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INFICON Auswahlhilfe zu Depositions-Monitoren und -Controllern


Überwachen vs. Steuern

Der Quarzkristall-Mikrowaagen-Monitor (QCM) stellt die Depositionsrate und die Gesamtdicke eines abgeschiedenen Dünnfilms dar, stellt jedoch keine Ausgängen oder Regelkreisläufe zu Verfügung, um die angelegte Leistung während der Deposition zu steuern. Einige Monitore haben jedoch Sollwertrelais, die es ermöglichen, eine bestimmte Beschichtung zu stoppen, sobald die vorbestimmte Schichtdicke erreicht ist.

Eine QCM-Steuerung (Controller) zeigt ebenso Depositionsrate und die Gesamtdicke an, liefert jedoch im Gegensatz dazu eine sofortige Rückmeldung über die Depositionsrate an die Stromversorgung der Depositionsquelle. Das heißt, während des Prozesses kann jede Änderung der Depositionsrate durch automatische Einstellungen der Stromversorgung korrigiert werden. Die meisten Controller verfügen über eine interne PID-Logik, die es dem Bediener ermöglicht, die Steuereigenschaften an die meisten verfügbaren Depositionsquellen anzupassen.

Komponenten für Schichtdicken-Monitore/Controller

Um den Bestellvorgang zu vereinfachen, werden folgende Komponenten zur Erstellung eines kompletten Pakets benötigt:

  • Sensor: Hält den Kristall in einer Position, in der er dem Depositionsmaterial ausgesetzt ist.
  • Kristall (Gold, Silber oder Legierung, abhängig von der Anwendung): Bestimmt die Oszillatorfrequenz, die sich ändert, wenn der Kristall beschichtet wird.
  • Optionaler Sensorshutter: Luftbetätigte Blende exponiert oder schirmt den Kristall von dem Depositionsmaterial ab. Erforderlich für Dualsensoren. Es wird ein geeignetes Durchführungs- und Blendensteuerventil benötigt.
  • In-Vakuum-Kabel: Koaxialkabel verbindet den Sensor mit der Durchführung. (Nicht erforderlich für Cool Drawer Sensoren und ausheizbare Front Load-Sensoren)
  • Durchführung: Leitet elektrische Signale, Kühlwasser und/oder Luft durch die Wand der Vakuumkammer.
  • 6-Zoll-BNC-Kabel: Koaxiales BNC-Kabel verbindet die Durchführung mit dem Oszillator.
  • Oszillator*: Die Elektronik, die den Kristall betreibt.
  • Sensoreingangskabel: Koaxiales BNC- oder Mehrleiterkabel verbindet den Oszillator mit dem Eingang des Monitors/Controllers.
  • Monitor/Controller: Die Elektronik und Software zur Bedienung des Systems.

Ein Monitor misst die Depositionsrate und -dicke. Ein Controller stellt darüber hinaus ein Ausgangssignal bereit, zur Steuerung der Stromversorgung der Depositionsquelle und der Depositionsrate.

* Oszillatoren sind nicht austauschbar; sie sind auf einen bestimmten Monitor oder Controller abgestimmt

Auswahlhilfe zu Depositions-Monitoren und -Controllern

  FTM-2400-S &
FTM-2400-H Monitore
[Produkt anzeigen]
FTC-2800 &
FTC-2800C Controller
[Produkt anzeigen]
XTC/3M & XTC/3S
Controller
[XTC/3M anzeigen]
[XTC/3S anzeigen]
IC/6
Controller
Cygnus
Controller
Messung
Frequenz
Bereich
1,0 bis 6,5 MHz 1,0 bis 6,5 MHz 5,0 bis 6,0 MHz 4,5 bis 6,0 MHz 4,5 bis 6,0 MHz
Messung
Auflösung
0,37 Å(S); 0,037 Å(H) ± 0,015 Å ±0,034 Å ±0,00433 Å ±0,0042 Å
Reference
Frequenz
Stability
±2 ppm total (0 to 50°C) ±2 ppm total (0 to 50°C) ±2 ppm total (0 to 50°C) ±2 ppm total (0 to 50°C) ±2 ppm total (0 to 50°C)
Rate Display
Auflösung
- 0,01 Å/sec 0,1 A/s for 0,0 to 99,9 A/s
1 A/s for 100 to 999 A/s
0,001 for 0 to 9,999 Å/s
0,01 for 0 to 99,99 Å/s
0,1 for 100 to 999,9 Å/s
0,001 for 0 to 9,999 Å/s
0,01 for 0 to 99,99 Å/s
0,1 for 100 to 999,9 Å/s
Frequency Rate
Auflösung
±0,30 Hz(S); ± 0,03 Hz(H) ±0,012 Hz ±0,028 Hz @ 6 MHz ±0,0035 Hz @ 6 MHz ±0,0035 Hz @ 6 MHz
Messung
Interval
0,10 to 2,0 s (adjustable) 0,10 to 1,0 s (adjustable) 0,25 s 0,10 s 0,10 s
Dicke
Genauigkeit
- 0,50 % 0,50 % 0,50 % 0,50 %
Multiple
Sensoren
Ja
(Up to 6 sources)
Ja
(Up to 4 sources)
Ja
(Up to 2 sources)
Ja
(Up to 8 sources)
Ja
(Up to 6 sources)
Messung Conventional Oscillation Conventional Oscillation ModeLock ModeLock ModeLock w/ Auto Z
Auto Z Nein Nein Nein Ja Ja
Auto
Tune
Nein Nein Nein Ja Nein
Co-Deposition Nein Ja
(Up to 4 sources)
FTM-2800C only
Nein Ja
(Up to 6 sources)
Ja
(Up to 6 sources)
Film
Programme
99 50 9 (XTC/3S); 32 (XTC/3M) 32 -
Prozesse Nein 100 1 (XTC/3S); 99 (XTC/3M) 50 -
Prozesse
Schichten
Nein 1000 1 (XTC/3S); 999 (XTC/3M) 200 -
Data
Logging
Ja Ja Ja Ja Ja
On-Board
Laufwerk
Nein Nein Nein Ja Ja
(Optional)
Einzel
Sensoren
2 Standard
6 Optional
2 Standard
4 Optional
2 Standard 2 Standard
8 Optional
Up to 6
Doppel
Sensoren
1 Standard 1 Standard
2 Optional
2 Standard
(with XTL2 Optional)
1 Standard
4 Optional
6
(with on XTL2 per sensor input)
Crystal12™
Sensoren
Nein Ja Ja Up to 8 Up to 6
Anzahl an
Quellen
Nein 2 Standard
4 Optional
2 Standard Up to 6 Up to 6
Eingänge 4 Standard 8 Standard, 16 Optional 8 TTL 14 Standard (Up to 28) 14 Standard (Up to 28)
Ausgänge 4 Standard 8 Standard
16 Optional
12 Relays + 8 TTL 8 Standard (Up to 24)
programmierbare SPST-Relais.
(14 Optional TTL available)
8 Standard (Up to 24)
programmierbare SPST-Relais.
(14 Optional TTL available)
Kommunikations
Schnittstelle
RS-232 Standard
(TCP/IP or USB Optional)
RS-232 und USB Standard
(RS-232 and TCP/IP Optional)
RS-232 Standard
(TCP/IP and Ethernet Optional)
RS-232 Standard
Ethernet Optional
RS-232 Standard
(IEEE488 Optional)
Abmessungen
(H x B x T)
3,5" x 8,5" x 7,75"
8,9 cm x 21,3 cm x 19,7 cm
(Half Rack)
5,23" x 8,4" x 10,0"
13,3 cm x 21,4 cm x 25,4 cm
(Half Rack)
3,5" x 8,0" x 12,0"
8,9 cm x 20,3 cm x 30,5 cm
(Half Rack)
5,25" x 19" x 13"
13,3 cm x 48,3 cm x 33,0 cm
(Full Rack)
5,25" x 19" x 13"
13,3 cm x 48,3 cm x 33 cm
(Full Rack)

Kontaktieren Sie international@lesker.com | +1 412 387 9200, um mehr Informationen zu erhalten, einschließlich der Preisgestaltung und -optionen, und um Ihre spezifischen Prozessanwendungsanforderungen zu besprechen.

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