MKS® GM100 A Digitaler Massendurchflussregler
Metall-gedichteter, digitaler Massendurchflussregler für Durchflussraten bis zu 100slm mit Multi-Gas/Multi-Bereichs-Funktionalität
Der digital gesteuerte GM100 A Massendurchflussregler ist entweder mit analogem Anschluss (0 bis 5 VDC oder 4 bis 20 mA) oder RS485, Profibus™, EtherCAT® oder DeviceNet™ I/O erhältlich. Die digitale Steuerelektronik verwendet die neuesten MKS-Steueralgorithmen für eine schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert im gesamten Bereich der Gerätesteuerung. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung liefert 1 % der Sollwertgenauigkeit für das Kalibriergas.
Standardabmessungen von 3-Zoll ermöglichen seinen Einsatz, ohne bestehende Gasleitungskonfigurationen zu verändern. Der GM100 A Massendurchflussregler hat eine elektropolierte Oberfläche.
Eigenschaften und Vorteile
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
Anwendungen
GM100 A ist ein Allzweck-MFC, der für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist, die eine Flussregelung von 50 slm bis 100 slm erfordern (Voll-Skala, N2 Äquivalent) und ist auch für hochreine Prozesse geeignet.
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | GM100A |
|---|---|
| Eingangsleistung | +15 bis24 VDC @ (<4 Watt) |
| Flussregelbereiche (Voll-Skala) | 50.000 - 100.000 sccm N2 Äquivalent |
| Maximaler Eingangsdruck | 150 psig (kann die Anforderung an die Druckdifferenz über den MFC nicht überschreiten) |
| Normaler Betrieb Druckdifferenzial | 50.000 - 100.000 sccm; 40 bis 80 psid (N2 volle Skala mit Atmosphärendruck am MFC-Ausgang) |
| Prüfdruck | 1000 psig |
| Berstdruck | 1500 psig |
| Steuerbereich | 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus) |
| Typische Genauigkeit | ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala ± 0,2 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala (mit N2 Kalibriergas) |
| Wiederholgenauigkeit | ± 0,3 % des Messwerts |
| Auflösung | 0,1 % der vollen Skala |
| Typische Einstellzeit des Controllers | <750 msec., typical above 10% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600) |
| Aufwärmzeit | <30 min (to within 0.2% of Full Scale of steady state performance) |
| Betriebstemperaturbereich | 10° C bis 50° C (Umgebung) |
| Lagerfeuchtigkeit | 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
| Lagertemperatur | -20° bis 80°C (-4° bis 149° F) |
| Leckintegrität - Extern | <1 x 10-10 (scc/s He) |
| Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil | <1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere (Um keinen Durchfluss zu gewährleisten, ist ein separates positives Absperrventil erforderlich) |
| Fluss-Signal E/A - Spannung | 15 Pin Typ "D" Stecker, 9 Pin Typ "D" Stecker |
| Fluss-Signal E/A - Stromstärke | 15 Pin Typ "D" Stecker (4 bis 20 mA) |
Konfigurationsoptionen
Beispiel für den Bestellcode: GM100A013105T6MB020
| Serie | Code | Konfiguration |
| Typ MFC Massendurchflussregler GM100A | GM100A | GM100A |
| Gas (Nach Semi-Standard E52-0703) | Code | Konfiguration |
| 013 = Stickstoff = N2 | 013 | 013 |
| Flussbereich Voll-Skala* | Code | Konfiguration |
| 50000 sccm (50 slm) | 504 | 105 |
| 75000 sccm (75 slm) | 754 | |
| 100000 sccm (100 slm) | 105 | |
| Anschlüsse (kompatibel mit) | Code | Konfiguration |
| 10 mm Swagelok® | P | T |
| 12 mm Swagelok® | F | |
| 1/2" Swagelok® | K | |
| 3/8" Swagelok® | J | |
| Swagelok® 4 VCR männlich (hoher Durchfluss) | R | |
| Swagelok® 8 VCR männlich | T | |
| Swagelok® 8 VCO männlich (halten Sie mit uns Rücksprache) | D | |
| KF-16 (halten Sie mit uns Rücksprache) | U | |
| Schnittstelle | Code | Konfiguration |
| DeviceNet™ | 6 | 6 |
| RS485 (verwendet 9 Pin Stecker) | 5 | |
| Profibus® | 4 | |
| Profibus® (kompatibel zu 1179B) | 3 | |
| PROFINET® | 9 | |
| Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker) | A | |
| Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse | L | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker) | B | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse | M | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), 1179B 24 VDC Pinbelegung (halten Sie mit uns Rücksprache) | K | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Brooks Instruments | E | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Celerity | U | |
| Analog 4 bis 20 mA (15 Pin D Stecker) | H | |
| Ventil/Gerätetyp | Code | Konfiguration |
| Normalerweise geschlossen | M | M |
| Massendurchflussmesser | 3 | |
| Dichtungsmaterialien** | Code | Konfiguration |
| Buna Ventilstößel | B | B |
| Neopren Ventilstößel | N | |
| Viton Ventilstößel | V | |
| EPDM Ventilstößel | E | |
| Kein Ventil (MFM-Option) | 0 | |
| Reserviert für zukünftige MKS Verwendung | Code | Konfiguration |
| Standard | 0 | 0 |
| Firmware | Code | Konfiguration |
| Sofern nicht anders angegeben, wird die aktuellste Firmware-Version durch MKS bereitgestellt | 20 | 20 |
* Die Durchflussrate der vollen Skala ist mit einer 3 stelligen Zahl gekennzeichnet. Die ersten beiden Ziffern stehen für die signifikanten Ziffern der Durchflussrate der vollen Skala, getrennt durch einen Dezimalpunkt. Die dritte Ziffer ist der Exponent der Zehnerpotenz.
** Der Benutzer sollte sich mit seinem Gaslieferanten über das geeignete Elastomer beraten, das mit dem ausgewählten Gas kompatibel ist.
Enthaltene Software
Kostenlose, herunterladbare Software, die eine einfache Überwachung und Konfiguration des MKS MFC ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile
- Einfach zu bedienende Schnittstelle
- Möglichkeit, aus einer Bibliothek von über 150 verschiedenen Gasen zu wechseln
- Kann die Flussdaten graphisch darstellen und aufzeichnen
- Herunterladbarer Kalibrierbericht für die MFC-Einheit
Weitere Informationen finden Sie im Software-Benutzerhandbuch.
To record data using the plotting tool, please contact us by clicking here for the Java Policy update.
Remote-Steuerung
Die MKS Instruments 246 Einzelkanal/Messwertanzeige dient zur Steuerung und Anzeige der meisten MKS Durchflusssensoren. Wenn mehrere Kanäle benötigt werden, bietet der MKS Instruments 247 Controller eine vierkanalige, sequentiell wählbare Messwertanzeige. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Einheit liefert 15 VDC Leistung.
Eigenschaften und Vorteile:
- Strom und Steuerung zwischen 1 - 4 MFC Einheiten.
- Kompatibel mit den meisten MKS MFC Einheiten.
- Unabhängige Controller
946 Vakuum Systemsteuerung
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
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| Netzteil und Anzeige | MFC Software | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | PC (nicht enthalten) | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 1 MFC | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | nicht verfügbar | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | Kostenlos (im Lieferumfang von MFC enthalten) | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
Produktkonfiguration
Zubehörtabelle
| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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KEIN RoHS/ CE, |
246C Single Channel Display, Power Supply / Readout |
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KEIN RoHS/ CE, |
247D 4 Channel Sequential Display, Power Supply / Readout |
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KABEL, |
Wall Transformer, 15 pin, 4,5 ft., Universal Plug Ends |
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KABEL, |
15 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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KABEL, |
9 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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