PREBUILT LAB & DEMO EQUIPMENT
The following equipment is available for immediate delivery.
Beschreibung
Brandneues, nie benutztes Sputtersystem der PRO-Reihe mit geschlossenem Gehäuse für den sofortigen Verkauf. Ein Jahr volle Herstellergarantie.
Enthält:
- Pfeiffer Turbopumpe, 685 L/s, drehzahlgeregelt; mit nXDS 5 Edwards Scroll-Pumpe und 3-Stufen-Schieberventil zur upstream-Druckregelung.
- Weitbereichs-Vakuumdruckmessröhre misst von Atmosphäre bis 10-9 Torr (Ionisationsmessröhre und Pirani).
Netzanschluss: 208/220VAC, 50/60Hz, drei-phasig. - Vier 3" Sputterquellen im Lieferumfang enthalten mit pneumatischen Shuttern und flexiblem Sputterkopf-Design.
- Ein KJLC 600 W RF-Netzteil mit automatischem Anpassungsnetzwerk. Ein KJLC 300 W RF-Netzteil mit automatischem Anpassungsnetzwerk.
- Ein KJLC® 1 kW DC-Netzteil.
- Von oben montierte Substrathalteplatte für Substratgröße bis 150 mm, mit Primärrotation bis zu 20 U/min, 800 ℃ Substratheizung, O2-kompatibel, 100 W RF-Bias und pneumatisch schwenkbarem Shutter.
- Drei MKS 1179 Massendurchflussregler und ein MKS 626 A Baratron Kapazitätsmanometer.
- Vollständig rezeptgesteuerte Computersteuerung mit Funktionalität zur Datenprotokollierung.
- Ein Jahr Garantie.
- Zwei Tage vor-Ort-Installation und Schulung durch einen KJLC-Techniker.
- Lieferung: Kontaktieren Sie KJLC®
Beschreibung
Brandneues, nie benutztes LAB Line Elektronenstrahlverdampfungssystem mit offener Rahmenkonstruktion zum sofortigen Verkauf. Ein Jahr volle Herstellergarantie.
Enthält:
- Brooks CTI-8F Kryopumpe, 1500 L/sec; mit trockenlaufender Pfeiffer ACP15 Wälzkolbenpumpe. 3-Stufen-Schieberventil zur upstream-Druckregelung.
- Weitbereichs-Vakuumdruckmessröhre misst von Atmosphäre bis 10-9 Torr (Ionisationsmessröhre und Pirani).
Netzanschluss: 208/220VAC, 50/60Hz, drei-phasig. - Elektronenstrahlquelle, 8 Taschen à 12cc. Beinhaltet ein 5 kW Netzteil mit programmierbarem Sweep und automatischer Tiegelindexierung; mit Hochspannungsentladungshaken; mit allen benötigten elektrischen und Wasserdurchführungen und Abschirmungen sowie mit pneumatisch betätigtem Shutter.
- Load Lock (Schleusenkammer) für einzelnes Substrat bis 150 mm
- Von oben montierte Substrathalteplatte für Substratgröße bis 150 mm, mit Primärrotation bis zu 20 U/min, pneumatisch schwenkbarer Shutter und 350 ℃ Substratheizung über Quarzlampen.
- Schichtdickensteuerung, für bis zu fünf Kristallsensoren
- Vollständig rezeptgesteuerte Computersteuerung mit Funktionalität zur Datenprotokollierung.
- Ein Jahr Garantie.
- Zwei Tage vor-Ort-Installation und Schulung durch einen KJLC-Techniker.
- Lieferung: Kontaktieren Sie KJLC®
Beschreibung
Advanced Energy - Gerät aus Überbestand
Enthält:
EJMDX1K-110
1 kW DC Netzteil, 115V Eingang, 1000V/1 A Ausgang, Typ N
Advanced Energy Modell 3152105-009
Hinweis - Nicht CE- oder CSA-gekennzeichnet
Beschreibung
Advanced Energy - Gerät aus Überbestand
Enthält:
EJMDX1K-220
1 kW DC Netzteil, 220V Eingang, 1000V/1 A Ausgang, Typ N
Advanced Energy Modell 3152105-015
Hinweis - Nicht CE- oder CSA-gekennzeichnet
Beschreibung
Advanced Energy - Gerät aus Überbestand
Enthält:
EJMDX500-110
500 W DC Netzteil, 115V Eingang, 500V/1 A Ausgang, Typ N
Advanced Energy Modell 3152261-004
Hinweis - Nicht CE- oder CSA-gekennzeichnet
Beschreibung
Advanced Energy - Gerät aus Überbestand
Enthält:
EJMDX500-220HIZ-N
500 W DC-Netzteil, 220V Eingang, Typ N Steckverbinder, Hi-Z Einheit
CE gekennzeichnet.
Beschreibung
Advanced Energy - Gerät aus Überbestand
Enthält:
EJPINN10KPLS
10 kW gepulste Gleichspannung Netzteil, RS-232, 5-350kHz
Advanced Energy Modell 3152533-102
CE & CSA/NRTL