MKS® GE50 A Digital Mass Flow Controller

Representative Image

MKS® GE50 A Digitaler Massendurchflussregler

Universell einsetzbarer, elastomer-gedichteter Massendurchflussregler für Durchflussraten bis zu 50 slm mit , Multi-Gas-/Multi-Bereichs-Funktionalität

Der digital gesteuerte Massendurchflussregler GE50 A ist entweder mit RS485 Profibus™, EtherCAT^®, oder DeviceNet™ E/A verfügbar. Die digitale Steuerelektronik verwendet die neuesten MKS-Steueralgorithmen für eine schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert im gesamten Bereich der Gerätesteuerung. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung liefert 1 % der Sollwertgenauigkeit für das Kalibriergas. E/A-Protokolle sind so konzipiert, dass die GE50 A auf einfache Art und Weise RS485- und DeviceNet™-Versionen des MKS MFC Typ 1179 A ersetzen können und das mit geringem Programmieraufwand.

Standardabmessungen von 3-Zoll ermöglichen seinen Einsatz, ohne bestehende Gasleitungskonfigurationen zu verändern. Der GE50 A enthält wenige Elastomere - nur eine äußere Elastomerdichtung und den Elastomerventilstößel. Alle benetzten Oberflächen sind aus Metall. Der GE50 A wird standardmäßig mit Viton^®-Dichtungen oder optional mit Buna, Neopren^® oder Kalrez^® geliefert, um unterschiedliche Gasanforderungen zu erfüllen.

Eigenschaften und Vorteile

Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung

Anwendungen

GE50 A ist ein Allzweck-MFC, der für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist, die eine Flussregelung im Bereich von 10 sccm bis 50 slm erfordern (volle Skala, N₂ Äquivalent).

Bemaßte Zeichnungen

MKS® GE50 A Digital Mass Flow Controllerdrawing

Spezifikationstabelle

Modell	GE50A
Flussregelbereiche (Voll-Skala)	5 - 50000 sccm (N₂ Äquivalent) (kontaktieren Sie uns für Information zu verfügbaren Flussbereichen)
Maximaler Eingangsdruck	150 psig (kann die Anforderung an die Druckdifferenz über den MFC nicht überschreiten)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial	10 bis 5000 sccm; 10 bis 40 psid 10000 bis 20000 sccm; 15 bis 40 psid 30000 bis 50000 sccm; 25 bis 40 psid (N2 Volle Skala) (mit Atmosphärendruck am MFC-Ausgang)
Prüfdruck	1000 psig
Berstdruck	1500 psig
Steuerbereich	2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit	± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala ± 0,2 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala (mit N₂ Kalibriergas)
Wiederholgenauigkeit	± 0,3 % des Messwerts
Auflösung	0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers	<750 msec, typical above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600)
Aufwärmzeit	<30 minutes (to within 0.2% of Full Scale of steady state performance)
Betriebstemperaturbereich	10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit	0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur	-20° bis 80°C (-4° bis 149° F)
Leckintegrität - Extern	<1 x 10^-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil	Bis zu 10K Ventil < 0,1 % von FS bei 40 psig bis Atmosphäre 20K - 50K Ventil < 1,0 % von FS bei 40 psig bis Atmosphäre (Um Durchfluss vollständig zu unterdrücken, ist ein separates, positives Absperrventil erforderlich.)
Elektrisch-analoger E/A erforderliche Eingangsleistung	+15 bis24 VDC @ (<4 Watt)
Elektrisch-analoger E/A Fluss-Signal E/A - Spannung	(0 bis 5 VDC) 15 Pin Typ "D" männlich, 9 Pin Typ "D" männlich
Elektrisch-analoger E/A Fluss-Signal E/A - Stromstärke	(4 bis 20 mA) 15 Pin Typ "D" männlich

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Konfigurationsoptionen

Beispiel für den Bestellcode: GE50A013502R6V020

Serie	Code	Konfiguration
Typ MFC Massendurchflussregler GE50A	GE50A	GE50A
Gas (Nach Semi-Standard E52-0703)	Code	Konfiguration
013 = Stickstoff = N₂	013	013
Flussbereich Voll-Skala*	Code	Konfiguration
5 sccm (0,005 slm)	500	502
10 sccm (0,01 slm)	101
20 sccm (0,02 slm)	201
50 sccm (0,05 slm)	501
100 sccm (0,1 slm)	102
200 sccm (0,2 slm)	202
500 sccm (0,5 slm)	502
1000 sccm (1 slm)	103
2000 sccm (2 slm)	203
5000 sccm (5 slm)	503
10000 sccm (10 slm)	104
20000 sccm (20 slm)	204
30000 sccm (30 slm)	304
50000 sccm (50 slm)	504
Anschlüsse (kompatibel mit)	Code	Konfiguration
Swagelok® 4 VCR männlich	R	R
Swagelok® 4 VCO männlich	G
1/4" Swagelok®	S
Swagelok® 8 VCR männlich	T
1/8" Swagelok® (für 1000 sccm oder geringer, N₂ äquivalent)	A
1/2" Swagelok®	K
6 mm Swagelok®	M
8 mm Swagelok®	E
KF-16	U
Swagelok® 8 VCO männlich	D
Swagelok® 2 VCO männlich (für 1000 sccm oder geringer, N₂ äquivalent)	B
10 mm Swagelok®	P
12 mm Swagelok®	F
3/8" Swagelok®	J
C-Dichtung	C
Schnittstelle	Code	Konfiguration
EtherCAT®	8	6
DeviceNet™	6
RS485 (verwendet 9 Pin Stecker)	5
Profibus®	4
Profibus® (kompatibel zu 1179B)	3
PROFINET®	9
Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker)	A
Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse	L
Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker)	B
Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse	M
Analog 4 bis 20 mA (15 Pin D Stecker)	H
Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Brooks Instruments	E
Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Celerity	U
Dichtungsmaterialien**	Code	Konfiguration
Viton™	V	V
Buna-N™	B
Neopren™	N
Kalrez™	K
EPDM™	E
Ventiltyp	Code	Konfiguration
Normalerweise geschlossen	0	0
Normalerweise geöffnet	P	0
Firmware	Code	Konfiguration
Sofern nicht anders angegeben, wird die aktuellste Firmware-Version durch MKS bereitgestellt	20	20

* Die Durchflussrate der vollen Skala ist mit einer 3 stelligen Zahl gekennzeichnet. Die ersten beiden Ziffern stehen für die signifikanten Ziffern der Durchflussrate der vollen Skala, getrennt durch einen Dezimalpunkt. Die dritte Ziffer ist der Exponent der Zehnerpotenz.

** Der Benutzer sollte sich mit seinem Gaslieferanten über das geeignete Elastomer beraten, das mit dem ausgewählten Gas kompatibel ist.

Enthaltene Software

Geräteübersicht - Überwachungs-Modus

Geräteübersicht - Konfigurationsmodus

Graph-Anzeige - Konfigurationsmodus

Kostenlose, herunterladbare Software, die eine einfache Überwachung und Konfiguration des MKS MFC ermöglicht.

Eigenschaften und Vorteile

Einfach zu bedienende Schnittstelle
Möglichkeit, aus einer Bibliothek von über 150 verschiedenen Gasen zu wechseln
Kann die Flussdaten graphisch darstellen und aufzeichnen
Herunterladbarer Kalibrierbericht für die MFC-Einheit

Weitere Informationen finden Sie im Software-Benutzerhandbuch.

To record data using the plotting tool, please contact us by clicking here for the Java Policy update.

Hinweise:

Ethernet-Kabel und PC nicht enthalten

Remote-Steuerung

246 Netzteil und Messwertanzeige

247 Netzteil und Messwertanzeige

Die MKS Instruments 246 Einzelkanal/Messwertanzeige dient zur Steuerung und Anzeige der meisten MKS Durchflusssensoren. Wenn mehrere Kanäle benötigt werden, bietet der MKS Instruments 247 Controller eine vierkanalige, sequentiell wählbare Messwertanzeige. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Einheit liefert 15 VDC Leistung.

Eigenschaften und Vorteile:

Strom und Steuerung zwischen 1 - 4 MFC Einheiten.
Kompatibel mit den meisten MKS MFC Einheiten.
Unabhängige Controller

946 Vakuum Systemsteuerung

Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.

Eigenschaften und Vorteile:

Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
Druckmessung von 1.000 Torr bis 10^-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
Unabhängige Steuereinheit (standalone)

PAC 100

Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.

Eigenschaften und Vorteile:

Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
Steuerung mittels PLC
Niedrige Betriebskosten

Downloads:

246 Handbuch

247 Handbuch

246/247 Datenblatt

946 Handbuch

946 Datenblatt

PAC 100 Handbuch

PAC 100 Datenblatt

For additional information about the 246/247, 946 or PAC 100 controllers, please contact us by clicking here .


Netzteil und Anzeige	MFC Software	246 Netzteil und Display	247 Netzteil und Display	946 Vakuum Systemsteuerung	PAC 100 Automatisierungssystem
Anzeige-Typ	PC (nicht enthalten)	3 1/2 stelliges 0,56" rotes LED-Display	3 1/2 stelliges 0,56" rotes LED-Display ist 1 von 4 sequentiell wählbar	320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung.	PC (nicht enthalten)
Kanäle	1 MFC	1 MFC	4 MFC's	6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCsMKS Baratrons, MKS Piranis, MKS Convectron/Convection Serie, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren, MKS Druckregelventile	4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs, MKS Baratrons **Andere Module verfügbar
Sollwertrelais	Ja	Nein	Nein	Ja	Ja
Eingangsleistung	nicht verfügbar	117/234 VAC ± 15 %, 50-60 Hz	117/234 VAC ± 15 %, 50-60 Hz	150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz	19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE)
Ungefährer Listenpreis	Kostenlos (im Lieferumfang von MFC enthalten)	1225 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1850 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten)	1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten)

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Hinweise:

*Weitere Informationen zu kompatiblen Einheiten finden Sie auf den jeweiligen Webseiten der Steuereinheiten.

Hinweise:

**Andere Konfigurationen sind verfügbar. Please contact us by clicking here for further details and configurations.

Warnhinweise:

Wenn andere Gase als das Kalibrierte verwendet werden, ist der Benutzer für die Gewährleistung der Kompatibilität des Dichtungsmaterials verantwortlich.

Produktkonfiguration

1. Serie:	MFC Mass Flow Controller GE50 A [GE50A]
2. Gas:
3. Flussbereich Voll-Skala:
4. Anschluss:
5. Schnittstelle:
6. Dichtungsmaterialien:
7. Ventiltyp:
8. Firmware:	MKS stellt die aktuelle Firmware bereit. Wenn darüber hinaus noch etwas benötigt wird, wenden Sie sich bitte an KJLC. [20]

Bestelltabelle

Bitte beachten Sie die untenstehende Bestell-Tabelle für MFCs, die wir in der Regel in einem unserer weltweiten Lager vorrätig haben.

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Typ	Beschreibung	Dichtung	Fluss Bereich	Anschlüsse	Anschlüsse	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Typ	Beschreibung	Dichtung	Fluss Bereich	Anschlüsse	Anschlüsse	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Ar	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, Ar, 1000 SCCM, 1/4'' SWAGELOK,0-5 VDC / 15 PIN SUB D TIED GROUNDS, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	20 to 1000 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D, Tied Grounds	1/4" Swagelok	GE50A004103SMV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 10 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D TIED GROUNDS, VITON	Elastomer (Viton)	0,2 to 10 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D, Tied Grounds	Swagelok 4 VCR Male	GE50A013101RMV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 100 SCCM, 6 MM SWAGELOK,0-5 VDC / 15 PIN SUB D TIED GROUNDS, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	0,2 to 10 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	6 mm Swagelok	GE50A013102MBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 100 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	2 to 100 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok® 4 VCR männlich	GE50A013102RBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 100 SCCM, 15 PIN ANALOG (TIED GROUNDS), N.C. VITON, LCEA12CR1MV20	Elastomer (Viton)	2 to 100 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D, Tied Grounds	4 VCR männlich	GE50A013102RMV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, 6 MM SWAGELOK,RS485, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	20 to 1000 sccm	RS-485, 9 Pin Sub D	6 mm Swagelok	GE50A013103M5V020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, 6 MM SWAGELOK, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer	20 to 1000 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	6 MM Swagelok	GE50A013103MBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	20 to 1000 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok® 4 VCR männlich	GE50A013103RBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, ¼” SWAGELOK, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer	20 to 1000 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	1/4" Swagelok	GE50A013103SBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, KF16, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer	20 to 1000 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	KF16	GE50A013103UBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 2000 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	40 to 2000 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok® 4 VCR männlich	GE50A013203RBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 50 SCCM, ¼” SWAGELOK, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer	1 to 50 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	1/4" Swagelok	GE50A013501SBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 500 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	10 to 500 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok® 4 VCR männlich	GE50A013502RBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 500 SCCM, ¼” SWAGELOK, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, NEOPRENE, N.C.	Elastomer	10 to 500 sccm	Analog, 15 Pin Sub D	1/4" Swagelok	GE50A013502SBN020	Auf Anfrage
O2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, O2, 5 SCCM, SWAGELOK 4 VCR STECKER, 0-5 VDC / 15 PIN SUB D, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	0,1 to 5 sccm	Analog 0-5 VDC, 15 Pin Sub D	Swagelok^® 4 VCR Stecker	GE50A015500RBV020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 100 SCCM, ¼” SWAGELOK, RS485, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	2 to 100 sccm	RS-485, 9 Pin Sub D	1/4" Swagelok	GE50A013102S5V020	Auf Anfrage
N2	MASSENFLUSSREGELUNNG, GE50A, N2, 1000 SCCM, ¼” SWAGELOK, RS485, VITON, N.C.	Elastomer (Viton)	20 to 1000 sccm	RS-485, Pin Sub D	1/4" Swagelok	GE50A013103S5V020	Auf Anfrage

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Zubehörtabelle

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Beschreibung	Reference	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Beschreibung	Reference	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
KEIN RoHS/ CE, MASS FLOW CONTROLER POWER SUPPLY READOUT, SIN	246C Single Channel Display, Power Supply / Readout	246C	Auf Anfrage
KEIN RoHS/ CE, MASS FLOW CONTROLER POWER SUPPLY READOUT, FOU	247D 4 Channel Sequential Display, Power Supply / Readout	247D	Auf Anfrage
KABEL, 4,5 FUSS, NETZGERÄT, AC/DC WANDHALTERUNG ADAPTER, 24V, 20W, 15- POLIG BUCHSE STECKVERBINDUNG, AUSTAUSCHBARER CLIP-KIT FÜR DEN WELTWEITEN EINSATZ INKLUSIVE	Wall Transformer, 15 pin, 4,5 ft., Universal Plug Ends	KJLPS601UNI	Auf Anfrage
KABEL, MFC BIS 246/247, 15 STIFT, 10 FT.	15 Pin Sub-D 3-Meter Kabel	RCBDMFC-1-10	Auf Anfrage
KABEL, MFC BIS 246/247, 9 STIFT, 10 FT.	9 Pin Sub-D 3-Meter Kabel	RCBDMFC-3-10	Auf Anfrage