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KJLC-R-Serie RF-Leistungsgenerator-Pakete

RF-Generatorpakete der R-Serie bieten zuverlässig Leistung für Magnetron-Sputtern, Plasma-Generation und RF-Bias, um Ihre Prozessanforderungen zu erfüllen. Die Pakete enthalten alle Teile eines typischen RF-Netzwerks, komplett mit notwendiger Inter-Einheit, Verbindungskabel zu Ihrer Torus-Sputter-Kathode sowie Rackmontage-Kits.

Merkmale:

  • Generator, Anpassungsnetzwerk und Controller enthalten
  • CE-gekennzeichnet
  • Mikroprozessorgesteuert, "Solid-State"-Konstruktion
  • Die Elektronik ist so konstruiert, dass VSWR-Bedingungen minimiert werden
  • Programmierbares Hochgeschwindigkeits-Pulsieren
  • Automatische Verstärkerkontrolle
  • Programmierbare Voreinstellungen
  • Gleichstromsondeneingang
  • Variable Hochspannungskondensatoren
  • Zeigt Vorwärtsleistung, reflektierte Leistung und die DC-Vorspannung an
  • Analoge oder serielle Schnittstelle
  • Verlustarmes Design
  • Automatischer/Manueller Betrieb

Steuerarten zur Regelung der Leistungsausgabe:

  • DC-Spannung
  • RF-Spannung
  • Regelung der Vorwärtsleistung
  • Regelung der Ladeleistung

Bemaßte Zeichnungen


Tabelle mit Technische Daten - Anpassungsnetzwerk

Modell300 W Anpassungsnetzwerk600 W Anpassungsnetzwerk
Stromausgang300 Watt600 Watt
Gewicht10 lbs. (4,53 kg)10 lbs. (4,53 kg)
Abmessungen5" H x 9" B x 15" T5" H x 9" B x 15" T
Ausgangsimpedanz1,5 bis 35 Ohm
-100 bis +75 Ohm
1,5 bis 35 Ohm
-100 bis +75 Ohm
EingangssteckerTyp "N" WeiblichTyp "N" Weiblich
AusgangssteckerTyp "HN" WeiblichTyp "HN" Weiblich
Kühlung Konvektion/LuftKonvektion/Luft

Tabelle mit Technische Daten - Controller Anpassungsnetzwerk

Modell300W/600 W Controller
Eingangsleistung98-125/196-250 VAC wählbar 47-63 Hz
Abmessungen3,5" H x 9,5" B x 12,8" T

Tabelle mit Technische Daten – RF-Generator

Modell300 W Generator600 W Generator
StromausgangGroßer Bereich: 0–300 WattGroßer Bereich: 0–600 Watt
Eingangsleistung90–125 V oder 190–264V, 1P
47–63 Hz, (Werkseitig konfiguriert)
90–125 V oder 190–264V, 1P
47–63 Hz, (Werkseitig konfiguriert)
Frequenz13,56 MHz, (Festgelegt)13,56 MHz, (Festgelegt)
Gewicht27 lbs. (12,2 kg)37 lbs. (16,8 kg)
Abmessungen5,25" H x 9,50" B x 18,35" T
W = 8,00" (ohne Rackmontage-Kit)
7,00" H x 9,50" B x 18,38" T
W = 8,00" (ohne Rackmontage-Kit)
Ausgangsimpedanz50 Ohm, ± 5 Ohm
Nominal
50 Ohm, ± 5 Ohm
Nominal
SchnittstellenanschlussSeriell: DB-9 Buchse
Analog: DB-25 Buchse
CEX: BNC Buchse
Seriell: DB-9 Buchse
Analog: DB-25 Buchse
CEX: BNC Buchse
Kühlung Gebläse, 110 CFMGebläse, 110 CFM
Messgenauigkeit± 1 % der vollen Skala
± 3 % des Messwerts
± 1 % der vollen Skala
± 3 % des Messwerts
Ausgangsleistungsstabilität± 0,5 % langfristig± 0,5 % langfristig
± 1Watt
Oberschwingungen-50 dBc-50 dBc
Pulsierend0–1KHz, 1-Hz Schritte
50 micro-sek. Minimalpuls
0–1KHz, 1-Hz Schritte
50 micro-sek. Minimalpuls

KJLC® Research
Vorteilspackungen
Das KJLC RAP-Programm bietet die Möglichkeit zur Zusammenstellung eines Magnetrons und eines Netzgerätes, passend für Ihre spezielle Anwendung. Klicken Sie hier, um Ihr eigenes Paket zusammenzustellen und bis zu 30 % zu sparen.
Kontakt
Um direkt mit jemandem zu sprechen, rufen Sie bitte +1 412 387 9200 oder senden Sie eine E-Mail an international@lesker.com.


Bestelltabelle

Individuell oder als
Paket
Beschreibung Artikelnummer Preis Auf Lager Artikel
Posten
Individuell oder als
Paket
Beschreibung Artikelnummer Preis Auf Lager Artikel
Posten
Komplettpaket R-Serie Netzgerät
R301 300 W Netzgerät Paket (120 VAC), Auto-Match
RF03A12XX300
$9.335,00
Call for Availability
Komplettpaket R-Serie Netzgerät
R301 300 W Netzgerät Paket (220 VAC), Auto-Match
RF03A22XX300
$9.615,00
Call for Availability
Komplettpaket R-Serie Netzgerät
R601 600 W Netzgerät Paket (220 VAC), Auto-Match
RF06A22XX300
$13.375,00
Call for Availability

Wenden Sie sich an sales@lesker.com, um mehr Informationen zu erhalten, einschließlich der Preisgestaltung und -optionen, und um Ihre spezifischen Prozessanwendungsanforderungen zu besprechen.

Zubehörtabelle

Typ Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Artikel
Posten
Typ Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Artikel
Posten
Verbindungskabel
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
EJCBL3HN
Auf Anfrage
Call for Availability
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 3ft lang
EJCBL3NN
Auf Anfrage
Auf Lager
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 3ft lang
EJCBL3NP
Auf Anfrage
Auf Lager
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu UHF Stecker, RG213, 3ft lang
EJCBL3NU
Auf Anfrage
Call for Availability
Verbindungskabel
Typ HN Stecker zu Typ N Stecker, RG213, 6ft lang
EJCBL6HN
Auf Anfrage
Call for Availability
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu Typ N Stecker, 6ft lang
EJCBL6NN
Auf Anfrage
Auf Lager
Verbindungskabel
Typ N-Stecker zu Anschlusslitze (1/4" Anschluss mit Ringkabelschuh und Erdungsleitung), RG213, 6ft lang
EJCBL6NP
Auf Anfrage
Call for Availability
Verbindungskabel
Typ N Stecker zu UHF-Stecker, RG213, 6ft lang
EJCBL6NU
Auf Anfrage
Call for Availability

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