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KJLC DC Serie – DC Sputtern & DC Bias

Diese bewährten DC-Netzteile eignen sich ideal für Beschichtungsprozesse, bei denen Zuverlässigkeit und Leistung entscheidend sind.

Die Netzteile der KJLC DC-Serie haben eine Leistung von 1 kW bis 120 kW. Sie sind in erster Linie für das DC-Magnetron-Sputtern und als Quelle für ein DC-Bias gedacht. Sie sind kompakt und haben eine Effizienz von über 90 %. Als Sicherheitsmerkmal haben sie extrem niedrige gespeicherte Energie am Ausgang anliegen. Spezielle integrierte Schaltungen ermöglichen die Vermeidung von Lichtbogenentladungen für lichtbogenempfindliche Anwendungen und die Lichtbogensteuerung für Anwendungen mit Lichtbogenunterdrückung. Die Bedienelemente auf der Frontplatte schalten die Regelung zwischen konstanter Leistung, Stromstärke oder Spannung um, während die Leistung auf den Sollwert hochgefahren werden kann.

PD500X Serie

Die KJLC PD500X Serie bietet als Variante für niedrige Ausgangsleistungen für 500W,1000 W oder 1500 W konfiguriert werden. Seine 1 U Rackhöhe ist ideal für begrenzten Einbauplatz.

Merkmale

  • Überlegene Lichtbogendetektion & -suppression - < 100 ns (.1 μ s)
  • Versionen mit 500 Watt, 1000 Watt und 1500 Watt Ausgangsleistung
  • Einstellbare Verzögerung und Auszeit der Lichtbogenerkennung vor dem Neustart
  • Regelmodi für Spannung, Strom und Leistung
  • Einstellbare Ramp-Leistung
  • Einstellbarer Durchlauftimer
  • Gespeicherte Target-Parameter für bis zu 7 separate Targets
  • kWh Zähler & Zeitlimit
  • RS-232 & Analoge Kommunikationsschnittstellen
  • Wide 0-(-)1000 Volt Range - Full Rated
  • Strom kann unter fast allen Bedingungen angelegt werden
  • Stabiler Betrieb bis zu 20 Watt bei nicht-reaktiven Prozessen
  • Geeignet für den Einsatz als Netzteil für Substrat-Bias
  • Es müssen keine Transformer-Tap-Änderungen über den gesamten Regelbereich hinweg ausgeführt werden

Vorteile

  • Anpassbar an viele Prozesse und Anwendungen
  • Deposition hauchdünner, homogener Schichten
  • Optimieren Sie die Prozessparameter für hohe Produktivität und hohe Erträge
  • Kompaktes Design - 1 U Rackhöhe

Spezifikationstabelle

Steuerung/FeedbackLCD Front Panel
RS-232
RS-485
25-Pin Analog
AusgangssteuerungP - Leistungsregelung
U - Spannungsregelung*
I- Stromstärkenregelung
*Bei angeschaltetem Parallelbetrieb ist die Spannungsregelung nicht aktiv
Ladeimpedanz5,3 Ohm - 21,2 Ohm (1:4) volle Stromstärke
Betriebszyklus100%
Lichtbogendetektionszeit<100ns

Bemaßte Zeichnungen

KJLC® Research
Vorteilspackungen
Das KJLC RAP-Programm bietet die Möglichkeit zur Zusammenstellung eines Magnetrons und eines Netzgerätes, passend für Ihre spezielle Anwendung. Klicken Sie hier, um Ihr eigenes Paket zusammenzustellen und bis zu 30 % zu sparen.
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Bestelltabelle

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Beschreibung Modell Eingangsspannung Maximale Eingangsstromstärke Ausgang Recommended Sputter Source Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
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500WATT DC NETZGERÄT,0-500V,0-2A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE 500 Watt DC Netzgerät 100-250V Eingang 0-2 A 0 bis 500V @ 0 bis 2 A TORUS 1, TORUS 2
PD500X1
Auf Anfrage
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1 KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-3A,HN AUS,85-275V EINGABE,CE 1000 Watt DC Netzgerät 100-250V Eingang 0-3 A 0 bis 1000V @ 0 bis 3 A TORUS 2, TORUS 3
PD500X2
Auf Anfrage
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1,5KW DC NETZGERÄT,0-1000V,0-4A,HN AUS,100-240V EINGABE,CE,ETL 1500 Watt DC Netzgerät 100-250V Eingang 0-4 A 0 bis 1000V @ 0 bis 4 A TORUS 2, TORUS 3, TORUS 4
PD500X3
Auf Anfrage
Auf Lager

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Zubehörtabelle

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Beschreibung Reference Typ Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Beschreibung Reference Typ Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“ Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang Verbindungskabel
EJCBL3HN
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“ Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang Verbindungskabel
EJCBL3NN
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang Verbindungskabel
EJCBL3NP
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“ Typ N Stecker zu UHF Stecker, RG213, 3ft lang Verbindungskabel
EJCBL3NU
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“ Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 6ft lang Verbindungskabel
EJCBL6HN
Auf Anfrage
Auf Lager
KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“ Typ N Stecker zu Typ N Stecker, 6ft lang Verbindungskabel
EJCBL6NN
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE Typ N-Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 6ft lang Verbindungskabel
EJCBL6NP
Auf Anfrage
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KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“ Typ N Stecker zu UHF-Stecker, RG213, 6ft lang Verbindungskabel
EJCBL6NU
Auf Anfrage
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