MKS® 627H Baratron® Kapazitätsmanometer, temperaturgeregelt
(0,02 - 1000 Torr), temperaturgeregelt auf 45 Grad Celcius
Das 627H Baratron Kapazitätsmanometer ist die RoHS-konforme Version des Industriestandards für Stabilität und Genauigkeit. Es ist temperaturgeregelt auf 45 °C, mit einer Genauigkeit von 0,12 % des Messwertes und enthält eine aktualisierte Temperaturregelelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholgenauigkeit zu gewährleisten. Optionale Heiz- und Temperaturstatus-LED/Schalter zeigen an, dass die Heizung (die die Sensortemperatur auf 45 °C hält) im Regelbereich ist.
Basierend auf der bewährten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie sind die exponierten Oberflächen des Sensors aus Inconel® und bieten somit eine hervorragende Beständigkeit gegen korrosive Gase. Der zeitgemäße Aufbau aus Edelstahl ermöglicht ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist austauschbar mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometer und kann mit MKS-Netzteilen, -Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder den kompatiblen Stromversorgungs- und Auslesegeräten des Verwenders benutzt werden.
Merkmale
- Ausgezeichnete Langzeitstabilität
- Prozentuale Messwertgenauigkeit für präziseres Ausgangssignal im unteren Druckbereich
- Messbereichsendwert niedrig bis 20 mTorr (0,03 mbar) zur präzisen Messung von Niederdruckprozessen
- Korrosionsbeständig
- Temperaturkompensiert
- Reinraumkonform
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | 627H | 627F |
|---|---|---|
| Technologie |
Capacitance Manometer
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Capacitance Manometer
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Full Scale Bereich |
0,02 Torr
0,05 Torr 0,25 Torr 1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 1000 Torr 2000 Torr 5000 Torr 10000 Torr 15000 Torr 20000 Torr 25000 Torr |
0,10 Torr
|
| Temperatur |
Betriebs- 40,0 ºC 104 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
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Temperatur Compensation, ºC |
45
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45
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| Vakuumexponierte Materialien |
Incoloy® Nickel Alloys Inconel® Nickel Alloys |
Incoloy® Nickel Alloys Inconel® Nickel Alloys |
| Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male |
15 Pin Sub D Male |
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Typical Genauigkeit |
0,25 % of reading
0,15 % of reading 0,12 % of reading |
0,15 % of reading
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Genauigkeit Bereich |
0,05 to 1%
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0,05 to 1%
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Analog Ausgang |
0 to 10 VDC
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0 to 10 VDC
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Empfohlene Montageausrichtung |
Any except for upside down
|
Any except for upside down
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Input Strom |
±15 VDC ±5% @ 0,25 Amps (maximum
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±15 VDC ±5% @ 0,25 Amps (maximum
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Kommunikations (Standard) |
Analog
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Analog
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Compliance and Standards |
CE
RoHS |
CE
RoHS UL CSA |
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Integrated Elektronik |
Ja
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Ja
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Remote-Steuerung
946 Vakuum Systemsteuerung |
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100 |
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
Spezifikationstabelle
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| Netzteil und Anzeige | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
626, 627, 628, E27 und E28 Kapazitätsmanometer Pinbelegung
Sub-D 15-Pin
| Stift | Beschreibung |
| 2 | Signalausgang |
| 5 | Netzteil Masse |
| 6 | -15 VDC |
| 7 | +15 VDC |
| 12 | Signal Masse |
| 15 | Gehäuseerdung |
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für das MKS® 627H Baratron® Temperaturgesteuerte Kapazitätsmanometer zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode: 627H01TBC1B
| Modell | Code | Konfiguration |
| 627H Typ | 627H | 627H |
| Druckbereich Vollausschlag - Torr | Code | Konfiguration |
| 0,02 | U2T | 01T |
| 0,05 | U5T | |
| 0,1 | .1T | |
| 0,25 | RET | |
| 1 | 01T | |
| 2 | 02T | |
| 10 | 11T | |
| 20 | 21T | |
| 100 | 12T | |
| 1000 | 13T | |
| 2000 | 23T | |
| 5000 | 53T | |
| 10000 | 14T | |
| 15000 | RBT | |
| 20000 | 24T | |
| 25000 | RCT | |
| Anschlüsse | Code | Konfiguration |
| 1/2" (12,7 mm) Rohr (Außendurchmesser) | A | B |
| 8 VCR weiblich | B | |
| 1,33" AD CF | C | |
| NW16 KF (Bereich < 5000 Torr) | D | |
| 8 VCO weiblich | E | |
| 2,75" AD CF | L | |
| NW25 KF (Bereich < 5000 Torr) | Q | |
| Genauigkeit | Code | Konfiguration |
| 0,12 % vom Messwert (Bereiche ≥ 1 Torr) | C | C |
| 0,15 % vom Messwert (nur 0,25, 0,1 und 0,05 Torr-Einheiten) | D | |
| 0,25 % vom Messwert (nur 0,02 Torr-Einheiten) | E | |
| Optionen | Code | Konfiguration |
| Vertikale Kalibrierung, ohne Anzeige des Heizstatus | 1 | 1 |
| Vertikale Kalibrierung, mit Anzeige des Heizstatus | 2 | |
| Horizontale Kalibrierung, ohne Anzeige des Heizstatus, (nur < 1 Torr) | 5 | |
| Horizontale Kalibrierung, mit Anzeige des Heizstatus (nur < 1 Torr) | 6 | |
| Profibus | 4 | |
| 24 VDC | 9 | |
| Schnittstelle | Code | Konfiguration |
| 15-Pin Sub-D mit Gewindesicherung | B | B |
| 15-Pin Sub-D mit Schiebeverschluss | P |
Produktkonfiguration
Bestelltabelle
| Beschreibung | Flansch | Messbereichsendwert | Temperature Compensation, ºC |
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Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | ||||
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| Beschreibung | Flansch | Messbereichsendwert | Temperature Compensation, ºC |
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Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | ||||
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EUDF, |
8 VCR weiblich | 0,1 Torr | 45 |
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Auf Anfrage |
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