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UHV Design EpiCentre – Eine Einführung in Depositionsprobenstationen


Die EpiCentre-Reihe an Depositionsprobenstationen verwendet hochmodernes Design und Ingenieurskunst, um eine Hochtemperatursubstraterheizung und -manipulation unter echten UHV-Bedingungen zu ermöglichen. EpiCentres wurden für Depositionsanwendungen wie MBE (Molecular Beam Epitaxy), Sputtern und CVD (Chemical Vapor Deposition) entwickelt. Substrat-Annealing, Ausgasen und andere Hochtemperaturmaterialmodifikationen können ebenfalls durchgeführt werden.

EpiCentres können in jeder Ausrichtung montiert werden, um den kundenspezifischen Kammerdesigns und Anwendungskonfigurationen gerecht zu werden.

Die EpiCentre-Reihe wird seit vielen Jahren von führenden Forschungslaboren auf der ganzen Welt eingesetzt. Referenzen von Endbenutzern sind für eine Vielzahl von Anwendungen und Substratgrößen verfügbar. Die Reihe umfasst drei Modelltypen: EC-I, EC-R und GLAD.

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