Repräsentative Abbildung
MKS® Granville-Phillips® 925 MicroPirani™ Vakuumdruckmessröhre
1.0x10-5 Torr to Atm Druck-/Vakuum-Messgerät mit MEMS-basiertem MicroPirani-Vakuumsensor
Die 925 MicroPirani Vakuumdruckmessröhre ist ein Wärmeleitfähigkeits-Vakuummeßgerät, welches auf einem einzigartigen, MEMS-basierten (Micro-Electro-Mechanical Systems) Vakuumsensor basiert. Das 925 MicroPirani bietet analoge Spannungsausgänge, digitale Schnittstellen und Sollwertrelais zur Prozesssteuerung.
Merkmale
- Erweiterter Messbereich von 10-5 Torr bis Atmosphäre, zwei Dekaden größer im Vergleich zu einem Standard-Pirani.
- Analogausgang und digitale Kommunikation.
- In jeder Ausrichtung montierbar.
- Drei optionale Sollwertrelais für die Prozesssteuerung.
- Optional mit lokalem Display
Anwendungen
Das 925 MicroPirani Vakuum-Messgerät kann in vielen verschiedenen Vakuum-Überwachungs- und Kontrollanwendungen eingesetzt werden, wie z. B. in der Halbleiterindustrie, analytischen und industriellen Beschichtungsanwendungen (Solar) und der Gefriertrocknung:
- Allgemeine Vakuum-Druckmessung
- Vor- und Grobvakuummessung
- Gasrückfüllessung und -steuerung
- Massenspektrometer-Steuerung
- Aktivierung von UHV-Messgeräten
- Systemprozesssteuerung (Interlocks, Ventile, Pumpen)
- Steuerung des Systemdrucks
Der 925 MicroPirani-Transducer kann mit anderen Flanschen und Vakuum- und elektrischen Anschlüssen konfiguriert werden (Hirschmann, RJ45/FCC68), sowie mit einem UHV-dichten Gehäuse und kundenspezifischen analogen Ausgangsspannungen, um Spannungsausgänge von einer Vielzahl anderer Transducer zu emulieren und so die Messgeräte anderer Hersteller in OEM-Anwendungen ohne Änderung der Systemsoftware „plug and play“ zu ersetzen.
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | 925 MicroPirani |
|---|---|
| Technologie |
MEMS Pirani
|
| Measurements |
Torr Min: 1,000 x 10-5 Max: 1330 mbar Min: 1,300 x 10-5 Max: 1330 |
| Temperatur |
Betriebs- 40,0 ºC 104 ºF Storage 40,0 ºC 104 ºF Ausheizen 85,0 ºC 185 ºF |
| Vakuumexponierte Materialien |
304 Edelstahl Gold Ausgasungsarmes Epoxidharz Silizium Siliziumdioxid Siliziumnitrid Viton® |
| Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male 9 pin Sub D Male |
|
Typische Genauigkeit |
±10% of reading (5,00 x 10-4 to 1,00 x 10-3 Torr) ±5% of reading (1,00 x 10-3 to 100 Torr) ±25% of reading (100 Torr to atm) |
|
Accuracy Range |
1 to 10%
|
|
Anzeige-Typ |
Digital
Keine |
|
Sollwertrelais |
0 - 3 |
|
Ansprechverhalten des Relais |
1 A @ 30VAC/DC resistive
nicht verfügbar |
|
Analogausgang |
1 to 9 VDC
|
|
Recommended Mounting Orientation |
beliebig
|
|
Eingangsleistung |
9 to 30 VDC
< 1,5 watts max |
|
Communications (Standard) |
Analog
RS232 RS485 |
|
Communications (Optional) |
nicht verfügbar
|
|
Compliance and Standards |
EMV-Richtlinie 2004/108/EWG
|
|
Integrated Electronics |
Ja
|
X SCHLIESSEN
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für die MKS Granville-Phillips 925 MicroPirani Vakuumwandler zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode:925-12034
| Optionen: Serie | Code | Konfiguration |
| MicroPirani | 925 | 925 |
| Optionen: Flansch | Code | Konfiguration |
| KF16 | 1 | 1 |
| KF25 | 2 | |
| 1/8" NPT-M | 3 | |
| VCR4 | 4 | |
| VCR8 | 5 | |
| KF16 Erweitert | 8 | |
| Schnittstellenoptionen | Code | Konfiguration |
| RS232 / Analog | 1 | 2 |
| RS485 / Analog | 2 | |
| EtherCAT/Analog | 7 | |
| Analog Ausgangsoptionen | Code | Konfiguration |
| Standard MKS | 0 | 0 |
| MKS Moducell (eingeschränkter Messbereich) | 8 | |
| Optionen für Stecker / Relais | Code | Konfiguration |
| SUBD 9 Stift Stecker / 1 Relaissollwert (925C kompatibel) | 1 | 3 |
| SUBD 15 Stift Stecker / kein Relais | 2 | |
| SUBD 15 Stift Stecker / 3 Relais | 3 | |
| SUBD 15 Stift Stecker / 3 Relais / dualer Analogausgang | 5 | |
| Abdichtungsoptionen für das Gehäuse | Code | Konfiguration |
| Standard-/Viton-Abdichtung | 0 | 4 |
| Standard-/Viton-Abdichtung / Anzeige | 4 |
15-Pin
EtherCAT IN
EtherCAT OUT
925 Micro Pirani Vakuum-Messtransducer Pin-Belegungen
| Stift | RS232/485 9 pin Sub-D | RS232/485 15 pin Sub-D | EtherCAT 15 pin Sub-D | RJ45 EtherCAT IN/OUT |
| 1 | Relais normal offen | RS485 (-) / RS232 transmit | NC | TX+ |
| 2 | Relais normal geschlossen | RS485 (+) / RS232 receive | NC | TX- |
| 3 | Power (+) (9-30 VDC) | Power (+) | Input Power (+) 9 to 24 VDC | RX+ |
| 4 | Power Return (-) | Power (-) | - Strom Rückleitung | NC |
| 5 | Analog Output (+) | Analog Output (+) abs. | Signal Output + | NC |
| 6 | Relais Masse | Analog Output (-) | Signal Masse | RX- |
| 7 | RS485 (-) / RS232 Transmit | Relay #1 NO | NC | NC |
| 8 | Analogausgang | Relay #1 Common | NC | NC |
| 9 | RS485 (+) / RS232 Receive | Relay #1 | NC | NC |
| 10 | - | Relay #2 NC | NC | - |
| 11 | - | Relay #2 Common | NC | - |
| 12 | - | Relay #2 NO | NC | - |
| 13 | - | Relay #3 NC (or analog output diff) | NC | - |
| 14 | - | Relay #3 Common | NC | - |
| 15 | - | Relay #3 NO | Gehäuseerdung | - |
Produktkonfiguration
Bestelltabelle
X SCHLIESSEN
| Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Communications (Standard) | Einheiten | Sollwertrelais |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Technologie | Anzeige-Typ | Sollwertrelais | Steckverbindungstyp | Flansch | Communications (Standard) | Einheiten | Sollwertrelais |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 1 | 9 pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 | - | Ja |
|
|
$594,00 |
|
|
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|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 1 | 9 pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
Pa Torr mbar |
Ja |
|
|
$790,00 |
|
— | |||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 1 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
Pa Torr mbar |
Ja |
|
|
$570,00 |
|
— | |||||
|
EUDF-SUPP GAUGE, |
MEMS Pirani | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS232 |
Pa Torr mbar |
Ja |
|
|
Auf Anfrage |
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— | |||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS485 | - | - |
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|
$733,00 |
|
|
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|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF16 | Analog,RS485 |
Pa Torr mbar |
Ja |
|
|
$620,00 |
|
— | |||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Analog,RS232 | - | - |
|
|
$582,00 |
|
— | |||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 0 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Analog,RS232 | - | - |
|
|
$776,00 |
|
— | |||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Analog,RS232 | - | Ja |
|
|
$632,00 |
|
|
|||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Digital | 3 | 15 Pin Sub D Male | KF25 | Analog,RS232 |
Pa Torr mbar |
Ja |
|
|
$828,00 |
|
|
|||||
|
MESSGERÄT, |
MEMS Pirani | Keine | 1 | 9 pin Sub D Male | 1/8" NPT | Analog,RS232 | - | Ja |
|
|
$614,00 |
|
|
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Zubehörtabelle
X SCHLIESSEN
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
| PDR900 zu 9-Pin RS232, 10ft (3m) |
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| PDR900 zu 15-Pin RS232, 10ft (3m) |
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| PDR900 zu 9-Pin RS485, 10ft (3m) |
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| PDR900 zu 15-Pin RS485, 10ft (3m) |
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| Netzteil, Konvertiert 120 Vac in 12 Vdc, 15 Pin, 6 ft (1,8m) |
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|
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| Serial Communication Adaptor, 15 Pin to USB, RS232 or RS485 Communications for 900 Series MKS Transducers |
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| MKS 925, KF16 |
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| MKS 925, KF25 |
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| MKS 925, 1/8" NPT-M, 1/2" Rohr |
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| MKS 925, VCR4 |
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| MKS 925, VCR8 |
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| MKS 925, CF 1,33 |
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| MKS 925, KF16 Erweitert |
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| PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, EU power Supply |
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| PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, UK power Supply |
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| PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, US power Supply |
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| Aluminum Clamp, DN16 ISO-KF Flange |
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| Viton® Centering Ring for DN16 ISO-KF Flange |
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