KJLC R-Series RF Power Generator Packages

Repräsentative Abbildung

KJLC-R-Serie RF-Leistungsgenerator-Pakete

KJLC R-Series RF Power Generator Packages 1

KJLC R-Series RF Power Generator Packages 2

KJLC-R-Serie RF-Leistungsgenerator-Pakete

RF-Generatorpakete der R-Serie bieten zuverlässig Leistung für Magnetron-Sputtern, Plasma-Generation und RF-Bias, um Ihre Prozessanforderungen zu erfüllen. Die Pakete enthalten alle Teile eines typischen RF-Netzwerks, komplett mit notwendiger Inter-Einheit, Verbindungskabel zu Ihrer Torus-Sputter-Kathode sowie Rackmontage-Kits.

Merkmale:

Generator, Anpassungsnetzwerk und Controller enthalten
CE-gekennzeichnet
Mikroprozessorgesteuert, "Solid-State"-Konstruktion
Die Elektronik ist so konstruiert, dass VSWR-Bedingungen minimiert werden
Programmierbares Hochgeschwindigkeits-Pulsieren
Automatische Verstärkerkontrolle
Programmierbare Voreinstellungen
Gleichstromsondeneingang
Variable Hochspannungskondensatoren
Zeigt Vorwärtsleistung, reflektierte Leistung und die DC-Vorspannung an
Analoge oder serielle Schnittstelle
Verlustarmes Design
Automatischer/Manueller Betrieb

Steuerarten zur Regelung der Leistungsausgabe:

DC-Spannung
RF-Spannung
Regelung der Vorwärtsleistung
Regelung der Ladeleistung

Bemaßte Zeichnungen

Tabelle mit Technische Daten - Anpassungsnetzwerk

Modell	300 W Anpassungsnetzwerk	600 W Anpassungsnetzwerk
Stromausgang	300 Watt	600 Watt
Gewicht	10 lbs. (4,53 kg)	10 lbs. (4,53 kg)
Abmessungen	5" H x 9" B x 15" T	5" H x 9" B x 15" T
Ausgangsimpedanz	1,5 bis 35 Ohm -100 bis +75 Ohm	1,5 bis 35 Ohm -100 bis +75 Ohm
Eingangsstecker	Typ "N" Weiblich	Typ "N" Weiblich
Ausgangsstecker	Typ "HN" Weiblich	Typ "HN" Weiblich
Kühlung	Konvektion/Luft	Konvektion/Luft

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Tabelle mit Technische Daten - Controller Anpassungsnetzwerk

Modell	300W/600 W Controller
Eingangsleistung	98-125/196-250 VAC wählbar 47-63 Hz
Abmessungen	3,5" H x 9,5" B x 12,8" T

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Tabelle mit Technische Daten – RF-Generator

Modell	300 W Generator	600 W Generator
Stromausgang	Großer Bereich: 0–300 Watt	Großer Bereich: 0–600 Watt
Eingangsleistung	90–125V oder 190–264V, 1P 47–63 Hz, (Werkseitig konfiguriert)	90–125V oder 190–264V, 1P 47–63 Hz, (Werkseitig konfiguriert)
Frequenz	13,56 MHz, (Festgelegt)	13,56 MHz, (Festgelegt)
Gewicht	27 lbs. (12,2 kg)	37 lbs. (16,8 kg)
Abmessungen	5,25" H x 9,50" B x 18,35" T W = 8,00" (ohne Rackmontage-Kit)	7,00" H x 9,50" B x 18,38" T W = 8,00" (ohne Rackmontage-Kit)
Ausgangsimpedanz	50 Ohm, ± 5 Ohm Nominal	50 Ohm, ± 5 Ohm Nominal
Schnittstellenanschluss	Seriell: DB-9 Buchse Analog: DB-25 Buchse CEX: BNC Buchse	Seriell: DB-9 Buchse Analog: DB-25 Buchse CEX: BNC Buchse
Kühlung	Gebläse, 110 CFM	Gebläse, 110 CFM
Messgenauigkeit	± 1 % der vollen Skala ± 3 % des Messwerts	± 1 % der vollen Skala ± 3 % des Messwerts
Ausgangsleistungsstabilität	± 0,5 % langfristig	± 0,5 % langfristig ± 1Watt
Oberschwingungen	-50 dBc	-50 dBc
Pulsierend	0–1KHz, 1-Hz Schritte 50 micro-sek. Minimalpuls	0–1KHz, 1-Hz Schritte 50 micro-sek. Minimalpuls

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Bestelltabelle

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Individual or Package	Beschreibung	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Individual or Package	Beschreibung	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
R-Series Power Supply Component	AUTO MATCH NETWORK,1000W,3/8" SWAGE,INDUC LOAD,COIL CFG	EJAT10-3/8	$8.055,00
R-Series Power Supply Component	AUTOMATIC MATCHING NETWORK, 300W, LOW PASS FILTER.	EJAT3	$3.400,00
R-Series Power Supply Component	AUTOMATIC MATCHING NETWORK, 600W,	EJAT6	$5.800,00
R-Series Power Supply Component	AUTO MATCH NETWORK/CTRL,2000W,DUAL7/16 DIN,INDUC LOAD	EJATS20-DUAL-7/16DIN	$11.200,00
R-Series Power Supply Component	MATCHING NETWORK CONTROLLER MC2,200V	EJMC2	$2.300,00
R-Series Power Supply Component	MATCH NETWORK CONTROLLER REMOTE,ATS SERIES, 110 VAC	EJMCRS-110	$1.400,00
R-Series Power Supply Component	NETZGERÄT,1 kW, 13,56 MHZ,220V, RS232, CE, "N" AUSGABE	EJR1001-220	$1.400,00
R-Series Power Supply Component	GENERATOR,2000 WATT,13,56 MHZ, WATER COOLER,CE MARK,4 RU, 190-250VAC, 47-63 HZ	EJR2001-13	$21.600,00
R-Series Power Supply Component	NETZGERÄT,300 WATT,13,56 MHZ,120V,RS232,CE,"N" AUSGABE	EJR301-120	$6.534,00
R-Series Power Supply Component	NETZGERÄT,300 WATT,13,56 MHZ,220V,RS232,CE,"N" AUSGABE	EJR301-220	$6.940,00
R-Series Power Supply Component	NETZGERÄT,600 WATT,13,56 MHZ,220V,RS232,CE,"N" AUSGABE	EJR601-220	$6.720,00
Komplettpaket R-Serie Netzgerät	KJLC 300W,120V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE	RF03A12XX300	$9.895,00
Komplettpaket R-Serie Netzgerät	KJLC 300W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE	RF03A22XX300	$9.895,00
Komplettpaket R-Serie Netzgerät	KJLC 600W,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE	RF06A22XX300	$14.150,00
Komplettpaket R-Serie Netzgerät	KJLC 1KW,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE HINWEIS: DIE AUSGANGSANSCHLÜSSE MÜSSEN VOR DEM ANGEBOT MIT PED ÜBERPRÜFT WERDEN.	RF10A22XX300	$21.430,00
Komplettpaket R-Serie Netzgerät	KJLC 2KW,220V RF PWR PKG,SUP,A-MATCH,INHALT,RK MT,KABEL,CE HINWEIS: DIE AUSGANGSANSCHLÜSSE MÜSSEN VOR DEM ANGEBOT MIT PED ÜBERPRÜFT WERDEN.	RF20A22XX300	$26.540,00

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Zubehörtabelle

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Beschreibung	Reference	Typ	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
Beschreibung	Reference	Typ	Teilenummer	Preis	Auf Lager	Artikel hinzufügen
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“	HN-Stecker zu Typ-N-Stecker, RG213, 3ft LG (lang)	Verbindungskabel	EJCBL3HN	$229,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“	Typ-N-Stecker zu Typ-N-Stecker, RG213, 3ft LG (lang)	Verbindungskabel	EJCBL3NN	$144,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE	Typ-N-Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft LG (lang)	Verbindungskabel	EJCBL3NP	$100,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,3 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“	n-Stecker an UHF-Stecker, RG213, 3ft LG (lang)	Verbindungskabel	EJCBL3NU	Auf Anfrage
KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „HN“ ZU STECKER „N“	Type HN plug to Type N Plug, RG213, 6ft LG	Verbindungskabel	EJCBL6HN	$179,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „N“	Type N plug to Type N Plug, 6ft LG	Verbindungskabel	EJCBL6NN	$275,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU ANSCHLUSSLITZE	Type N Plug to Pigtail (1/4" Ring Lug Center Connector And Flying Ground Wire), RG213, 6ft LG	Verbindungskabel	EJCBL6NP	$110,00
KABEL,KOAXIAL,RG213,6 FT OAL,STECKER „N“ ZU STECKER „UHF“	Type N Plug to UHF Plug, RG213, 6ft LG	Verbindungskabel	EJCBL6NU	Auf Anfrage

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