.S. , DN40CF, 0,25% GENAUIGKEIT

DN40CF

0,1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C.1TLE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C AMBIENT, 1 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C01TDE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., SWAGELOK 8VCR FEMALE, 0,25% GENAUIGKEIT

8 VCR weiblich

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C11TBE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., DN16CF, 0,25% GENAUIGKEIT

DN16CF

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C11TCE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C11TDE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., KF25, 0,25% GENAUIGKEIT

KF25

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C11TQE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 100 TORR F.S., 8 FEMALE VCR, 0,25% GENAUIGKEIT

8 VCR weiblich

100 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C12TBE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C , UMGEBUNG, 1000 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

1000 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626C13TDE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626D, UMGEBUNG, 0,1 TORR F.S., 8 VCR FEMALE, 0,50 % ACCURACY

8 VCR weiblich

0,1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D.1TBF

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626D, 0,1 TORR F.S., 1,33" CF ROTATABLE, 0,50 % ACCURACY

DN16CF

0,1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D.1TCF

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 0,1 TOR RF.S. , DN40CF, 0,25% GENAUIGKEIT

DN40CF

0,1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D.1TLE

Auf Anfrage

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626D AMBIENT, 1 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D01TDE

Auf Anfrage

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 1 TORR F.S., DN40CF, DREHBAR, 0,25% GENAUIGKEIT

DN40CF

1 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D01TLE

Auf Anfrage

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., DN16CF, 0,25% GENAUIGKEIT

DN16CF

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D11TCE

Auf Anfrage

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D11TDE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 10 TORR F.S., KF25, 0,25% GENAUIGKEIT

KF25

10 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D11TQE

Auf Anfrage

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EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 100 TORR F.S., 8 FEMALE VCR, 0,25% GENAUIGKEIT

8 VCR weiblich

100 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D12TBE

Auf Anfrage

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EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626D, UMGEBUNG, 1000 TORR F.S., 8 FEMALE VCR, 0,25% GENAUIGKEIT

8 VCR weiblich

1000 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D13TBE

Auf Anfrage

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EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C , UMGEBUNG, 1000 TORR F.S., KF16, 0,25% GENAUIGKEIT

KF16

1000 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D13TDE

Auf Anfrage

—

EUDF, KAPAZITÄTSMANOMETER, 626C, UMGEBUNG, 1000 TORR F.S., DN40CF, DREHBAR, 0,25% GENAUIGKEIT

DN35CF - DN40CF

1000 Torr

Raumtemp.

nicht verfügbar

626D13TLE

Auf Anfrage

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CloseX

X CLOSE

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Teilenummer
Preis gemäß Konfiguration:	USD