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INFICON Auswahl an Durchführungen INFICON Feedthrough Selection 1

INFICON Auswahl an Durchführungen

Die folgenden Vakuumdurchführungen sind mit allen INFICON Quarzkristall-Depositions-Controllern kompatibel. Jede Durchführung bietet koaxiale elektrische Verbindungen und Rohre für Luft- oder Wasseranschlüsse. Ein Durchführungstyp ist für jede Sensorinstallation erforderlich. Wählen Sie die passenden Durchführungen in Verbindung mit Ihren Vakuumanschlüssen und Sensortypen.

HINWEIS:

  • Luft- und Wasserleitungen haben 3/16 Zoll (0.48cm) Außendurchmesser. Für den Dual Sensorkopf sind zwei elektrische Anschlüsse erforderlich.
  • Alle Sensoren mit Shutter benötigen eine geeignete Durchführung sowie das Steuerventil (750-420-G1).
  • Die Durchführungskonfiguration hängt von den ausgewählten Optionen ab (Front Load oder Cool Drawer sowie Art der Durchführung und Anschlüsse). Beispiel: SL-A0E37 verwendet Durchführung p/n 002-042 während SL-A1E37 Durchführung p/n 750-030-G1verwendet. CDD-AF40, -AF47, -BF40, und -BF47 verwenden ein 2-teiliges Hybrid-Durchführungsdesign aufgrund von Maßgrenzen eines Standard CF40.

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Bestelltabelle

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Beschreibung Montage Compatible Sensor(s) Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
Beschreibung Montage Compatible Sensor(s) Teilenummer Preis Auf Lager Artikel hinzufügen
F/T, QCM SENSOR, 1" SCHRAUBE, (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS 1 Zoll (2.54cm)
Schraubenloch
Nur frontbeladen
002-042
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, 1" SCHRAUBE, ULTRATORR FITTINGS, (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS 1 Zoll (2.54cm)
Schraubenloch
Nur frontbeladen
750-624-G1
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, 1" SCHRAUBE, (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, (1) PNEUMATIC, FOR SINGLE SENSORS W/ SHUTTER 1 Zoll (2.54cm)
Schraubenloch
Nur frontbeladen
750-030-G1
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
002-043
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), (3) ROHRE, (2)KOAXIAL, FOR DUAL SENSORS 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
002-080
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), ULTRATORR FITTINGS, (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
206-878-G2
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), ULTRATORR FITTINGS, (3) ROHRE, (2)KOAXIAL, FOR DUAL SENSORS 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
206-890-G2
Auf Anfrage
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Enthält einen koaxialen zwei Wasser- und zwei Luftschlauchanschlüsse (Kupferdichtung). 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
750-683-G1
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), (3) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS W/ SHUTTER 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
750-685-G1
Auf Anfrage
Contact KJLC for Availability
F/T, QCM SENSOR, CF40 FLANGE (2-3/4" CF), ULTRATORR FITTINGS, (3) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS W/ SHUTTER 2-3/4 Zoll
(NW35 CF)
Conflat Flansch
Nur frontbeladen
750-685-G2
Auf Anfrage
Auf Lager
F/T, QCM SENSOR, KF40, (3) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS KF40 Flansch nicht verfügbar
130239
Auf Anfrage
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F/T, QCM SENSOR, KF40, (2) ROHRE, (1)KOAXIAL, FOR SINGLE SENSORS KF40 Flansch nicht verfügbar
130246
Auf Anfrage
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