MKS® Granville-Phillips® 925 MicroPirani™ Vacuum Transducer

Representative Image

MKS® Granville-Phillips® 925 MicroPirani™ Vakuumdruckmessröhre

1.0x10^-5 Torr to Atm Druck-/Vakuum-Messgerät mit MEMS-basiertem MicroPirani-Vakuumsensor

Die 925 MicroPirani Vakuumdruckmessröhre ist ein Wärmeleitfähigkeits-Vakuummeßgerät, welches auf einem einzigartigen, MEMS-basierten (Micro-Electro-Mechanical Systems) Vakuumsensor basiert. Das 925 MicroPirani bietet analoge Spannungsausgänge, digitale Schnittstellen und Sollwertrelais zur Prozesssteuerung.

Merkmale

Erweiterter Messbereich von 10^-5 Torr bis Atmosphäre, zwei Dekaden größer im Vergleich zu einem Standard-Pirani.
Analogausgang und digitale Kommunikation.
In jeder Ausrichtung montierbar.
Drei optionale Sollwertrelais für die Prozesssteuerung.
Optional mit lokalem Display

Anwendungen

Das 925 MicroPirani Vakuum-Messgerät kann in vielen verschiedenen Vakuum-Überwachungs- und Kontrollanwendungen eingesetzt werden, wie z. B. in der Halbleiterindustrie, analytischen und industriellen Beschichtungsanwendungen (Solar) und der Gefriertrocknung:

Allgemeine Vakuum-Druckmessung
Vor- und Grobvakuummessung
Gasrückfüllessung und -steuerung
Massenspektrometer-Steuerung
Aktivierung von UHV-Messgeräten
Systemprozesssteuerung (Interlocks, Ventile, Pumpen)
Steuerung des Systemdrucks

Der 925 MicroPirani-Transducer kann mit anderen Flanschen und Vakuum- und elektrischen Anschlüssen konfiguriert werden (Hirschmann, RJ45/FCC68), sowie mit einem UHV-dichten Gehäuse und kundenspezifischen analogen Ausgangsspannungen, um Spannungsausgänge von einer Vielzahl anderer Transducer zu emulieren und so die Messgeräte anderer Hersteller in OEM-Anwendungen ohne Änderung der Systemsoftware „plug and play“ zu ersetzen.

Bemaßte Zeichnungen

Spezifikationstabelle

Modell	925 MicroPirani
Technologie	MEMS Pirani
Measurements	Torr Min: 1,000 x 10^-5 Max: 1330 mbar Min: 1,300 x 10^-5 Max: 1330
Temperatur	Betriebs- 40,0 ºC 104 ºF Storage 40,0 ºC 104 ºF Ausheizen 85,0 ºC 185 ºF
Vakuumexponierte Materialien	304 Edelstahl Gold Ausgasungsarmes Epoxidharz Silizium Siliziumdioxid Siliziumnitrid Viton®
Steckverbinder	15 Pin Sub D Male 9 pin Sub D Male
Typical Genauigkeit	±10% of reading (5,00 x 10^-4 to 1,00 x 10^-3 Torr) ±5% of reading (1,00 x 10^-3 to 100 Torr) ±25% of reading (100 Torr to atm)
Genauigkeit Bereich	1 to 10%
Anzeige Typ	Digital Keine
Set-Point Relays	0 - 3
Relais Response	1 A @ 30VAC/DC resistive nicht verfügbar
Analog Ausgang	1 to 9 VDC
Empfohlene Montageausrichtung	beliebig
Input Strom	9 to 30 VDC < 1,5 watts max
Kommunikations (Standard)	Analog RS232 RS485
Kommunikations (Optional)	nicht verfügbar
Compliance and Standards	EMV-Richtlinie 2004/108/EWG
Integrated Elektronik	Ja

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Konfigurationsoptionen

Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für die MKS Granville-Phillips 925 MicroPirani Vakuumwandler zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.

Beispiel für den Bestellcode:925-12034

Optionen: Serie	Code	Konfiguration
MicroPirani	925	925
Optionen: Flansch	Code	Konfiguration
KF16	1	1
KF25	2
1/8" NPT-M	3
VCR4	4
VCR8	5
KF16 Erweitert	8
Schnittstellenoptionen	Code	Konfiguration
RS232 / Analog	1	2
RS485 / Analog	2
EtherCAT/Analog	7
Analog Ausgangsoptionen	Code	Konfiguration
Standard MKS	0	0
MKS Moducell (eingeschränkter Messbereich)	8	0
Optionen für Stecker / Relais	Code	Konfiguration
SUBD 9 Stift Stecker / 1 Relaissollwert (925C kompatibel)	1	3
SUBD 15 Stift Stecker / kein Relais	2
SUBD 15 Stift Stecker / 3 Relais	3
SUBD 15 Stift Stecker / 3 Relais / dualer Analogausgang	5
Abdichtungsoptionen für das Gehäuse	Code	Konfiguration
Standard-/Viton-Abdichtung	0	4
Standard-/Viton-Abdichtung / Anzeige	4	4

9-Pin

15-Pin

EtherCAT IN

EtherCAT OUT

925 Micro Pirani Vakuum-Messtransducer Pin-Belegungen

Stift	RS232/485 9 pin Sub-D	RS232/485 15 pin Sub-D	EtherCAT 15 pin Sub-D	RJ45 EtherCAT IN/OUT
1	Relais normal offen	RS485 (-) / RS232 transmit	NC	TX+
2	Relais normal geschlossen	RS485 (+) / RS232 receive	NC	TX-
3	Power (+) (9-30 VDC)	Power (+)	Input Power (+) 9 to 24 VDC	RX+
4	Power Return (-)	Power (-)	- Strom Rückleitung	NC
5	Analog Output (+)	Analog Output (+) abs.	Signal Output +	NC
6	Relais Masse	Analog Output (-)	Signal Masse	RX-
7	RS485 (-) / RS232 Transmit	Relay #1 NO	NC	NC
8	Analogausgang	Relay #1 Common	NC	NC
9	RS485 (+) / RS232 Receive	Relay #1	NC	NC
10	-	Relay #2 NC	NC	-
11	-	Relay #2 Common	NC	-
12	-	Relay #2 NO	NC	-
13	-	Relay #3 NC (or analog output diff)	NC	-
14	-	Relay #3 Common	NC	-
15	-	Relay #3 NO	Gehäuseerdung	-

A Complete Package Consists of

Hinweis: Below you will find common methods to control your gauge / transducer. Please note that not all controllers are listed for every gauge / transducer. If you do not see the controller that you need, please contact your local KJLC Sales Representative.

If the unit as an integrated display, it can be:
- Powered via a wall transformer / power supply (US). This item can be found in the accessories. If outside of the US, the power supply will need to be fabricated by the end user.
- Connected directly to a PLC (data acquisition system) or computer. The interconnector cable will need to be supplied by the end user. The pinouts for this unit can be found in the manual.
If the unit does not have an integrated display, it can be:
- Powered via a controller. Suggested Controller:
  - MKS PDR 900
- Connected directly to a PLC (data acquisition system) or computer. The interconnector cable will need to be supplied by the end user. The pinouts for this unit can be found in the manual.

Compatible Controller	Beschreibung	Components Needed
MKS PDR900 Vacuum Gauge Controller	Single unit power supply and display with analog output and up to 3 setpoint relays (transducer dependent)	MKS PDR900, MKS 925, and interconnect cable. Power cable included.

Produktkonfiguration

1. Serie:	MicroPirani [925-]
2. Flansch:
3. Schnittstelle:
4. Analoger Ausgang:
5. Steckverbinder/Relais:
6. Gehäuseabdichtung:

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Bestelltabelle

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Beschreibung

Technologie

Anzeige-Typ

Sollwertrelais

Steckverbindungstyp

Flansch

Communications (Standard)

Einheiten

Sollwertrelais

VacuCAD^SM

Teilenummer

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Zubehör

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Sollwertrelais

Steckverbindungstyp

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Zubehör

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF16, RS232 / ANALOG, 9 PIN SUB D MALE / 1 SETPOINT, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

9 pin Sub D Male

KF16

Analog,RS232

nicht verfügbar

925-11010

Auf Anfrage

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF16, RS232 / ANALOG, 9 PIN SUB D MALE / 1 SETPOINT, ANZEIGE

MEMS Pirani

Digital

9 pin Sub D Male

KF16

Analog,RS232

Pa
Torr
mbar

nicht verfügbar

925-11014

Auf Anfrage

—

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF16, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 0 SETPOINTS, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

15 Pin Sub D Male

KF16

Analog,RS232

Pa
Torr
mbar

nicht verfügbar

925-11020

Auf Anfrage

—

EUDF-SUPP GAUGE, 925 TRANSDUCER MICRO PIRANI, KF16, RS232 / ANALOG, ST

MEMS Pirani

Digital

15 Pin Sub D Male

KF16

Analog,RS232

Pa
Torr
mbar

nicht verfügbar

925-11034

Auf Anfrage

—

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF16, RS485 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 0 SETPOINTS, ANZEIGE

MEMS Pirani

Digital

15 Pin Sub D Male

KF16

Analog,RS485

nicht verfügbar

925-12024

Auf Anfrage

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF16, RS485 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 3 SETPOINTS, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

15 Pin Sub D Male

KF16

Analog,RS485

Pa
Torr
mbar

nicht verfügbar

925-12030

Auf Anfrage

—

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF25, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 0 SETPOINTS, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

15 Pin Sub D Male

KF25

Analog,RS232

nicht verfügbar

925-21020

Auf Anfrage

—

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF25, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 0 SETPOINTS, ANZEIGE

MEMS Pirani

Digital

15 Pin Sub D Male

KF25

Analog,RS232

nicht verfügbar

925-21024

Auf Anfrage

—

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF25, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 3 SETPOINTS, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

15 Pin Sub D Male

KF25

Analog,RS232

nicht verfügbar

925-21030

Auf Anfrage

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, KF25, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 3 SETPOINTS, ANZEIGE

MEMS Pirani

Digital

15 Pin Sub D Male

KF25

Analog,RS232

Pa
Torr
mbar

nicht verfügbar

925-21034

Auf Anfrage

MESSGERÄT, 925 MICROPRIANI, 1/8" NPT, RS232 / ANALOG, 15 PIN SUB HD MALE / 0 SETPOINTS, KEINE ANZEIGE

MEMS Pirani

Keine

9 pin Sub D Male

1/8" NPT

Analog,RS232

nicht verfügbar

925-31010

Auf Anfrage

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Zubehörtabelle

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Beschreibung	Zubehörtyp	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Beschreibung	Zubehörtyp	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
PDR900 zu 9-Pin RS232, 10ft (3m)	Verbindungskabel	100013613	Auf Anfrage
PDR900 zu 15-Pin RS232, 10ft (3m)	Verbindungskabel	100013620	Auf Anfrage
PDR900 zu 9-Pin RS485, 10ft (3m)	Verbindungskabel	100013664	Auf Anfrage
PDR900 zu 15-Pin RS485, 10ft (3m)	Verbindungskabel	100013671	Auf Anfrage
Netzteil, Konvertiert 120 Vac in 12 Vdc, 15 Pin, 6 ft (1,8m)	Wand-/Steckernetzteil	275933	Auf Anfrage
Serial Communication Adaptor, 15 Pin to USB, RS232 or RS485 Communications for 900 Series MKS Transducers	Serial Communication Adaptor	900USB-1	Auf Anfrage
MKS 925, KF16	Reparatur-Kit	925-1REP	Auf Anfrage
MKS 925, KF25	Reparatur-Kit	925-2REP	Auf Anfrage
MKS 925, 1/8" NPT-M, 1/2" Rohr	Reparatur-Kit	925-3REP	Auf Anfrage
MKS 925, VCR4	Reparatur-Kit	925-4REP	Auf Anfrage
MKS 925, VCR8	Reparatur-Kit	925-5REP	Auf Anfrage
MKS 925, CF 1,33	Reparatur-Kit	925-6REP	Auf Anfrage
MKS 925, KF16 Erweitert	Reparatur-Kit	925-8REP	Auf Anfrage
PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, EU power Supply	Controller	PDR900-12-EU	Auf Anfrage
PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, UK power Supply	Controller	PDR900-12-UK	Auf Anfrage
PDR900 Einkanalige Steuerung, RS232/RS485, US power Supply	Controller	PDR900-12-US	Auf Anfrage
Aluminum Clamp, DN16 ISO-KF Flange	Schelle	QF16-075-C	Auf Anfrage
Viton^® Centering Ring for DN16 ISO-KF Flange	Viton O-ring	QF16-075-SRV	$8,55

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Teilenummer
Preis gemäß Konfiguration:	USD