MKS® 628H Baratron® Kapazitätsmanometer, temperaturgeregelt
(0,05 - 1000 Torr), temperaturgeregelt auf 100 Grad Celcius
Das 628H Baratron Kapazitätsmanometer ist die RoHS-konforme Version des Industriestandards für Stabilität und Genauigkeit. Es ist temperaturgeregelt auf 100 °C, mit einer Genauigkeit von 0,25 % des Messwertes und enthält eine aktualisierte Temperaturregelelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Optionale Heiz- und Temperaturstatus-LED/Schalter zeigen an, dass die Heizung (die die Sensortemperatur auf 100 °C hält) im Regelbereich ist. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Messbereichen bis 50 mTorr (0,07 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden.
Basierend auf der bewährten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie sind die exponierten Oberflächen des Sensors aus Inconel® und bieten somit eine hervorragende Beständigkeit gegen korrosive Gase. Der zeitgemäße Aufbau aus Edelstahl ermöglicht ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist austauschbar mit den früheren Typen 128 und 628 Baratron-Kapazitansmanometern und kann mit MKS-Netzgeräten, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder den kompatiblen Stromversorgungen und Ablesegeräten des Verwenders benutzt werden.
Merkmale
- Ausgezeichnete Langzeitstabilität
- Prozentuale Messwertgenauigkeit für präziseres Ausgangssignal im unteren Druckbereich
- Messbereichsendwert niedrig bis 50 mTorr (0,07 mbar) zur präzisen Messung von Niederdruckprozessen
- Korrosionsbeständig
- Temperaturkompensiert
- Reinraumkonform
Spezifikationstabelle
| Modell | 628H |
|---|---|
| Technologie |
Capacitance Manometer
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Full Scale Bereich |
0,05 Torr
0,10 Torr 0,25 Torr 1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 1000 Torr 2000 Torr 5000 Torr 10000 Torr 15000 Torr 20000 Torr 25000 Torr |
| Temperatur |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen 65,0 ºC 149 ºF |
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Temperatur Compensation, ºC |
100
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| Vakuumexponierte Materialien |
Incoloy® Nickel Alloys Inconel® and Incoloy® nickel alloys Inconel® Nickel Alloys |
| Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male |
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Typical Genauigkeit |
0,50 % of reading
0,25 % of reading |
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Genauigkeit Bereich |
0,05 to 1%
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Analog Ausgang |
0 to 10 VDC
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Empfohlene Montageausrichtung |
Any except for upside down
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Input Strom |
±15 VDC ±5% @ 0,25 Amps (maximum
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Kommunikations (Standard) |
Analog
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Compliance and Standards |
CE
RoHS |
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Integrated Elektronik |
Ja
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Remote-Steuerung
946 Vakuum Systemsteuerung |
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100 |
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
Spezifikationstabelle
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| Netzteil und Anzeige | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
626, 627, 628, E27 und E28 Kapazitätsmanometer Pinbelegung
Sub-D 15-Pin
| Stift | Beschreibung |
| 2 | Signalausgang |
| 5 | Netzteil Masse |
| 6 | -15 VDC |
| 7 | +15 VDC |
| 12 | Signal Masse |
| 15 | Gehäuseerdung |
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für das MKS® 628H Baratron® Temperaturgesteuerte Kapazitätsmanometer zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode: 628H01TBE1B
| Modell | Code | Konfiguration |
| 628H Typ | 628H | 628H |
| Druckbereich Vollausschlag | Code | Konfiguration |
| 0,05 | U5T | 01T |
| 0,1 | .1T | |
| 0,25 | RET | |
| 1 | 01T | |
| 2 | 02T | |
| 10 | 11T | |
| 20 | 21T | |
| 100 | 12T | |
| 1000 | 13T | |
| 2000 | 23T | |
| 5000 | 53T | |
| 10000 | 14T | |
| 15000 | RBT | |
| 20000 | 24T | |
| 25000 | RCT | |
| Anschlüsse | Code | Konfiguration |
| 1/2" (12,7 mm) Rohr (Außendurchmesser) | A | B |
| 8 VCR weiblich | B | |
| 1,33" AD CF | C | |
| NW16 KF (Bereich < 5000 Torr) | D | |
| 8 VCO weiblich | E | |
| 2,75" AD CF | L | |
| NW25 KF (Bereich < 5000 Torr) | Q | |
| Genauigkeit | Code | Konfiguration |
| 0,25 % vom Messwert (Bereiche ≥ 1 Torr) | E | E |
| 0,5 % vom Messwert (Bereiche < 1 Torr) | F | |
| Optionen | Code | Konfiguration |
| Vertikale Kalibrierung, ohne Anzeige des Heizstatus | 1 | 1 |
| Vertikale Kalibrierung, mit Anzeige des Heizstatus | 2 | |
| Horizontale Kalibrierung, ohne Anzeige des Heizstatus, (nur < 1 Torr) | 5 | |
| Horizontale Kalibrierung, mit Anzeige des Heizstatus (nur < 1 Torr) | 6 | |
| Profibus | 4 | |
| 24 VDC | 9 | |
| Schnittstelle | Code | Konfiguration |
| 15-Pin Sub-D mit Gewindesicherung | B | B |
| 15-Pin Sub-D mit Schiebeverschluss | P |
Bitte wählen Sie das Modell, den Bereich, die Ausstattung, die Genauigkeit, die Optionen und den Anschluss, um Ihre Teilenummer zu konfigurieren.
