UHV Heizmodule

Eine kosteneffektive Lösung für die Heizung von Proben, wobei bewährte Heiztechnologie zum Einsatz kommt. Sie umfassen CVD-behandelte Heizelemente, die in hitzebeständigen Metallgehäusen verpackt sind.

Merkmale

• Hoch-homogene Heizung auf 1200°C
• Elemente mit großem Verhältnis von Abstrahlfläche zu Spalt – können bei niedrigeren Temperaturen als herkömmliche Metallheizelemente betrieben werden
• Heizzone aus hitzebeständigem Metall – kompromisslose Leistung bei hohen Temperaturen

Übersicht

Zusätzlich zu den kompletten Probenheizlösungen aus der EpiCentre-Reihe bietet UHV Design eine Serie von individuellen Heizmodulen für Endanwender zur Integration in individuelle Probenheizstationen. Das Sortiment bietet Endbenutzern eine kosteneffektive Lösung für die Probenbeheizung und profitiert gleichzeitig von einer bewährten Heiztechnologie, die in marktführenden Probenstationen eingesetzt wird.

Heizmodul-Übersicht

UHV Design Heizmodule werden in Vakuumanwendungen eingesetzt, um Halbleiterwafer, gehalterte Proben oder verschiedene andere Substrate per Strahlungsheizung auf hohe Temperaturen zu erhitzen. Die Module verfügen über CVD-verarbeitete Heizelemente, die in hitzebeständigen Metallgehäusen verpackt sind. Die unmittelbare heiße Zone, die das Element enthält, besteht aus hochschmelzenden Metallen wie Molybdän, Tantal und Keramik und enthält keine anderen Materialien, die die Leistung bei hohen Temperaturen beeinträchtigen. Diese Module sind daher besonders für Ultrahochvakuumanwendungen geeignet.

Thermoelemente

Heizmodule sind mit Thermoelementen vom Typ 'C' oder 'K' erhältlich und können mit Quarz-Schutzvorrichtungen in Halbleiterqualität geliefert werden, um das Heizelement vor mechanischer Beschädigung, insbesondere versehentlichem Kontakt mit dem Probentransferwerkzeug, zu schützen. Typ C (Wolfram/Rhenium) Thermoelemente sind standardmäßig enthalten. Für Anwendungen, bei denen die Verwendung von Wolfram oder Rhenium unerwünscht ist, kann ein Thermoelement Typ K (Chromel/Alumel) geliefert werden.

SiCg Elemente

sSiC Elemente

Die Wahl des richtigen Elements

Bis vor kurzem wurden Graphitheizungen in den meisten Depositionsstufen verwendet und sind immer noch die Grundlage, die eine robuste Leistung in UHV-Anwendungen wie MBE bietet. Graphitheizkörper oxidieren jedoch und werden abgenutzt, wenn sie in Gegenwart von hohen Partialdrücken von O2bei hoher Temperatur betrieben werden.

Für Sputteranwendungen mit hohen Partialdrücken von,O2 sind andere Technologien außerdem mit überlegener Leistung verfügbar.

SiCg Elemente

Feste Siliciumcarbid beschichtete Graphitelemente bieten eine verbesserte Beständigkeit bei Verwendung oxidierender Atmosphären im Vergleich zu PgG. Da es sich um eine isolierende Form von SiC handelt, sind Löcher in der Beschichtung erforderlich, um eine elektrische Verbindung herzustellen, und der darunter liegende Graphit ist an diesen Stellen exponiert und anfällig für Oxidation.

sSiC Elemente

Feste Siliciumcarbidelemente werden aus einem leitenden festen SiC-Material in der β-Phase hergestellt und sind in jeder Hinsicht robuster. Sie sind beständig gegen mechanische oder elektrische Schocks, reaktive Gas-/Oxidationsimmunität bei Temperatur. Sie sind auch dahingehend optimiert, das Allerbeste in der Temperaturgleichmäßigkeit zu geben. Aufgrund des großen Abstrahlungsflächen-Spalt-Verhältnisses laufen alle diese Elemente bei beträchtlich niedrigeren Temperaturen als oft verwendete Metalldrahtheizer, was die Langlebigkeit der Heizeinrichtung sicherstellt. Das typische Verhältnis von erwärmter Elementoberfläche zu Mäanderlücke ist >5:1, was zu einer ausgezeichneten Gleichmäßigkeit der Substratheizung, sogar ohne Rotation, führt.

UHV-Heiztechnologie

Kurzanleitung: Typischer Widerstand des Standardheizelements