Systemservice und Support

Dienstleistungen und Formulare

Betrieb der Anlage

Der Geschäftsbereich Prozessapparate (Process Equipment Division (PED)) setzt sich aus engagierten und erfahrenen Mitarbeitern zusammen, die immer um einen erstklassigen Kundendienst bemüht sind. Die Ziele von KJLC sind die Maximierung der Verfügbarkeit (Uptime) Ihres Systems und die Vereinfachung Ihrer Finanzplanung durch feste, angemessene Preise für Garantieverlängerungen, Garantie-Upgrades, fortlaufende Wartungsverträge, Dienstleistungsverträge und Standard-Reparaturgebühren. Dies wird zusätzlich zu unserem Standard-Service und Support angeboten.

KJLC bietet seinen Kunden auch Standard- und kundenspezifische Schulungen an. Diese Angebote reichen von Grundlagen der Vakuumwissenschaft bis hin zu speziellen Depositionsverfahren sowie Systemsoftware-Rezepturen für Anfänger und erfahrene Werkzeuganwender. Unsere Büros in den USA, dem Vereinigten Königreich und China verfügen über moderne Vakuumanlagen, die für praktische Schulungen genutzt werden können. Dies kann an einem unserer Standorte, bei Ihnen vor Ort oder in einigen Fällen auch aus der Ferne erfolgen. Wenden Sie sich an den zuständigen Kundendienst des Geschäftsbereichs Prozessapparate (PED), um weitere Informationen oder ein formelles Angebot für Ihren Schulungsbedarf zu erhalten. Standardinformationen und Preise können in unseren Standardangeboten und Broschüren zur fortlaufenden Wartung nachgelesen werden.

Durch unsere kontinuierlichen weltweiten Bemühungen, unsere Produkte zu verbessern, bietet KJLC Aufrüstungspakete für Ihre bestehenden Anlagen an, um die Leistung zu optimieren und zu verbessern. Diese Pakete sind auf Ihre spezifische Werkzeugkonfiguration zugeschnitten und können auf Anfrage berechnet und erstellt werden. Wenn ein fortlaufender Wartungsvertrag, eine verlängerte Garantie oder eine erweiterte Garantie erworben wird, können diese Upgrades zu einem reduzierten Preis angeboten werden.

• Service & Support - Standardangebote
• Service & Support - fortlaufende Wartung
• Service & Support - Erweiterte Garantie und zusätzliche Serviceoptionen

Einige Komponenten können auch über ein Austausch- oder Leihprogramm verfügen, um Ihr Depositionssystem während der Wartung Ihrer Erstausrüstung in Betrieb zu halten. Einer unserer Servicekoordinatoren kann Ihnen mit eventuell vorhandenen Komponenten und auch mit dem Ausfüllen des Darlehensvertragsformulars helfen.

Unsere Gruppe Vakuumservice führt Pumpenreparaturen für eine Vielzahl von Pumpenherstellern durch. Weitere Informationen finden Sie unter unserem Geschäftsbereich Vakuum Mart™.

Wenn Sie ein Produkt an KJLC zurücksenden, muss eine RA-Nummer von KJLC vergeben werden und ein Rücksendeformular muss an der Außenseite des Pakets angebracht werden.

Um einige Dienstleistungen so effizient wie möglich abzuwickeln und die Sicherheit unserer Mitarbeiter zu gewährleisten, sind für einige Prozesse bestimmte Formen und Verfahren erforderlich. Die meisten Formulare sind zu Ihrer Erleichterung im Adobe PDF-Format verfügbar.

Montage & Test

Kurt J. Lesker bietet einen kombinierten sauberen Montagebereich von über 5.000 m², um die richtige Umgebung für die Montage, Prüfung und Wartung von PED-Vakuumsystemen, Depositionswerkzeugen, Unterbaugruppen und Komponenten zu erleichtern. Unsere umweltgeregelten Überdruckräume tragen dazu bei, Produktkontaminationen zu vermeiden, die sich negativ auf die Vakuumleistung auswirken können. Diese begrenzten Zugangsbereiche, kombiniert mit schlanken Fertigungsprozessen und hochqualifiziertem Personal, ermöglichen es uns, Qualitätsprodukte zu produzieren und eine Vielzahl von vakuumwissenschaftlichen Dienstleistungen anzubieten.

Orbitalschweißen

Sputterquellen-Plasmasystem

Komponenten, Unterbaugruppen und Systeme werden nach den ISO-Normen sowie den Kundenspezifikationen von Kurt J. Lesker Company^® montiert und geprüft. In unseren sauberen Montagebereichen wird Schutzkleidung getragen, um Verunreinigungen zu vermeiden.

Helium-Lecksucher und Restgasanalysatoren (RGAs) werden eingesetzt, um die richtige Leckrate und Vakuumqualität zu gewährleisten. Vakuum-Backfähigkeit bis zu 250 °C kann ebenfalls genutzt werden. Eigene Analysegeräte ermöglichen schnelle und genaue Ergebnisse in Bezug auf Dicke, Homogenität und elektrische Filmeigenschaften. Die Analysegeräte von KJLC umfassen: Alpha Step 200 Profilometer (Schichtdickenmessung), eine 4-Punkt-Sonde (Schichtwiderstandsmessung) und ein XLS-100 Ellipsometer (sowohl Schichtdicken- als auch optische Konstantenmessung).

Um einen schnellen Turnaround und einen reibungslosen Betrieb unserer Systeme zu gewährleisten, sind unsere Anlagen mit Versorgungseinrichtungen ausgestattet, die mehrere Systeme gleichzeitig bedienen können. Da unsere Systeme weltweit ausgeliefert werden, verwenden wir U.S. Standard Utility-Anforderungen, aber auch Spannungen von 380 und 480 VAC. Unsere US-Anlage verfügt auch über einen 50 Tonnen (12.000 BTU/t), 150 gpm zentralen Wasserkühler.

Darüber hinaus bieten wir F&E-Labors mit Standardwerkzeugen und Analysegeräten für die Produktentwicklung und die Unterstützung von Kundenprozessen an. Unsere Fähigkeiten im Anwendungslabor haben sich im Laufe der Zeit mit der Entwicklung und Erprobung neuer Produkte und Techniken entwickelt und entwickeln sich ständig weiter, umfassen jedoch in der Regel Standard-PVD-Sputterfähigkeit, Elektronenstrahl- und thermische Verdampfung sowie dynamische ALD-Prozesse. Sehen Sie unseren Abschnitt Depositionsverfahren.

TORUS Montage

Kurt J. Lesker verfügt über einen separaten, sauberen Montagebereich für die Montage, Prüfung und Wartung unserer TORUS^® Sputterkathoden und Ionenquellen. Inspektion, Umbau, Reinigung, Magnetfeldkartierung und Feldstärkeanalyse können in einer sicheren, sauberen Umgebung durchgeführt werden.

Weitere Dienstleistungen umfassen den Umbau und die Reinigung von Standardkomponenten, wie z. B. Zahnstangenantriebe (LRP), Linearschieber und magnetisch gekoppelte Drehantriebe. Auch die Wartung und Fehlersuche an elektrischen Komponenten wie KJLC-Stromversorgungen, Quellenschaltern und Filtern sowie Messgeräten wird angeboten.

Zur Unterstützung unserer Montage-, Test- und Serviceabteilungen verfügen wir über ein komplettes Team von erfahrenen Mechanikern in unserer Fertigung vor Ort. Dieser Bereich umfasst manuelle Mühlen, Drehmaschinen, Schneidemaschinen, Blechbearbeitungsmaschinen, MIG/TIG-Schweißen, Plasmaschneiden und Perlstrahlen. Diese Fähigkeit vor Ort ermöglicht es unseren Produktionsabteilungen, schnell Änderungen oder Korrekturen vorzunehmen, ohne unseren Produktionsplan oder unsere Qualität zu gefährden.

Das Orbitalschweißen von elektropolierten Edelstahl-Prozessgasleitungen für alle unsere Prozessanlagen reduziert die Möglichkeit der Kontamination durch eingeschlossene Volumina erheblich. Dadurch wird auch die mögliche Verschmutzung durch Mikrorisse, die durch scharfe Biegungen in elektropolierten Rohren entstehen, eliminiert.

Eigene Reinigungs- und Verpackungsanlagen ermöglichen KJLC, Vakuumkomponenten vor dem Versand an den Kunden oder der Montage zu einem Vakuumbeschichtungssystem fachgerecht vorzubereiten.