MKS® GE250 A Massendurchflussregler
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler für Durchflussraten bis zu 250slm mit Multi-Gas/Multi-Bereichs-Funktionalität
Der GE250 A kann in Bereichen von 100 bis 250 slm betrieben werden (N2 Äquivalent). Der GE250 ist entweder mit analogen E/A oder digitalen E/A unter Verwendung der neuesten Regelalgorithmen für schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert erhältlich.
Einstellzeiten von 1 bis 2 Sekunden und Sollwertgenauigkeiten unter 1 % des Sollwerts übertriffen typische Durchflussregler für hohe Durchflüsse. Präzise Steuerung wird bis zu 2 % der GE250As konfigurierten vollen Flussbereich aufrechterhalten. Die Fähigkeit zum Einsatz für mehrere Gase und mehrere Regelbereiche sowie enge Leistungsspezifikationen für Genauigkeit, Regelbereich und Einschwingverhalten minimieren die Inventarisierungsanforderungen für Durchflussregler.
Auf die Einstellungen der Multi-Gas/Multi-Bereichs-Funktion und andere benutzerdefinierte Steuerelemente kann einfach über die integrierte Diagnoseschnittstelle zugegriffen werden. Ein Standard-Ethernet-Kabel und ein JAVA-fähiger HTML-Browser sind die einzigen benötigten Werkzeuge. Kritische Gasparameter für typische Gase mit hoher Strömungsrate sind bereits auf dem MFC gespeichert. Konfigurieren Sie einen Durchflussregler der I-Serie, indem Sie das Gas aus einem Dropdown-Menü auswählen und den gewünschten vollen Durchflussbereich angeben. Führen Sie routinemäßige Gerätezustandsprüfungen durch, zeichnen Sie die Durchflussreaktion auf und speichern Sie Betriebsdaten für die Offline-Analyse mit der MFC-Diagnoseschnittstelle der I-Serie.
Eigenschaften und Vorteile
- Eine schnelle Reaktion auf die Sollwertänderung reduziert die Stabilisierungszeit
- Strikte Durchflussgenauigkeit verbessert die Prozessanpassung
- Reduzierter Einlassdruck (Druckabfall) vereinfacht die Gasversorgungsregelung
- Multi-Gas/Multi-Bereichs-Funktion reduziert das benötigte MFC Inventar
- Konfiguration/Diagnose über Ethernet & Webbrowser - keine spezielle Software erforderlich
Anwendungen
Der GE250 A Massendurchflussregler ist ein universell einsetzbarer, elastomer-gedichteter MFC, der für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist.
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | GE250A |
|---|---|
| Eingangsleistung | +15 bis24 VDC @ (<4 Watt) |
| Flussregelbereiche (Voll-Skala) | 100 - 250 slm (N2 Äquivalent) |
| Maximaler Eingangsdruck | 150 psig (kann die Anforderungen an die Druckdifferenz über den MFC nicht überschreiten) |
| Normaler Betrieb Druckdifferenzial | 30 bis 55 psid (abhängig vom Typ der Anschlüsse) (bei Atmosphärendruck am MFC-Ausgang) |
| Berstdruck | 1500 psig |
| Steuerbereich | 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus) |
| Typische Genauigkeit | ± 1 % des Sollwerts für > 20 % bis 100 % der vollen Skala ± 0,25 % der vollen Skala für 5 % bis 20 % der vollen Skala |
| Wiederholgenauigkeit | ± 0,5 % des Messwerts |
| Auflösung | 0,1 % des Messwerts |
| Typische Einstellzeit des Controllers | 1 bis 2 Sekunden, typischerweise bei über 10 % der vollen Skala @ 50 psi |
| Aufwärmzeit | eine (1) Stunde |
| Betriebstemperaturbereich | 10° C bis 50° C (Umgebung) |
| Lagerfeuchtigkeit | 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
| Lagertemperatur | -20° bis 65°C (-4° bis 149° F) |
| Leckintegrität - Extern | <1 x 10-9 (scc/s He) |
| Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil | <1.0% Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr) (Um Durchfluss vollständig zu unterdrücken, ist ein separates, positives Absperrventil erforderlich.) |
| Fluss-Signal E/A - Spannung | (0 bis 5 VDC) 15-pin Typ "D" männlich |
| Fluss-Signal E/A - Stromstärke | (4 bis 20 mA) 15-pin Typ "D" männlich |
Konfigurationsoptionen
Beispiel für den Bestellcode: GE250A013255TBV0020
| Serie | Code | Konfiguration |
| Typ MFC Hochfluss-Massendurchflussregler (Multigas, Multibereich) | GE250A | GE250A |
| Gas (Nach Semi-Standard E52-0703) | Code | Konfiguration |
| 013 = Stickstoff = N2 | 013 | 013 |
| Flussbereich Voll-Skala* | Code | Konfiguration |
| 250.000 sccm (250 slm) | 255 | 255 |
| Anschlüsse (kompatibel mit) | Code | Konfiguration |
| 12 mm Swagelok® | F | T |
| 3/8" Swagelok® | J | |
| 1/2" Rohr, Kompressionsdichtung | S | |
| 1/2" Rohr lang, Kompressionsdichtung | W | |
| 1/2" NPT weiblich | M | |
| 8 VCR männlich | T | |
| 8 VCO männlich | D | |
| 8 VCR männlich, lang | L | |
| 8 VCO männlich, lang | Q | |
| W-Dichtung | H | |
| Anschluss (Strom & Steuer E/A) | Code | Konfiguration |
| EtherCAT® | 8 | B |
| DeviceNet™ | 6 | |
| RS485 (verwendet 9 Pin Stecker) | 5 | |
| Profibus® | 4 | |
| 15 Pin D (Analog, 0 bis 5 VDC E/A) | B | |
| 15 Pin D (4 bis 20 mA E/A) | G | |
| Dichtungsmaterialien | Code | Konfiguration |
| Viton | V | V |
| Buna-N | B | |
| Neopren | N | |
| EPDM | E | |
| Ventiltyp | Code | Konfiguration |
| Normalerweise geschlossen | 0 | 0 |
| Durchflussmesser | 3 | |
| Reserviert für zukünftige MKS Verwendung | Code | Konfiguration |
| Standard | 0 | 0 |
| Firmware | Code | Konfiguration |
| Sofern nicht anders angegeben, wird die aktuellste Firmware-Version durch MKS bereitgestellt | 20 | 20 |
* Die Durchflussrate der vollen Skala ist mit einer 3 stelligen Zahl gekennzeichnet. Die ersten beiden Ziffern stehen für die signifikanten Ziffern der Durchflussrate der vollen Skala, getrennt durch einen Dezimalpunkt. Die dritte Ziffer ist der Exponent der Zehnerpotenz.
Enthaltene Software
Kostenlose, herunterladbare Software, die eine einfache Überwachung und Konfiguration des MKS MFC ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile
- Einfach zu bedienende Schnittstelle
- Möglichkeit, aus einer Bibliothek von über 150 verschiedenen Gasen zu wechseln
- Kann die Flussdaten graphisch darstellen und aufzeichnen
- Herunterladbarer Kalibrierbericht für die MFC-Einheit
Weitere Informationen finden Sie im Software-Benutzerhandbuch.
To record data using the plotting tool, please contact us by clicking here for the Java Policy update.
Remote-Steuerung
Die MKS Instruments 246 Einzelkanal/Messwertanzeige dient zur Steuerung und Anzeige der meisten MKS Durchflusssensoren. Wenn mehrere Kanäle benötigt werden, bietet der MKS Instruments 247 Controller eine vierkanalige, sequentiell wählbare Messwertanzeige. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Einheit liefert 15 VDC Leistung.
Eigenschaften und Vorteile:
- Strom und Steuerung zwischen 1 - 4 MFC Einheiten.
- Kompatibel mit den meisten MKS MFC Einheiten.
- Unabhängige Controller
946 Vakuum Systemsteuerung
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
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| Netzteil und Anzeige | MFC Software | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | PC (nicht enthalten) | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 1 MFC | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | nicht verfügbar | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | Kostenlos (im Lieferumfang von MFC enthalten) | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
Produktkonfiguration
Zubehörtabelle
| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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KEIN RoHS/ CE, |
246C Single Channel Display, Power Supply / Readout |
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KEIN RoHS/ CE, |
247D 4 Channel Sequential Display, Power Supply / Readout |
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KABEL, |
Wall Transformer, 15 pin, 4,5 ft., Universal Plug Ends |
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KABEL, |
15 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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KABEL, |
9 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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