MKS® 246/247 MFC Controllers

The MKS 246 single channel/readout is designed to control and display most MKS flow transducers. If multiple channels are required, the MKS 247 controller provides a four channel, sequentially selectable readout. Der Sollwert für die Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder über die Analogschnittstelle an der Rückseite eingestellt werden. The unit supplies ±15 VDC power.

For information about the MKS Mass Flow Controllers, please visit our Mass Flow Controllers page.

Bemaßte Zeichnungen

 

Spezifikationstabelle

Compatible MKS® MFCs

The MKS 946 Vacuum System Controller is compatible with, but not limited to, the follow MKS MFCs.

If you don't see the MFC that you need, please contact us by clicking here or +1 800 245 1656 for additional MFCs.

Massendurchflussregler		Beschreibung
	MKS® GE50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GM50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC) & -messer	Metall-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GV50 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC mit integriertem Absperrventil, Durchflussraten bis zu 50 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GM100 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Metall-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 100 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche
	MKS® GE250 A Digitaler Massendurchflussregler (MFC)	Elastomer-gedichteter MFC, Durchflussraten bis zu 250 slm, universeller Massendurchflussregler für verschiedene Gase, verschiedene Regelbereiche

Other Compatible MFCs/MFMs