KJLC DC Serie – DC Sputtern & DC Bias
Diese bewährten DC-Netzteile eignen sich ideal für Beschichtungsprozesse, bei denen Zuverlässigkeit und Leistung entscheidend sind.
Die Netzteile der KJLC DC-Serie haben eine Leistung von 1 kW bis 120 kW. Sie sind in erster Linie für das DC-Magnetron-Sputtern und als Quelle für ein DC-Bias gedacht. Sie sind kompakt und haben eine Effizienz von über 90 %. Als Sicherheitsmerkmal haben sie extrem niedrige gespeicherte Energie am Ausgang anliegen. Spezielle integrierte Schaltungen ermöglichen die Vermeidung von Lichtbogenentladungen für lichtbogenempfindliche Anwendungen und die Lichtbogensteuerung für Anwendungen mit Lichtbogenunterdrückung. Die Bedienelemente auf der Frontplatte schalten die Regelung zwischen konstanter Leistung, Stromstärke oder Spannung um, während die Leistung auf den Sollwert hochgefahren werden kann.
PD500X Serie
Die KJLC PD500X Serie bietet als Variante für niedrige Ausgangsleistungen für 500W,1000 W oder 1500 W konfiguriert werden. Seine 1 U Rackhöhe ist ideal für begrenzten Einbauplatz.
Merkmale
- Überlegene Lichtbogendetektion & -suppression - < 100 ns (.1 μ s)
- Versionen mit 500 Watt, 1000 Watt und 1500 Watt Ausgangsleistung
- Einstellbare Verzögerung und Auszeit der Lichtbogenerkennung vor dem Neustart
- Regelmodi für Spannung, Strom und Leistung
- Einstellbare Ramp-Leistung
- Einstellbarer Durchlauftimer
- Gespeicherte Target-Parameter für bis zu 7 separate Targets
- kWh Zähler & Zeitlimit
- RS-232 & Analoge Kommunikationsschnittstellen
- Wide 0-(-)1000 Volt Range - Full Rated
- Strom kann unter fast allen Bedingungen angelegt werden
- Stabiler Betrieb bis zu 20 Watt bei nicht-reaktiven Prozessen
- Geeignet für den Einsatz als Netzteil für Substrat-Bias
- Es müssen keine Transformer-Tap-Änderungen über den gesamten Regelbereich hinweg ausgeführt werden
Vorteile
- Anpassbar an viele Prozesse und Anwendungen
- Deposition hauchdünner, homogener Schichten
- Optimieren Sie die Prozessparameter für hohe Produktivität und hohe Erträge
- Kompaktes Design - 1 U Rackhöhe
Spezifikationstabelle
| Steuerung/Feedback | LCD Front Panel RS-232 RS-485 25-Pin Analog |
| Ausgangssteuerung | P - Leistungsregelung U - Spannungsregelung* I- Stromstärkenregelung *Bei angeschaltetem Parallelbetrieb ist die Spannungsregelung nicht aktiv |
| Ladeimpedanz | 5,3 Ohm - 21,2 Ohm (1:4) volle Stromstärke |
| Betriebszyklus | 100% |
| Lichtbogendetektionszeit | <100ns |
Bemaßte Zeichnungen
Bestelltabelle
| Beschreibung | Modell | Eingangsspannung | Maximale Eingangsstromstärke | Ausgang | Recommended Sputter Source | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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| Beschreibung | Modell | Eingangsspannung | Maximale Eingangsstromstärke | Ausgang | Recommended Sputter Source | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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500WATT DC NETZGERÄT, |
500 Watt DC Netzgerät | 100-250V Eingang | 0-2 A | 0 bis 500V @ 0 bis 2 A | TORUS 1, TORUS 2 |
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1 KW DC NETZGERÄT, |
1000 Watt DC Netzgerät | 100-250V Eingang | 0-3 A | 0 bis 1000V @ 0 bis 3 A | TORUS 2, TORUS 3 |
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1,5KW DC NETZGERÄT, |
1500 Watt DC Netzgerät | 100-250V Eingang | 0-4 A | 0 bis 1000V @ 0 bis 4 A | TORUS 2, TORUS 3, TORUS 4 |
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Zubehörtabelle
| Beschreibung | Reference | Typ | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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| Beschreibung | Reference | Typ | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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KABEL, |
HN-Stecker zu Typ-N-Stecker, RG213, 3ft LG (lang) | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Typ-N-Stecker zu Typ-N-Stecker, RG213, 3ft LG (lang) | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Typ-N-Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft LG (lang) | Verbindungskabel |
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KABEL, |
n-Stecker an UHF-Stecker, RG213, 3ft LG (lang) | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Type HN plug to Type N Plug, RG213, 6ft LG | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Type N plug to Type N Plug, 6ft LG | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Type N Plug to Pigtail (1/4" Ring Lug Center Connector And Flying Ground Wire), RG213, 6ft LG | Verbindungskabel |
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KABEL, |
Type N Plug to UHF Plug, RG213, 6ft LG | Verbindungskabel |
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