MKS® GV50 A Digitaler Massendurchflussregler
Eelastomer-gedichteter, digitaler Massendurchflussregler für bis zu 50slm mit eingebautem Absperrventil, mit Multi-Gas/Multi-Bereichs-Funktionalität
Der digital gesteuerte Massendurchflussregler GV50 A ist entweder mit RS485 Profibus™, EtherCAT®, oder DeviceNet™ E/A verfügbar. Die digitale Steuerelektronik verwendet die neuesten MKS-Steueralgorithmen für eine schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert im gesamten Bereich der Gerätesteuerung. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 600 bis 800 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung liefert 1 % der Sollwertgenauigkeit für das Kalibriergas. E/A-Protokolle sind so konzipiert, dass die GV50 A auf einfache Art und Weise RS485- und DeviceNet™-Versionen des MKS MFC Typ 2179 A ersetzen können und das mit geringem Programmieraufwand.
GV50 A enthält ein normalerweise geschlossenes Absperrventil mit einer Helium-Leckrate von 4x10E-09 scc/s. Er enthält nur wenig Elastomere - nur eine äußere Elastomerdichtung und Elastomerventilstößel. Alle benetzten Oberflächen sind aus Metall. Der GV50 A wird standardmäßig mit Viton®-Dichtungen oder optional mit Buna, Neopren® oder Kalrez® geliefert, um unterschiedliche Gasanforderungen zu erfüllen.
Eigenschaften und Vorteile
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
Anwendungen
GV50 A ist ein Allzweck-MFC, der für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist, die eine Flussregelung von 10 sccm bis 50 slmVoll-Skala erfordern (N2 Äquivalent).
Bemaßte Zeichnungen
Spezifikationstabelle
| Modell | GV50A |
|---|---|
| Flussregelbereiche (Voll-Skala) | 5 sccm bis 50000 sccm |
| Maximaler Eingangsdruck | 150 psig (kann die Anforderung an die Druckdifferenz über den MFC nicht überschreiten) |
| Normaler Betrieb Druckdifferenzial | 10 bis 5000 sccm; 10 bis 40 psid 10000 bis 20000 sccm; 15 bis 40 psid 30000 bis 50000 sccm; 25 bis 40 psid (N2 Voll-Skala) (mit Atmosphärendruck am MFC-Ausgang) |
| Prüfdruck | 1000 psig |
| Berstdruck | 1500 psig |
| Steuerbereich | 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus) |
| Typische Genauigkeit | ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala ± 0,2 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala |
| Wiederholgenauigkeit | ± 0,3 % des Messwerts |
| Auflösung | 0,1 % der vollen Skala |
| Typische Einstellzeit des Controllers | <750 msec, typical above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600) |
| Aufwärmzeit | < 30 Minuten (bis zu 0,2 % der Voll-Skala im stationären Zustand) |
| Betriebstemperaturbereich | 10° C bis 50° C (Umgebung) |
| Lagerfeuchtigkeit | 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend |
| Lagertemperatur | -20° bis 80°C (-4° bis 149° F) |
| Leckintegrität - Extern | <1 x 10-9 (scc/s He) |
| Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil | Bis zu 10K Ventil <0,1 % der vollen Skala bei 40 psig bis Atmosphäre 20K - 50K Ventil < 1,0 % der vollen Skala bei 40 psig bis Atmosphäre (Um keinen Durchfluss zu gewährleisten, ist ein separates positives Absperrventil erforderlich) |
| Versorgungsdruck des pneumatischen Ventils | 60-120 psig |
Konfigurationsoptionen
Beispiel für den Bestellcode: GV50A013502R6V020
| Serie | Code | Konfiguration |
| Typ MFC Massendurchflussregler GV50A | GV50A | GV50A |
| Gas (Nach Semi-Standard E52-0703) | Code | Konfiguration |
| 013 = Stickstoff = N2 | 013 | 013 |
| Flussbereich Voll-Skala* | Code | Konfiguration |
| 5 sccm (0,005 slm) | 500 | 502 |
| 10 sccm (0,01 slm) | 101 | |
| 20 sccm (0,02 slm) | 201 | |
| 50 sccm (0,05 slm) | 501 | |
| 100 sccm (0,1 slm) | 102 | |
| 200 sccm (0,2 slm) | 202 | |
| 500 sccm (0,5 slm) | 502 | |
| 1000 sccm (1 slm) | 103 | |
| 2000 sccm (2 slm) | 203 | |
| 5000 sccm (5 slm) | 503 | |
| 10000 sccm (10 slm) | 104 | |
| 20000 sccm (20 slm) | 204 | |
| 30000 sccm (30 slm) | 304 | |
| 50000 sccm (50 slm) | 504 | |
| Anschlüsse (kompatibel mit) | Code | Konfiguration |
| 6 mm Swagelok | M | R |
| 8 mm Swagelok | E | |
| 10 mm Swagelok | P | |
| 12 mm Swagelok | F | |
| 1/8" Swagelok (für 1000 sccm oder geringer, N2 Äquivalent) | A | |
| 1/4" Swagelok | S | |
| 1/2" Swagelok | K | |
| 3/8" Swagelok | J | |
| Swagelok 4 VCO männlich | G | |
| Swagelok 4 VCR männlich | R | |
| Swagelok 8 VCR männlich | T | |
| Swagelok 8 VCO männlich | D | |
| Swagelok 2 VCR Stecker (für 1000 sccm oder geringer, N2 Äquivalent) {B} | B | |
| KF-16 | U | |
| Schnittstelle | Code | Konfiguration |
| EtherCAT® | 8 | 6 |
| DeviceNet™ | 6 | |
| RS485 (verwendet 9 Pin Stecker) | 5 | |
| Profibus® | 4 | |
| Profibus® (kompatibel zu 1179B) | 3 | |
| PROFINET® | 9 | |
| Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker) | A | |
| Analog 0 bis 5 VDC (9 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse | L | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker) | B | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), verbundene Massenanschlüsse | M | |
| Analog 4 bis 20 mA (15 Pin D Stecker) | H | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Brooks Instruments | E | |
| Analog 0 bis 5 VDC (15 Pin D Stecker), kompatibel zu Celerity | U | |
| Dichtungsmaterialien** | Code | Konfiguration |
| Viton | V | V |
| Buna-N | B | |
| Neopren | N | |
| Kalrez | K | |
| EPDM | E | |
| Ventil/Gerätetyp | Code | Konfiguration |
| Normalerweise geschlossen | 0 | 0 |
| Firmware | Code | Konfiguration |
| Sofern nicht anders angegeben, wird die aktuellste Firmware-Version durch MKS bereitgestellt | 20 | 20 |
* Die Durchflussrate der vollen Skala ist mit einer 3 stelligen Zahl gekennzeichnet. Die ersten beiden Ziffern stehen für die signifikanten Ziffern der Durchflussrate der vollen Skala, getrennt durch einen Dezimalpunkt. Die dritte Ziffer ist der Exponent der Zehnerpotenz.
** Der Benutzer sollte sich mit seinem Gaslieferanten über das geeignete Elastomer beraten, das mit dem ausgewählten Gas kompatibel ist.
Enthaltene Software
Kostenlose, herunterladbare Software, die eine einfache Überwachung und Konfiguration des MKS MFC ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile
- Einfach zu bedienende Schnittstelle
- Möglichkeit, aus einer Bibliothek von über 150 verschiedenen Gasen zu wechseln
- Kann die Flussdaten graphisch darstellen und aufzeichnen
- Herunterladbarer Kalibrierbericht für die MFC-Einheit
Weitere Informationen finden Sie im Software-Benutzerhandbuch.
To record data using the plotting tool, please contact us by clicking here for the Java Policy update.
Remote-Steuerung
Die MKS Instruments 246 Einzelkanal/Messwertanzeige dient zur Steuerung und Anzeige der meisten MKS Durchflusssensoren. Wenn mehrere Kanäle benötigt werden, bietet der MKS Instruments 247 Controller eine vierkanalige, sequentiell wählbare Messwertanzeige. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. Die Einheit liefert 15 VDC Leistung.
Eigenschaften und Vorteile:
- Strom und Steuerung zwischen 1 - 4 MFC Einheiten.
- Kompatibel mit den meisten MKS MFC Einheiten.
- Unabhängige Controller
946 Vakuum Systemsteuerung
Vielseitige Vakuumsteuerung, die eine Vielzahl von Drucksensoren, MFCs und Ventilen zur Systemsteuerung unterstützt.
Eigenschaften und Vorteile:
- Gleichzeitige Steuerung und Anzeige von bis zu sechs MFCs und/oder Vakuummessgeräten
- Optionale Druckregelung für MKS-Ventile macht separate Druckregelelektronik überflüssig
- Druckmessung von 1.000 Torr bis 10-11 Torr, wodurch die Notwendigkeit einer individuellen Elektronik für jeden Sensor entfällt.
- 12 Sollwertrelais im Grundgerät enthalten für flexible Systemsteuerung
- Unabhängige Steuereinheit (standalone)
PAC 100
Konfigurierbares und erweiterbares Modul, das eine vollständige Systemsteuerung ermöglicht.
Eigenschaften und Vorteile:
- Kontinuierliche Erweiterung mit weiteren Module möglich bei steigendem Nutzungsumfang
- Zugriff auf die Control Workbench Software zur Überwachung, Aufzeichnung und Steuerung aller angeschlossenen Geräte
- Kompatibel mit MKS MFCs, direkten und indirekten Druckmessgeräten, Ventilen, etc.
- Steuerung mittels PLC
- Niedrige Betriebskosten
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| Netzteil und Anzeige | MFC Software | 946 Vakuum Systemsteuerung | PAC 100 Automatisierungssystem |
| Anzeige-Typ | PC (nicht enthalten) | 320x240 Farben QVGA TFT LCD mit Hintergrundbeleuchtung. Bis zu 6 Druck- oder Durchflussanzeigen. Anzeige von Maßeinheit, Kalibrierfunktionen, Benutzerkalibrierung, Sollwerte, PID-Regelstatus und Ventilstellung. | PC (nicht enthalten) |
| Kanäle | 1 MFC | 6 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*MKS Baratrons*, MKS Piranis*, MKS Convectron/Convection Serie*, MKS Heiß- und Kaltkathodensensoren*, MKS Druckregelventile* |
4 einer beliebigen Kombination unten. MKS MFCs*, MKS Baratrons* **Andere Module verfügbar |
| Sollwertrelais | Ja | Ja | Ja |
| Eingangsleistung | nicht verfügbar | 150 Watt maximal, 100 - 240 VAC, 50/60 Hz | 19VDC - 32VDC, Max - 5 A (jeweils für DC I/O und DC CORE) |
| Ungefährer Listenpreis | Kostenlos (im Lieferumfang von MFC enthalten) | 1814 USD bis 5877 USD (regionsspezifisches Netzkabel enthalten) (Schnittstellenkabel nicht enthalten) | 1740 USD (Schnittstellenkabel nicht enthalten) |
Produktkonfiguration
Zubehörtabelle
| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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| Beschreibung | Reference | Teilenummer | Preis | Auf Lager | Artikel hinzufügen | |
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KEIN RoHS/ CE, |
246C Single Channel Display, Power Supply / Readout |
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KEIN RoHS/ CE, |
247D 4 Channel Sequential Display, Power Supply / Readout |
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KABEL, |
Wall Transformer, 15 pin, 4,5 ft., Universal Plug Ends |
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KABEL, |
15 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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KABEL, |
9 Pin Sub-D 3-Meter Kabel |
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