Representative Image
KJLC® Multimessgerätesteuerung: MGC3000
Übersicht
- 3 Kanalsteuerung für ein Ionisations- und zwei Konvektionsmessgeräte oder ein Ionisations-, ein Konvektions- und ein alternatives Kapazitätsmanometer.
- Verschiedene Druckmessbereiche von 2,00E-11 bis 1.000 Torr (2,7 x 10-11 bis 1333 mbar)
- 3 analoge Ausgänge, 6 Sollwertrelais, RS232/RS485 serielle Kommunikation, Remote Digital I/O
- Kompaktes, platzsparendes, halbes Rack-Design, Tischgerät oder Einbau-/Rack-Instrument
- Hervorragende Produktgarantie von 5 Jahren
Die Serie 3000 Multi-Messgeräte-Steuereinheit der Kurt Lesker Company (KJLC) ist eine sehr vielseitige Vakuumdruckmesssteuerung, die eine Ionisationsmessröhre (IG = ion gauge) und bis zu zwei KJL275 Konvektions-Messröhren (CG = convectron gauge) oder ein IG, ein CG und ein alternatives Messgerät wie ein Kapazitäts-/Membranmanometer (CDG) betreiben kann. Das An-/Ausschalten der Ionisationsmessröhre, die Ausgasfunktion und die Auswahl des Emissionsstroms können über Softkeys an der Frontplatte, externe Eingangssignale (Digital I/O) oder serielle Kommunikation gesteuert werden. Der IG-Sensor kann auch automatisch ein- und ausgeschaltet werden, indem die Messungen von einem der vom Benutzer wählbaren Konvektions- oder alternativen Messgeräte verwendet werden. Der MGC kann so eingestellt werden, dass er automatisch zwischen verschiedenen Emissionsströmen umschaltet (Automatische Bereichswahl). Das Ergebnis sind optimale und stabile Druckmesswerte über den gesamten Messbereich vom Nieder- bis zum Hochvakuum. Ein hocheffizientes Netzteildesign und ein effektives Thermomanagement ermöglichen den Betrieb des MGC ohne störende Luftkühlung wie z. B. Lüfter. Der Zustand aller Sollwertrelais, der Emissionsstrom, das verwendete Filament und Fehlermeldungen für alle Fehlerzustände werden auf dem gut lesbaren OLED-Setup-Bildschirm angezeigt. Der Filamentbetrieb einschließlich Filamentstrom, Emissionsstrom und Ionenstrom kann in Echtzeit im Forschungsmodus überwacht werden.
| MGC Steuerung | Ionisationsmessröhren Kompatibilität |
Konvektionsmessröhren Kompatibilität |
| MGC-3400 | Eine offene UHV EB-Degas-Heißkathode (2,00E-11 bis 1,00E-03 Torr) (2,7 x 10-11 bis 1,3 x 10-3 mbar) |
Bis zu zwei KJL275 Konvektionsmessröhren (1,00E-04 bis 1000 Torr) (1,0 x 10-4 bis 1.333 mbar) |
| MGC-3300 |
Eine offene I2R Heißkathode (4,00E-10 bis 1,00E-03 Torr) (5,3 x 10-10 bis 1,3 x 10-3 mbar) oder Eine Glas I2R Heißkathode (4,00E-10 bis 1,00E-03 Torr) (5,3 x 10-10 bis 1,3 x 10-3 mbar) |
Bis zu zwei KJL275 Konvektionsmessröhren (1,00E-04 bis 1000 Torr) (1,0 x 10-4 bis 1.333 mbar) |
| MGC-3200 | Eine KJLC351 Heißkathode (1,0 x 10-9 bis 5 x 10-2 Torr) (1,3 x 10-9 bis 6,7 x 10-2 mbar) |
Bis zu zwei KJL275 Konvektionsmessröhren (1,00E-04 bis 1000 Torr) (1,0 x 10-4 bis 1.333 mbar) |
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
|
Messbereich: (abhängig vom Vakuummeßgerät) |
MGC-3400: 2,00E-11 bis 1.000 Torr (2,7 x 10-11 bis 1333 mbar) bei Verwendung mit einer offenen UHV EB-degas Heißkathode und KJL275 CG MGC-3300: 4,00E-10 bis 1.000 Torr (5,3 x 10-10 bis 1333 mbar) bei Verwendung mit einer offenen/Glasgefassten I2R Heißkathode und KJL275 CG MGC-3200: 1,00E-09 bis 1.000 Torr (1,3 x 10-9 bis 1333 mbar) bei Verwendung mit der KJLC351 Heißkathode und KJL275 CG |
|
Display - Druckanzeige Programmier- und Einrichtungsbildschirm |
LED: 3 unabhängige Druckanzeigekanäle, 3 digits plus 2 digits im Exponenten pro Kanal OLED: zeigt den Zustand aller Sollwertrelais, IG-Emissionsstrom, Fehlermeldungen für Fehlerzustände an. |
| Maßeinheiten | Torr, mbar, Pa: frei wählbar |
| Funktionalität |
IG: Erlaubt den Betrieb einer offenen, Glas-gefassten oder KJLC351Heißkathoden Ionisationsmessröhre von KJLC; MGC-3400/3300 sind auch in der Lage, andere gleichwertige offene/Glas-fasste-B-A-Heißkathoden anderer Marken zu betreiben. CG: Ermöglicht den Betrieb von bis zu 2 KJL275 Konvektions- oder Granville-Phillips® (GP) Convectron®-Messgeräten. Alternatives Messgerät: Zeigt den Druck von einem alternativen Messgerät wie einem CDG oder anderen KJLC-Modulen an. |
| IG Sensorsteuerung | IG-Sensor ein/aus, Ausgasen ein/aus und Emissionsstrom können über Softkeys an der Frontplatte, Remote-Eingangssignale (digitale E/A) oder serielle Kommunikation gesteuert werden. Der IG-Sensor kann auch automatisch ein- und ausgeschaltet werden, indem die Messungen von einem der vom Benutzer wählbaren Konvektions- oder alternativen Messgeräte verwendet werden. |
|
IG Remote-Eingangssignale (Digitale E/A) |
IG-Sensor ein/aus, Ausgasen ein/aus und Emissionsstrom können auch durch kurzzeitige Erdung eingestellt werden. Auch der 9-polige D-Sub-Remote-Eingang DIGITAL I/O-Stecker liefert Pin-Pin-kompatible Signale mit dem GP 358-Controller sowie kompatible Signale mit dem GP 307. |
| Sollwertrelais/Kontaktleistung | Sechs Stück einpolig, zweistufig (SPDT) / 5 A bei 30 Vdc, 5 A bei 250 Vac, ohmsche Last, vom Benutzer einem der Messgeräte zuordenbar (Hinweis: Die Kontaktbelastung gilt für Geräte, die nach dem 1. November 2015 ausgeliefert werden, siehe Benutzerhandbuch für ältere Geräte). |
| Analogausgang |
Drei analoge Ausgänge, die jedem der Messgeräte zugeordnet werden können: IG Analogausgang: Log linear 0 bis 10 Vdc, 1 V/Dekade, verschiedene Skalierungsoptionen bieten auch Analogausgangskompatibilität mit den Granville-Phillips® Controller-Modellen 307, 350 und 358 oder Log Linear 1,7 V bis 9,3 Vdc (nominal 1,8 bis 8,7 Vdc) 0,8 V/Dekade oder linear 0 bis 10 Vdc (nutzbar über 3 Dekaden, auch kompatibel mit GP 307 Steuerung) Kombinierter IG + CG Analogausgang: Log linear 0,5 bis 7 Vdc, 0,5 V/Dekade CG Analogausgang: Log linear 1 bis 8 Vdc, 1 V/Dekade oder 0 bis 7 Vdc, 1 V/Dekade (auch kompatibel mit GP 307, 350, 358), oder nichtlineare analoge S-Kurve 0,375 bis 5,659 Vdc, oder linear 0 bis 10 Vdc (einsetzbar über 3 Dekaden) |
|
Analogeingang CDG KJLC® Module |
Ein 0-10 Vdc analoges Eingangssignal von einem CDG, wenn es als alternatives Messgerät zu CG2 verwendet wird, oder Analoges Eingangssignal aus einer der folgenden KJLC-Modulreihen: 275i, 300, 354 |
| Serielle Kommunikation | RS485 / RS232 - ASCII-Protokoll (Befehlsprotokoll-Kompatibilität mit GP 307 und 358 Steuerung ist ebenfalls vorhanden) |
| Statusausgabe |
Die Ein/Aus Statusmeldung des IG-Sensors wird auf dem Front-Paneel, durch serielle Kommunikation und durch ein SPDT-Relais (DIGITAL I/O Steuerung) mit 1 A bei 30 angezeigt, Vdc Widerstand, oder 1 A bei 30 Vac nicht induktiv. Der Ein/Aus-Status des Ausgasens oder die IG-Fehlerzustände werden auf dem Frontpaneel, durch serielle Kommunikation und durch einen Open-Collector-Transistorausgang mit einer Nennspannung von 40 V max. angezeigt. VCE, 50 mA IC max. |
| IG Heißkathode Filamentumschaltung | Benutzer kann zwischen Filament 1 oder 2 mit den Softkeys auf der Frontplatte oder wählen oder per RS232/485 serielle Kommunikation |
| IG Heißkathoden-Emissionsstrom |
MGC-3400/3300: 100 µA, 4 mA, 10 mA oder automatische Umschaltung (automatische Bereichswahl) zwischen 100 µA, 4 mA, 10 mA MGC-3200: 100 µA, 4 mA oder automatische Umschaltung (automatische Bereichswahl) zwischen 100 µA und 4 mA |
| IG Ausgasen |
MGC-3400: 40 W, Elektronenbeschuss MGC-3300: 40 W, widerstandsgeheizt (I2R) MGC-3200: 3 W, Elektronenbeschuss |
| IG Überdruckschutz |
MGC-3400/3300: Schaltet das Filament der offenen/Glas-gefassten Heißkathe bei folgenden Standardeinstellungen aus: 1,00E-03 Torr bei 100 µA Emissionsstrom, 5,00E-04 Torr bei 4 mA Emissionsstrom, 1,00E-04 Torr bei 10 mA Emissionsstrom MGC-3200: Schaltet das filament der KJLC351Messröhren bei folgenden Werkseinstellung aus: 5,00E-02 Torr bei 100 µA Emissionsstrom und 1,00E-03 Torr bei 4 mA Emissionsstrom |
| Temperatur | Im Betrieb: 0 bis + 40 °C; Lagerung: -40 bis + 70 °C |
| Luftfeuchtigkeit | 0bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
| Gewicht | 1,7 lb. (0,7 kg) |
| Gehäuse | Aluminium-Extrusion: schwarz pulverbeschichtet |
| Eingangsleistung |
MGC-3400/3300: 20-28 Vdc, 200 W geschützt gegen Falschpolung und transiente Überspannungen MGC-3200: 20-28 Vdc, 36 W geschützt gegen Falschpolung und transiente Überspannungen |
| Steckverbinder |
IG und CG: Konfektionierte Verbindungskabel von KJLC Digital E/A: 9-Pin Sub-D männlich Serielle Kommunikation: RS232; 9-Pin Sub-D weiblich, RS485; 9-Pin Sub-D männlich Analog E/A, Sollwertrelais, Netzanschluss: Steckbare Klemmleiste (inklusive Gegenstecker) |
| Compliance und Standards |
CE-konform: EMV-Richtlinie 2004/108/EG, EN 61326-1, EN 55011 Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG, EN 61010-1 RoHS-konform |
351-Serie Heißkathoden Bayard-Alpert Miniatur-Ionisations-Vakuummessröhre
Übersicht
In Verbindung mit der Multi-Messgerätesteuerung von KJLC bietet das Ionisations-Vakuummessmodul 351 die grundlegende Signalquelle, um ein komplettes Messinstrument aufzubauen.
KJLC ist ständig bemüht, das Design zu verbessern, die Kosten zu reduzieren und die Leistung und Zuverlässigkeit des 351 zu verbessern. Die automatische Nullstellung des Elektrometerschaltkreises stellt sicher, dass die Messwerte nicht durch Temperaturdrift beeinflusst werden, wodurch unnötige und teure Schaltungen vermieden werden, die die Kosten weiter senken.
Alle Vorgänge, einschließlich Filament Ein/Aus, Ausgasen und Änderung des Emissionsstroms, werden vom MGC aus gesteuert.
Der Emissionsstrom kann so eingestellt werden, dass er automatisch zwischen 4 mA und 100 µA umschaltet. Dies führt zu optimalen und stabilen Druckwerten über den Messbereich des 351, 1,0 x 10-9 bis 5 x 10-2 Torr
Die 351-Messröhre besteht aus einer kompakten Ganzmetallausführung mit zwei mit Yttrium beschichteten Iridium- oder optional zwei Wolframfilamenten.
Für allgemeine Vakuumanwendungen werden die doppelten mit Yttria-beschichteten Filamente für den Einsatz mit Luft und Inertgasen wie N2, Argon, etc. angeboten. Für die Verwendung mit Gasen, die mit den Yttriumdioxid beschichteten Filamenten nicht kompatibel sind, steht die Version mit doppelten Wolframfilamenten zur Verfügung.
Die Sensorbaugruppe kann einfach vor Ort ausgetauscht werden.
-
Großer Messbereich
1,0 x 10-9 bis 5 x 10-2 Torr
1,3 x 10-9 bis 6,7 x 10-2 mbar
1,3 x 10-7 bis 6,7 Pa - Ionisationsmessröhre, die speziell für die Verwendung mit dem Multigauge-Controller (MGC) von KJLC entwickelt wurde
- Signifikante Kostenersparnis gegenüber anderen Vakuummesssystemen
- Vollbereichsmessung von 1 x 10-9 Torr bis Atmosphäre bei Verwendung mit dem KJLC Multigauge-Controller (MGC) und einer Konvektionsmessröhre
- Doppel-Heißfilament-Konstruktion; robuste und kompakte Metallausführung
- Eingebautes Elektrometer führt zu erheblichen Kosteneinsparungen bei der Steuerung und Verkabelung
Spezifikationstabelle
| Messbereich |
1,0 x 10-9 bis 5 x 10-2 Torr / 1,3 x 10-9 bis 6,7 x 10-2 mbar / 1,3 x 10-7 bis 6,7 Pa |
| Accuracy – N2 (Typical) | 1,0 x 10-8 to 5 x 10-2 Torr; ±15 % vom Messwert |
| Wiederholgenauigkeit - (typisch) | ±5 % vom Messwert |
| Gasexponierte Materialien |
Doppelte Filamente: Yttrium beschichtetes Iridium oder wahlweise Wolfram Ionenkollektor: Wolfram Grid: Tantal Sonstige: 316/304 SS, Glas, Nickel |
| Sensitivität | Werkseitig voreingestellt. Auch vom Benutzer von 2 bis 99 einstellbar (einzustellen über den KJLC Multigauge-Controller (MGC))) |
| Röntgengrenze | < 5 x 10-10 Torr, < 6,7 x 10-10 mbar, < 6,7 x 10-8 Pa |
| Emissionsstrom | 100 µA, 4 mA oder automatische Umschaltung zwischen 100 µA und 4 mA |
| Ausgasen | 3 W, Elektronenbeschuss |
| Überdruckschutz |
Das Messgerät wird bei der werkseitigen Voreinstellung von 5 x 10-2 Torr automatisch abgeschaltet Der MGC kann auch mit Hilfe einer Konvektionsmessröhre zum automatischen Ein- und Ausschalten des Filaments eingerichtet werden. |
| Filament-Status | Der Ein/Aus-Status des Filamentes wird durch eine LED am 351 angezeigt und zeigt auch Meldungen und verfügbare Optionen in der Benutzeroberfläche am MGC an. |
| Innerer Messgerätraum | 1,0 in3 (16,4 cm3) |
| Temperatur | In Betrieb: 0 bis + 40 °C; Lagerung: -40 bis + 70 °C |
| Ausheiztemperatur | 200 °C (nur Sensor, Elektronik entfernt) |
| Luftfeuchtigkeit | 0bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
| Gewicht | 0,60,27 kg mit NW25 KF Flansch |
| Gehäuse (Elektronik) | extrudiertes Aluminium |
| Montageausrichtung | beliebig |
| Sollwert Relais | Relais über MGC verfügbar |
| Eingangssignal | Die 351-Messröhre kann komplett über das MGC aus gesteuert werden. |
| Filament-Auswahl | Benutzer kann zwischen Filament 1 und 2 wählen: vom MGC gesendetes Befehlssignal. |
| Eingangsleistung | Über MGC |
| Steckverbinder/Verkabelung | KJLC-Kabel/Stecker-Baugruppe zum Anschluss an MGC |
| RF/EMI Schutz | CE-konform |
| Umweltfreundlich | RoHS-konform |
275-Serie Messröhre
Diese Messröhren und Regler sind ideal für neue Anwendungen oder als preiswerter und direkter Ersatz für die Convectron®-Messgeräte der Marke Granville-Phillips®.
Merkmale:
- Großer Messbereich: 10-4 Torr bis 1.000 Torr (10-4 bis 1.333 mbar)
- Gleiche Leistung wie bei Messröhren der Konkurrenz.
- Weniger anfällig für Schäden durch mechanische Stöße oder Vibrationen als die Röhren der Mitbewerber.
- Weniger Ausgasung und schnelleres Ansprechen auf Druckänderungen als die Röhren der Mitbewerber.
- Robustes Design widersteht starker Beanspruchung und rauen Umgebungsbedingungen.
- Erhebliche Einsparungen: keine Änderungen an Ihrem System, Sie verwenden die Steuerungen oder Kabel Ihrer Mitbewerber.
- Keine Änderungen an Ihrem Prozess notwendig - ein einziges Vakuummessgerät kann das Abpumpen und Entlüften Ihres Vakuumsystems überwachen und hilft dabei Ihren Prozess in Gang zu halten, selbst wenn es sich nicht um einen Laborprozess handelt.
- CE-gekennzeichnet, RoHS-konform
Spezifikationstabelle
| Messverfahren | Pirani konvektionsoptimiert |
| Messbereich | 1 x 10-4 bis 1.000 Torr (1,3 x 10-4 bis 1.333 mbar) |
| Temperatur (im Betrieb) | 0-50° C |
| Temperatur (Lagerung) | -40-70° C |
| Temperatur (Ausheizen) | 150 °C maximal (nur Messgerät, nicht in Betrieb, Elektronik und Kabel entfernt). |
| Vakuumexponierte Materialien | Vergoldetes Wolfram, 304 und 316 Edelstahl, Glas, Nickel, PTFE |
| Genauigkeit (typisch) |
1,0 x 10-4 bis 1,0 x 10-3 Torr; 0,1 mTorr Auflösung 1,0 x 10-3 bis 400 Torr; ± 10 % vom Messwert 400 bis 1.000 Torr; ± 2,5 % vom Messwert |
| Wiederholgenauigkeit (typisch) | ± 2 % vom Messwert |
| Montage/Installationsausrichtung | Horizontal empfohlen |
| Internes Volumen | 26 cm3 (1,589 in3) |
| Auflösung | 1 x 10-4 |
Heißkathoden-Ionisationsmessröhren
Übersicht
Bayard-Alpert Ionisationsmessröhren haben ein relativ lineares Ansprechverhalten von 1 x 10-4 Torr bis 1 x 10-9 Torr, mit einer Empfindlichkeit von 5 bis 20 Torr-1. B-A-Messröhren sind mit einem oder zwei Filamenten (der zweite als Ersatz) und in zwei Filamentmaterialien erhältlich. Thoriumbeschichtetes Iridium wird für sauerstoffreiche Anwendungen und zum Schutz vor Durchbrennen bei versehentlichem Belüften eingesetzt und Wolfram für niedrigere Kosten und bei Anwendungen mit halogenhaltigen Restgasen.
Bestelltabelle
X CLOSE
| Beschreibung | Manuell |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Manuell |
|
Teilenummer | Preis | Auf Lager | Zum Warenkorb hinzufügen | Zubehör | ||||
| Drei-Kanal-Druckanzeige Vakuummessgeräte-Steuerung |
 |
|
Auf Anfrage |
|
|
||||||
| Drei-Kanal-Druckanzeige Vakuummessgeräte-Steuerung |
|
|
Auf Anfrage |
|
|
||||||
| Drei-Kanal-Druckanzeige Vakuummessgeräte-Steuerung |
|
|
Auf Anfrage |
|
|
||||||
CloseX
Zubehörtabelle
X CLOSE
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Beschreibung | Zubehörtyp | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
| Rack Mount Adapter panel for installation of one MGC as a left-mount or right-mount in a 2U, 19 inch wide rack |
|
|
||||
| Rack Mount Adapter panel for installation of two MGC controllers side-by-side in a 2U, 19 inch wide rack |
|
|
||||
| KJLC 351 to MGC, 10ft. (3m) |
|
|
||||
| KJLC 351 to MGC, 25ft. (8m) |
|
|
||||
| KJLC 351 to MGC, 50ft. (15m) |
|
|
||||
| KJLC 275 to Controller, 10ft. (3m) |
|
|
||||
| KJLC 275 to Controller, 25ft. (8m) |
|
|
||||
| KJLC 275 to Controller, 50ft. (15m) |
|
|
||||
| Glass Ion Gauge, DN35CF-DN40CF (2,75" CF), Single Iridium Filament |
|
|
||||
| Glass Ion Gauge, DN35CF-DN40CF (2,75" CF), Dual Tungsten Filaments |
|
|
||||
| Nude UHV Ion Gauge, DN35CF-DN40CF (2,75" CF), Dual Iridium Filaments |
|
|
||||
| 1/4 Hard OFHC Gasket, DN16CF |
|
|
||||
| 1/4 Hard OHFC Gasket, DN40CF |
|
|
||||
| Bolt & Nut Set for DN35CF-N40CF, 25 per package |
|
|
||||
| KJLC 275 Series Gauge Tube, DN16 ISO-KF - other flange types available |
|
|
||||
| KJLC 275 Series Gauge Tube, DN35CF-DN40CF (2,75" CF) - other flange types available |
|
|
||||
| KJLC 351 Ion Gauge, DN25 ISO-KF |
|
|
||||
| KJLC 351 Ion Gauge, DN35CF-DN40CF (2,75" CF) |
|
|
||||
| Power Supply for MGC-3200 - 110 AC cord included |
|
|
||||
| Power Supply for MGC-3200 - Universal, no AC power cord included |
|
|
||||
| Power Supply for MGC-3300 and 3400 -North American AC Plug included |
|
|
||||
| Power Supply for MGC-3300 and 3400 -Unlisted AC Plug Required |
|
|
||||
| Aluminum Clamp, DN16 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Viton® Centering Ring for DN16 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Aluminum Clamp, DN25 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Viton® Centering Ring for DN25 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Aluminum Clamp, DN40 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Viton® Centering Ring for DN40 ISO-KF Flange |
|
|
||||
| Bolt & Nut Set for DN16CF, 25 per package |
|
|
||||
| Glass Ion Gauge to MGC, 10ft. (3m) |
|
|
||||
| Glass Ion Gauge to MGC, 25ft. (8m) |
|
|
||||
| Glass Ion Gauge to MGC, 50ft. (15m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 10ft. (3m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 25ft. (8m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 50ft. (15m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 200C Bakeable, 10ft. (3m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 200C Bakeable, 25ft. (8m) |
|
|
||||
| Nude Ion Gauge to MGC, 200C Bakeable, 50ft. (15m) |
|
|
CloseX
X CLOSE
