EPS Series - Substrate Preparation Stage

Übersicht

• 2" or 4" substrates
• Substrate heating to 800°C
• Substrate rotation to 60rpm
• 50 mm height adjustment
• Manual and motorized actuation

Die Inline-Präparationsprobenstationen der EPS-Serie halten das Substrat parallel zum Befestigungsflansch. The stationary EPS heating module provides durable and uniform heating of 2" or 4" substrates to 800°C with Molybdenum heat shields provided to minimize heat loss. A Type K thermocouple is provided as standard.

Manuelle oder motorisierte Substratrotation bis 60rpm wird von den magnetisch gekoppelten MagiDrive-Drehdurchführungen bereitgestellt. Eliminating unnecessary bellows and dynamic seals from the EPS ensures true UHV performance and increases reliability.

In addition to substrate rotation, the 50 mm height adjustment option allows the substrate position to be optimized via manual or motorized actuation. The EPS series of preparation stages provide cost-effective and durable sample preparation capability. For higher temperature heating, DC/RF biasing or additional capabilities see the EC-I series.

Optionen: Serie

Option 1

• Heating to 800°C

Option 2

• Heating to 800°C
• Substrate rotation option (motorised)

Option 3

• Heating to 800°C
• Substrate rotation (motorised)
• 50 mm height adjustment option (manual)

Konfiguration der Probenstation: EPS Serie

EpiCentre Netzgeräte & Controller

EpiCentre Controller und Netzgeräte

Die EpiCentre-Reihe kann so konfiguriert werden, dass vorhandene Motor-, Temperaturregler- und Heizelement-Netzgeräte verwendet werden können. Wo neue Geräte benötigt werden, bieten wir Komplettlösungen aus einer Reihe von hochwertigen, modularen Steuergeräte-Paketen.

Substratrotation

EpiCentre Probenstationen mit Wafer-Probenrotation können mit DC- oder Schrittmotoren ausgestattet werden. Die DC-Option wird für eine gleichmäßige, kontinuierliche Rotation bevorzugt. Wenn jedoch eine Indexierung oder Positionierung des Substrats erforderlich ist, sollte ein Schrittmotor ausgewählt werden.

Schrittmotoren

Das programmierbare Schrittmotor-Steuergerät (SMC-Serie) bietet eine vollständige Lösung für die Substratrotation. Die Benutzeroberfläche ist mit einer eigenen WindowsTM-basierten Software ausgestattet, die intuitiv bedienbar ist und umfassende Steuerungsmöglichkeiten bietet. Es kann auch über verschiedene Ein- und Ausgänge mit einem vorhandenen Host-Controller verbunden werden.

DC Motoren

Wenn DC-Motoren für das EpiCentre Substrat-Rotations-System ausgewählt werden, kann der Rotationscontroller verwendet werden. Diese Einheit enthält ein 24VDC Netzteil, das für die Geschwindigkeitskontrolle sorgt. Ein rückseitiger Anschluss ermöglicht die Fernbedienung von einem 0-10 V Programmiersignal. Die Einheit ist in einem halben Rack, 3U Gehäuse untergebracht und entspricht den CE-Vorschriften.

Axial-Bewegung

Zur Motorisierung der verschiedenen angebotenen Axial-Bewegungen wird empfohlen, dass der Kunde entweder das programmierbare Schrittmotor-Steuergerät oder den Hand-DC-Controller verwendet.

Temperaturregler

Für optimale Heizung der Probenstation und Substrattemperaturregelung wird das TC1 Netzgerät mit 3-Term-Proportional-Temperaturregelung angeboten. Die Einheit besteht aus einem PID-Temperaturregler von Eurotherm (Proportional, Integral und derivativ), der ein programmierbares DC-Netzgerät von Glassman mit geeigneter Spannung/Stromstärke ansteuert, um die Anforderungen der Heizer zu erfüllen.

Die Glassman-Einheit bietet einen zuverlässigen, rauscharmen Betrieb, der sich mit geringer Elementspannung und minimalen EMV-Störungen für RHEED-Messungen eignet.

Der TC1 ist CE konform und kann mit einer Reihe von Funktionen geliefert werden.