MKS® 946 Vacuum System Controller

The MKS 946 is a versatile half-rack vacuum gauge measurement and control system. It provides power and simultaneous readout for up to six different vacuum gauges and/or mass flow controllers, with options for controlling pressure.

This highly flexible vacuum system controller supports a wide range of sensor technologies, including Baratron® capacitance manometers, cold cathode, hot cathode, standard Pirani and convection Pirani sensors for a measurement range from ultra-high vacuum to above atmospheric pressure. In addition, the Series 946 Controller will also monitor and control MKS I, G, or P-Series and legacy mass flow controllers as well as MKS pressure control valves.

Eigenschaften und Vorteile

• Simultaneous control and readout for up to six vacuum gauges and/or six mass flow controllers
• Druckmessung von 1.000 Torr bis 10^-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
• Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
• RS232/485 computer control standard in all configurations for ease of system integration
• Flow ratio control using multiple mass flow controllers
• Intelligent communication between gauges enables a reference sensor to span or zero another gauge allowing accurate, continuous measurement over wide pressure ranges
• 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung

Bemaßte Zeichnungen

Spezifikationstabelle

Compatible MKS® Baratrons® and Piezo Gauges

The MKS 946 Vacuum System Controller is compatible with, but not limited to, the following MKS Baratrons for fast, accurate, and gas independent pressure measurement.

If you don't see the gauge you are looking for, please contact us by clicking here or +1 800 245 1656 for additional gauges.

Messgerät		Beschreibung
	MKS® AA01 A a-Baratron® Absolutdruck-Kapazitätsmanometer, ungeheizt	(0,1 to 1000 Torr) Advanced, High Performance Pressure/Vacuum Measurement - Ambient Temperature Operation
	MKS® AA02 A a-Baratron® Absolute Analog Heated Capacitance Manometer*	(1 to 1000 Torr) for General Purpose Vacuum / Pressure Measurement - Temperature Controlled to 45°C, 80°C, or 100°C
	MKS® 626D Baratron® Absolutdruck Kapazitätsmanometer, ungeheizt	(0,1 bis 1000 Torr) Direkte, absolute, analoge Druck-/Vakuummessung, für den Betrieb in Umgebungstemperatur.
	MKS® 627H Baratron® Kapazitätsmanometer, temperaturgeregelt	(0,02 to 1000 Torr) Direct, Absolute, Analog Pressure/Vacuum Measurement - Temperature Controlled to 45°C
	MKS® 628H Baratron® Temperature Regulated Capacitance Manometer**	(0,05 to 1000 Torr) Direct, Absolute, Analog Pressure/Vacuum Measurement - Temperature Controlled to 100°C
	MKS® 722C Baratron® Allzweck-Absolutdruck- Kapazitätsmanometer	(1 bis 1000 Torr) Kompaktes, kostengünstiges Kapazitätsmanometer Analoge Druck-/Vakuummessung, für den Betrieb in Umgebungstemperatur.
	MKS® Granville-Phillips® 902B Absolutdruck Piezo-Vakuummessröhre	Preiswertes, hochgenaues, gasartunabhängiges Messgerät zur Druckmessung bis hinunter zu 0,1 Torr.
	423 IMAG Cold Cathode Gauge	The 423 IMAG is an inverted magnetron cold cathode gauge with a measurement range from 1e-11 to 1e-2 Torr.

*The AA02 A must be +/-15 VDC to be compatible with the 946 Controller.
**If running 2x 628H Baratrons, it is recommended to have 1 warmed-up prior to warming up the second, as to avoid an inrush of current and exceed the 1 amp max.

Compatible MKS® MFCs

The MKS 946 Vacuum System Controller is compatible with, but not limited to, the following MKS MFCs.

If you don't see the MFC that you need, please contact us by clicking here or +1 800 245 1656 for additional MFCs.

Massendurchflussregler		Beschreibung
	MKS® GE50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GM50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC) & -messer	Metall-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GV50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC mit integriertem Absperrventil, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GM100 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Metall-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 100 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GE250 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 250 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche

Konfigurationsoptionen

This chart is to help you review all the available options for the MKS® 946 Vacuum System Controller. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.

Beispiel für den Bestellcode: 946-US-CMFCNA-PC

*NOTE: Cold Cathode with Fast Response Relay (TTL) is generally used to meet the requirements for a fast control vacuum system (such as to close a valve rapidly to protect a UHV system). For further information, please contact gauging@lesker.com.