Repräsentative Abbildung

MKS® 1179C Massendurchflussregler

General Purpose, Fast Warm-up Time, Elastomer-sealed Mass Flow Controller for Flow Rates up to 20 slm.

The MKS 1179C is a general purpose mass flow controller designed to measure and control the flow of gases in a wide variety of applications. The 1179C Mass-Flo® controllers are available with Full Scale ranges from 10 sccm to 20 slm, providing fast, repeatable flow control to as low as 0,2 sccm. It can also be used as a pressure controller when connected to a suitable pressure transducer.

The 1179C is a direct form-fit-function replacement for the most common MFC's on the market today. The standard 3-inch footprint enables the 1179C to drop directly into the same space without modifying existing gas lines. Electrical connectors are the same Type "D" connectors, with the same pin-outs, signals, and functions as their industry counterparts, so no cable or connector rewiring is necessary. The 1179C is compatible with MFC power supply and display electronics from MKS or other manufacturers.

Eigenschaften und Vorteile

Patented sensor design provides exceptional zero stability
Full scale flow ranges from 10 sccm to 20 slm for precise and repeatable flow measurement and control
Percent of full scale accuracy for analog configurations
Fast warm-up time minimizes expensive production downtime
Compatible with earlier MKS MFC and power supply/readout modules
Rigorous design and testing includes MTBF analysis and STRIFE testing to ensure long-term performance
Surface finish of wetted stainless surfaces, cleanroom processing, and minimal use of elastomer seals enable use in demanding clean processes
CE Mark and RoHS compliant - meets requirements for European Union

Anwendungen

1179C is a general purpose MFC suited for a wide variety of applications requiring flow control capability from 10 sccm to 20 slm Full Scale for precise and repeatable flow measurement and control.

Bemaßte Zeichnungen

Spezifikationstabelle

Modell	1179C
Flussregelbereiche (Voll-Skala)	10 - 20000 sccm (N₂ Äquivalent) (kontaktieren Sie uns für Information zu verfügbaren Flussbereichen)
Maximaler Eingangsdruck	150 psig (kann die Anforderungen an die Druckdifferenz über den MFC nicht überschreiten)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial	10 bis 5000 sccm; 10 bis 40 psid 10000 bis 30000 sccm; 15 bis 40 psid
Steuerbereich	2% to 100% of Full Scale
Typische Genauigkeit	±1% of Full Scale (including non-linearity, hysteresis, and non-repeatability referenced to 760 mmHg and 0°C)
Wiederholgenauigkeit	± 0,2 % of Full Scale
Auflösung	0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers	< 0, 8 seconds (to within 2% of set point)
Aufwärmzeit	<2 minutes (to within 0.2% of Full Scale of steady state performance)
Betriebstemperaturbereich	10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit	0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur	-20°C to 50° C
Leckintegrität - Extern	<1 x 10^-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil	<1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere (To assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is recommended)
Elektrisch-analoger E/A erforderliche Eingangsleistung	Max. current at start-up (first 2 sec): ±15 VDC (±5%) @ 200 mA Typical current at steady state: ±15 VDC (±5%) @ 100 mA
Elektrisch-analoger E/A Fluss-Signal E/A - Spannung	0 to 5 VDC into >10K Ω

X SCHLIESSEN

MKS 1179C Mass Flow Controller Pin-outs

9-pin Type "D" Connector

Stift	Beschreibung
1	Valve Open/Close
2	Flow Signal Output
3	+15 VDC
4	Netzteil Masse
5	-15 VDC
6	Set Point Input
7	Signal Masse
8	Signal Masse
9	MKS Test Point

Sub-D 15-Pin

Stift	Beschreibung
1	MKS Test Point
2	Flow Signal Output
3	Valve Close (TTL low)
4	Valve Open (TTL low)
5	Power Supply Common
6	-15 VDC
7	+15 VDC
8	Set Point Input
9	nicht belegt
10	Optional Input
11	Signal Masse
12	Signal Masse
13 bis 14	nicht belegt
15	Gehäuseerdung

Konfigurationsoptionen

Beispiel für den Bestellcode: 1179C01311CR1BV

Serie	Code	Konfiguration
Typ MFC Massendurchflussregler 1179C	1179C	1179C
Gas (Nach Semi-Standard E52-0703)	Code	Konfiguration
013 = Stickstoff = N₂	013	013
Flussbereich Voll-Skala*	Code	Konfiguration
10 sccm (0,01 slm)	11C	11C
20 sccm (0,02 slm)	21C
50 sccm (0,05 slm)	51C
100 sccm (0,1 slm)	12C
200 sccm (0,2 slm)	22C
500 sccm (0,5 slm)	52C
1000 sccm (1 slm)	13C
2000 sccm (2 slm)	23C
5000 sccm (5 slm)	53C
10000 sccm (10 slm)	14C
20000 sccm (20 slm)	24C
Anschlüsse (kompatibel mit)	Code	Konfiguration
Swagelok® 4 VCR männlich	R	R
Swagelok® 4 VCO männlich	G
1/4" Swagelok®	S
Ventil	Code	Konfiguration
Normally closed	1	1
Schnittstelle	Code	Konfiguration
Analog 9-pin Type "D"	A	B
Analog 15-pin Type "D"	B	B
Dichtungsmaterialien**	Code	Konfiguration
Viton™	V	V
Buna-N™	B
Neopren™	N
Kalrez™	K

** Der Benutzer sollte sich mit seinem Gaslieferanten über das geeignete Elastomer beraten, das mit dem ausgewählten Gas kompatibel ist.

Remote-Steuerung

246 Netzteil und Messwertanzeige

247 Netzteil und Messwertanzeige

Die MKS Instruments 246 Einzelkanal/Messwertanzeige dient zur Steuerung und Anzeige der meisten MKS Durchflusssensoren. Wenn mehrere Kanäle benötigt werden, bietet der MKS Instruments 247 Controller eine vierkanalige, sequentiell wählbare Messwertanzeige. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Einheit liefert 15 VDC Leistung.

Eigenschaften und Vorteile:

Strom und Steuerung zwischen 1 - 4 MFC Einheiten.
Kompatibel mit den meisten MKS MFC Einheiten.
Unabhängige Controller

946 Vakuum Systemsteuerung

Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.

Eigenschaften und Vorteile:

Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
Druckmessung von 1.000 Torr bis 10^-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
Unabhängige Steuereinheit (standalone)

PAC 100

Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.

Eigenschaften und Vorteile:

Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
Steuerung mittels PLC
Niedrige Betriebskosten

Downloads:

246 Handbuch

247 Handbuch

246/247 Datenblatt

946 Handbuch

946 Datenblatt

PAC 100 Handbuch

PAC 100 Datenblatt

For additional information about the 246/247, 946 or PAC 100 controllers, please contact us by clicking here .


Netzteil und Anzeige	246 Netzteil und Display	247 Netzteil und Display	946 Vakuum Systemsteuerung	PAC 100 Automatisierungssystem
Anzeige-Typ	3 1/2 stelliges 0,56" rotes LED-Display	3 1/2 stelliges 0,56" rotes LED-Display ist 1 von 4 sequentiell wählbar	320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung.	PC (nicht enthalten)
Kanäle	1 MFC	4 MFC's	6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFC's MKS Baratrons, MKS Piranis, MKS Convectron/Convection Series, MKS Hot and Cold Cathode Sensors, MKS Pressure Control Valves	4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs, MKS Baratrons **Andere Module verfügbar
Sollwertrelais	Nein	Nein	Ja	Ja
Eingangsleistung	117/234 VAC ± 15 %, 50-60 Hz	117/234 VAC ± 15 %, 50-60 Hz	150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz	19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE)
Ungefährer Listenpreis	1225 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1850 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)

X SCHLIESSEN

Hinweise:

*Weitere Informationen zu kompatiblen Einheiten finden Sie auf den jeweiligen Webseiten der Steuereinheiten.

Hinweise:

**Andere Konfigurationen sind verfügbar. Please contact us by clicking here for further details and configurations.

Warnhinweise:

Wenn andere Gase als das Kalibrierte verwendet werden, ist der Benutzer für die Gewährleistung der Kompatibilität des Dichtungsmaterials verantwortlich.

Produktkonfiguration

1. Serie:	MFC Mass Flow Controller 1179C [1179C]
2. Gas:
3. Flussbereich Voll-Skala:
4. Anschluss:
5. Ventiltyp:	Normally Closed [1]
6. Schnittstelle:
7. Dichtungsmaterialien:

Bestelltabelle

Bitte beachten Sie die untenstehende Bestell-Tabelle für MFCs, die wir in der Regel in einem unserer weltweiten Lager vorrätig haben.

X SCHLIESSEN

Typ	Beschreibung	Dichtung	Fluss Bereich	Anschlüsse	Anschlüsse	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Typ	Beschreibung	Dichtung	Fluss Bereich	Anschlüsse	Anschlüsse	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, 1179C, N2, 1000 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, N.C., ANALOG 15 PIN SUB D MALE, VITON	Elastomer	20 to 1000 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	Swagelok 4 VCR Male	1179C01313CR1BV	$1.445,00
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, 1179C, N2, 50 SCCM, 1/4" SWAGELOK, N.C., ANALOG 15 PIN SUB D MALE, VITON	Elastomer (Viton)	1 to 50 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	1/4" Swagelok	1179C01351CS1BV	$1.445,00
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, 1179C, N2, 500 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, N.C., ANALOG 15 PIN SUB D MALE, VITON	Elastomer (Viton)	10 to 500 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok® 4 VCR männlich	1179C01352CR1BV	$1.445,00
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, 1179C, N2, 500 SCCM, 1/4" SWAGELOK, N.C., ANALOG 15 PIN SUB D MALE, VITON	Elastomer (Viton)	10 to 500 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	1/4" Swagelok	1179C01352CS1BV	$1.445,00

Zubehörtabelle

X SCHLIESSEN

Beschreibung	Reference	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Beschreibung	Reference	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
KEIN RoHS/ CE, MASS FLOW CONTROLER POWER SUPPLY READOUT, SIN	246C Single Channel Display, Power Supply / Readout	246C	$1.416,00
KEIN RoHS/ CE, MASS FLOW CONTROLER POWER SUPPLY READOUT, FOU	247D 4 Channel Sequential Display, Power Supply / Readout	247D	$2.195,00
DICHTUNG,VCR,CAJON,KUPFER,1/4"	Gasket, 1/4" VCR, Cajon, Copper	4XVCR-GAC	$3,70
KABEL, MFC BIS 246/247, 15 STIFT, 10 FT.	15 Pin Sub-D 3-Meter Kabel	RCBDMFC-1-10	$132,00
KABEL, MFC BIS 246/247, 9 STIFT, 10 FT.	9 Pin Sub-D 3-Meter Kabel	RCBDMFC-3-10	$196,00
VERSCHRAUBUNG,ADAPTER,SS,1/4"FVCR AUF 1/4"AD ROHR (SWAG)	Adaptor, SS, 1/4" FVCR to 1/4" OD Tube (Swagelok)	SS-4WVCR6400	Auf Anfrage