MKS® AA02 A a-Baratron® Analoges Absolutdruck-Kapazitätsmanometer, geheizt
Universelle Vakuum-/Druckmessung von 0,1 bis 1000 Torr (13,3 Pa bis 133,3 kPa)
Das MKS a-Baratron ist ein fortschrittliches, universell einsetzbares, beheiztes Absolutdruck-Kapazitätsmanometer, das speziell für den Einsatz in Vakuum- und Druckmessanwendungen entwickelt wurde, bei denen hohe Genauigkeit und exzellente Reproduzierbarkeit entscheidend für den Prozesserfolg sind. Diese Kapazitätsmanometer werden intern auf 45 °C, 80 °C oder 100 °C erhitzt. Sie können entweder mit dem Standardsensor oder der patentierten Etch Baffle Sensortechnologie von MKS ausgestattet werden, die Prozessverschmutzung stark reduziert. Sie können sowohl für neue als auch für bestehende Systeme konfiguriert werden. Diese Manometer arbeiten mit ±15 VDC oder +24 VDC Eingangsspannung und einem analogen seriellen Ausgangssignal von 0-10 VDC.
Merkmale
- Volldigitale Architektur und verbessertes Thermomanagement sorgen für bessere Langzeitstabilität, höhere Genauigkeit und höhere Zuverlässigkeit.
- Sensortemperaturen von 45 °C, 80 °C oder 100 °C.
- Vollverschweißter Sensor komplett aus Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierungen für beste Korrosionsbeständigkeit; verwendet kein verbindendes Lot oder Fügematerial.
- Die Nullkalibrierung per Knopfdruck ermöglicht die Justage der Nullposition um bis zu 20 % des gesamten Messbereichs.
- Sowohl als Standard-Version als auch mit der MKS-patentierte Ätzsensor sind beide für den Einsatz in Prozessen mit kondensierbaren Nebenprodukten geeignet.
- CE- und RoHS-konform
- 100 % abwärtskompatibel zu früheren MKS 127, 128, 627, 628, E27 und E28 analogen Baratron-Manometern.
Anwendungen
- Ätzen/Deposition von Halbleitern
- Optische Beschichtungen
- Medizinische Sterilisation
Spezifikationstabelle
| Modell | AA02A |
|---|---|
| Technologie |
Capacitance Manometer
|
|
Full Scale Bereich |
0,10 Torr
0,25 Torr 1,00 Torr 2,00 Torr 10,0 Torr 20,0 Torr 100 Torr 200 Torr 500 Torr 1000 Torr |
| Temperatur |
Betriebs- 50,0 ºC 122 ºF Storage 80,0 ºC 176 ºF Ausheizen ≤ 50,0 ºC ≤ 122 ºF |
|
Temperatur Compensation, ºC |
45
80 100 |
| Vakuumexponierte Materialien |
Incoloy® Nickel Alloys Inconel® Nickel Alloys |
| Steckverbinder |
15 Pin Sub D Male |
|
Typical Genauigkeit |
±0,12 % of reading (<1 Torr)
±0,1 % of reading (≥1 Torr) ±0,2 % of reading (≥1 Torr) |
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Genauigkeit Bereich |
0,05 to 1%
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|
Analog Ausgang |
0 to 10 VDC
|
|
Empfohlene Montageausrichtung |
Any except for upside down
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Input Strom |
±15 VDC (±5 %) @ 0,40 Amps (max) oder +24 VDC ±10 % @ 11 Watts (max)
±15 VDC (±5 %) @ 0,60 Amps (max) oder +24 VDC ±10 % @ 22 Watts (max) |
|
Kommunikations (Standard) |
Analog
|
|
Compliance and Standards |
CE
RoHS |
|
Integrated Elektronik |
Ja
|
Remote-Steuerung
946 Vakuum Systemsteuerung |
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100 |
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
Spezifikationstabelle
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| Netzteil und Anzeige | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
a-Baratron® Kapazitätsmanometer Pin-Belegungen
Sub-D 9-Pin Anschluss
| Stift | Beschreibung |
| 1 | Ausgang Drucksignal |
| 2 | Reserviert |
| 3 | Reserviert |
| 4 | +15 VDC |
| 5 | -15 VDC |
| 6 | Reserviert |
| 7 | Reserviert |
| 8 | Ausgang Drucksignal Rückleitung (Signal Masse) |
| 9 | Strom Rückleitung (Strom Masse) |
Sub-D 15-Pin Anschluss
| Stift | Beschreibung |
| 1 | Reserviert |
| 2 | Ausgang Drucksignal |
| 3 | Reserviert |
| 4 | SP1-NO |
| 5 | Strom Rückleitung (Strom Masse) |
| 6 | -15 VDC |
| 7 | +15 VDC oder +24V |
| 8 | SP1-RTN |
| 9 | SP2-NO |
| 10 | Reserviert |
| 11 | SP2-RTN |
| 12 | Ausgang Drucksignal Rückleitung (Signal Masse) |
| 13 | Reserviert |
| 14 | Reserviert |
| 15 | Gehäuseerdung |
Konfigurationsoptionen
Diese Tabelle soll Ihnen helfen, alle verfügbaren Optionen für das MKS® AA02 A a-Baratron® Absolut Analog beheizter Kapazitansmanometer zu überprüfen. Nachfolgend finden Sie einen interaktiven Produktgenerator, der die verfügbaren Optionen zu einer Bestellnummer zusammenstellt.
Beispiel für den Bestellcode: AA02A.1TCES44B000V00
| Modell | Code | Konfiguration |
| AA02 A Typ | AA02A | AA02A |
| Bereich | Code | Konfiguration |
| 0,1 | .1 | .1 |
| 0,25 | RE | |
| 1 | 01 | |
| 2 | 02 | |
| 10 | 11 | |
| 20 | 21 | |
| 100 | 12 | |
| 200 | 22 | |
| 500 | 52 | |
| 1000 | 13 | |
| Messeinheit | Code | Konfiguration |
| Torr absolut | T | T |
| mbar absolut | M | |
| kPa absolut | K | |
| Anschlüsse | Code | Konfiguration |
| 1/2" (12,7 mm) Rohr (Außendurchmesser) | BAS | BAS |
| 4 VCR weiblich (nur V-Sensor) | CDV | |
| 8 VCR weiblich | CES | |
| 8 VCR männlich | CFS | |
| NW16-KF | GAS | |
| NW25-KF | GCS | |
| NW25-KF, Kurzer Schaft | GCT | |
| 1,33" (33,8 mm) Conflat drehbar | HAS | |
| 1,33" (33,8 mm) Conflat, drehbar, Kurzer Schaft | HAT | |
| 2,75" Conflat, drehbar | HCS | |
| 8 VCO weiblich | DAS | |
| Eingangsspannung | Code | Konfiguration |
| +24 VDC | 3 | 4 |
| ±15 VDC | 4 | |
| +24 VDC (erforderlich bei der Option Abschaltpunkt) | 5 | |
| +15 VDC (erforderlich bei der Option Abschaltpunkt) | 6 | |
| Sensortemperatur | Code | Konfiguration |
| 100 °C | 1 | 4 |
| 80°C | 8 | |
| 45 °C | 4 | |
| Elektrischer Steckverbinder | Code | Konfiguration |
| 15-Pin Sub-D, Gewindesicherung | B | B |
| 15-Pin Sub-D, Schiebeverschluss | P | |
| Sollwertrelais | Code | Konfiguration |
| Keine | 00 | 00 |
| Relais A über 50 %, Relais B über 50 % des Vollausschlag | AA | |
| Relais A über 50 %, Relais B unter 50 % des Vollausschlag | AB | |
| Relais A unter 50 %, Relais B unter 50 % des Vollausschlag | BB | |
| Relais A unter 50 %, Relais B über 50 % des Vollausschlag | BA | |
| Reserviert | Code | Konfiguration |
| Reserviert | 0 | 0 |
| Kalibrierausrichtung (nur Bereiche < 1 Torr) | Code | Konfiguration |
| Standard (alle Bereiche ≥ 1 Torr) | 0 | V |
| Vertikal (Bereiche < nur 1 Torr) | V | |
| Horizontal (Bereiche < nur 1 Torr) | H | |
| Genauigkeit | Code | Konfiguration |
| Standard Genauigkeit | 0 | 0 |
| Reserviert | Code | Konfiguration |
| Reserviert | 0 | 0 |
Bitte wählen Sie Modell, Messbereich, Einheit, Anschlüsse, Eingang, Temperatur, elektrischen Anschluss, Sollwertrelais, Ausrichtung und Genauigkeit, um Ihre Teilenummer zu konfigurieren.
