MKS® Granville-Phillips® 902B Absolutdruck Piezo-Vakuummessröhre
0,1 bis 1000Torr-Druck-/Vakuum-Messgeräte mit MEMS-basierten Piezosensoren
Der MKS 902B Piezotransducer kombiniert die Druckmesstechnik eines MEMS-basierten Piezosensors mit einer metallisch dichten Edelstahlmembran 316 und integrierter Elektronik. Der 902B bietet eine wirtschaftliche, gasartunabhängige Absolutdruckmessung.
Merkmale
- Kostengünstige Transducer-Alternative zu teureren konventionellen Transducern
- Gasartunabhängige Druckmessung für genaue Gesamtdruckmessung
- Sensor ist durch robuste Bauweise und Edelstahlausführung für raue Prozesse geeignet
- Festkörper-Piezosensor beständig gegen Beschädigung durch Lufteinbruch und Vibrationen
- Kompaktes Systemdesign mit integrierter Elektronik und Sensoreinheit in einem Gerät
- In jeder Lage montierbar für eine einfache Installation
- Reduzierte Prozesszykluszeit durch schnelle, genaue und wiederholbare Druckmessungen des Sensors
- Einfache Bedienung mit Analogausgang und digitaler Kommunikation
- Mehrere analoge Ausgangsemulationen verfügbar
- Prozesssteuerung mit bis zu drei Sollwertrelais mit schneller Reaktionszeit
- Optionale mit Display
Anwendungen
- Halbleiterfertigung
- Dünnfilmbeschichtungen
- Gefriertrocknung
- Analytische Instrumente
- Medizinische Geräte
- Automobilindustrie
- Luftfahrt
Spezifikationstabelle
Modell | 902B |
---|---|
Technologie |
Piezo
|
Measurements |
Torr Min: 0,10 Max: 1330 mbar Min: 0,13 Max: 1330 |
Temperatur |
Betriebs- 40,0 ºC 104 ºF Storage 40,0 ºC 104 ºF Ausheizen 100 ºC 212 ºF |
Vakuumexponierte Materialien |
316 Edelstahl |
Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male 9 pin Sub D Male |
Typische Genauigkeit |
±1% of reading (10 to 1000 Torr)
|
Accuracy Range |
0,05 to 1%
|
Sollwertrelais |
0 - 3 |
Ansprechverhalten des Relais |
1 A @ 30VAC/DC
resistive nicht verfügbar |
Analogausgang |
0 to 10 VDC
|
Recommended Mounting Orientation |
beliebig
|
Eingangsleistung |
9 to 30 VDC
< 1,2 watts max |
Communications (Standard) |
Analog
|
Communications (Optional) |
RS485 DeviceNet
|
Compliance and Standards |
2004/108/EEC Elektromagnetische Verträglichkeit
|
Integrated Electronics |
Ja
|
X SCHLIESSEN
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für die MKS Granville-Phillips 902B Absoluter Piezo-Vakuumwandler zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Ordering Code Example: 902B-12124
Optionen: Serie | Code | Konfiguration |
902B Piezo Transducer | 902B | 902B |
Optionen: Flansch | Code | Konfiguration |
KF16 | 1 | 1 |
1/8" NPT | 3 | |
4 VCR | 4 | |
8 VCR | 5 | |
KF16 Ext | 8 | |
Schnittstellenoptionen | Code | Konfiguration |
RS232 / Analog | 1 | 2 |
RS485 / Analog | 2 | |
EtherCAT/Analog | E | |
Analog Ausgangsoptionen | Code | Konfiguration |
0-10 VDC (Linear 10 mV / Torr) | 0 | 1 |
0-5 VDC (Linear 5 mV / Torr) | 1 | |
Optionen für Stecker / Relais | Code | Konfiguration |
D-Sub 9 pin male/One Relay | 1 | 2 |
D-Sub 15 pin HD male/No Relay | 2 | |
D-Sub 15 pin HD male/Three Relays | 3 | |
D-Sub 15 pin HD male/One Relay (EtherCAT only) | V | |
Gehäuse-/Anzeigeoptionen | Code | Konfiguration |
Standard/Viton Sealing | 0 | 4 |
Standard/Viton Sealing/Display (not available with EtherCAT) | 4 |
902B Absolutdruck Piezo-Vakuumdruckmessrörhe Pinbelegung
Sub-D 9-Pin
Stift | Beschreibung |
1 | Relais normal offen |
2 | Relais normal geschlossen |
3 | + Strom (9-30 VDC) |
4 | - Strom Rückleitung |
5 | + Analogausgang |
6 | Relais Masse |
7 | RS485 -/ RS232 Transmit |
8 | Analogausgang |
9 | RS485 +/ RS232 Receive |
Sub-D 15-Pin
Stift | Beschreibung |
1 | RS485 -/RS232 Übertragen |
2 | RS485 +/RS232 Empfangen |
3 | + Strom (9-30 VDC) |
4 | - Strom Rückleitung |
5 | + Analogausgang |
6 | - Analogausgang |
7 | Relais 1 normal offen |
8 | Relais 1 Masse |
9 | Relais 1 normal geschlossen |
10 | Relais 2 normal geschlossen |
11 | Relais 2 Masse |
12 | Relais 2 normal offen |
13 | Relais 3 normal geschlossen oder Analogausgang 2 + |
14 | Relais 3 Masse |
15 | Relais 3 normal offen |
Produktkonfiguration
Bestelltabelle
X SCHLIESSEN
Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Communications (Standard) |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
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Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Communications (Standard) |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
TRANSDUCER, |
Piezo | Digital | 1 | 9 pin Sub D Male | KF16 | Analog |
|
|
$682,00 |
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TRANSDUCER, |
Piezo | Digital | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog |
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|
$654,00 |
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|||||
TRANSDUCER, |
Piezo | Nein | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog |
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$503,00 |
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|||||
TRANSDUCER, |
Piezo | Digital | - | 9 pin Sub D Male | KF16 | Analog |
|
|
Auf Anfrage |
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— | |||||
TRANSDUCER, |
Piezo | Nein | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog |
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|
$451,00 |
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— | |||||
TRANSDUCER, |
Piezo | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog |
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$706,00 |
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— | |||||
EUDF-SUPP TRANSDUCER, |
Piezo | Digital | - | 9 pin Sub D Male | 4 VCR weiblich | Analog |
|
|
Auf Anfrage |
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— | |||||
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 1 | 9 pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
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|
$790,00 |
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— | |||||
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 1 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
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$570,00 |
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— | |||||
EUDF-SUPP GAUGE, |
MEMS Pirani | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
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|
Auf Anfrage |
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— | |||||
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS485 |
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$620,00 |
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— | |||||
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Analog,RS232 |
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$828,00 |
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Zubehörtabelle
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Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
PDR900 zu 9-Pin RS232, 10ft (3m) |
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PDR900 zu 15-Pin RS232, 10ft (3m) |
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PDR900 zu 9-Pin RS485, 10ft (3m) |
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PDR900 zu 15-Pin RS485, 10ft (3m) |
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Netzteil, Konvertiert 120 Vac in 12 Vdc, 15 Pin, 6 ft (1,8m) |
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Serial Communication Adaptor, 15 Pin to USB, RS232 or RS485 Communications for 900 Series MKS Transducers |
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PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, EU power Supply |
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PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, UK power Supply |
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PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, US power Supply |
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Aluminum Clamp, DN16 ISO-KF Flange |
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Viton® Centering Ring for DN16 ISO-KF Flange |
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