Radialverteilerkammerlösungen
Einführung zum drehbaren Teleskoptransferarm
Radialsysteme erfordern die präzise Übertragung von Proben zwischen mehreren Kammern zur Vorbereitung und Analyse. Dies wird von der zentralen radialen Verteilerkammer bewerkstelligt.
Der Radial-Teleskop-Transfersarm (RTTA) stellt einen Fortschritt im Bereich der radialen Verteilungstechnologie dar und bietet eine unübertroffene Leistung gegenüber herkömmlichen Konstruktionen bei vergleichbaren Kosten. The RTTA uses a high torque magnetically coupled MagiDrive (see catalogue Section 1) to provide extremely stiff coupling for radial motion. Diese radiale Bewegung wird verwendet, um den Transferarm mit der gewünschten Kammeröffnung auszurichten, um eine Winkelreproduzierbarkeit von <0,2 mm zu erreichen. Ein zweiter MagiDrive wird verwendet, um den innovativen Teleskopmechanismus zu steuern, der eine Armverlängerung von 760 mm ermöglicht (2,5x der Verlängerung herkömmlicher Designs), um die Probe in die gewünschte Satellitenkammer hinein und aus dieser heraus zu transportieren. Der Präzisionsschlittenmechanismus erreicht eine lineare Reproduzierbarkeit von <0,2 mm mit <1 mm Durchbiegung bei voller Ausdehnung bei einer 10N Last.
RTTA Hauptvorteile
- 2,5x Reichweite herkömmlicher Designs
- In der Regel <1 mm Durchbiegung bei voller Ausdehnung bei einer 10N Last
- Exzellente Reproduzierbarkeit der Substratposition: <0,2 mm seitlich & axial
- 2 und 3-Achsen-Varianten
- Echte UHV-Leistung
Der RTTA ist in 2-achsiger und 3-achsiger Ausführung erhältlich. Der 2-Achsen-RTTA bietet eine Rotation für die Anschlussausrichtung und Armverlängerung für den Probentransfer. The 3-axis RTTA also includes the ability to lift and lower the sample arm for gravity based hand off typically used on MBE, sputtering and CVD sample manipulators and heating stages.
Benutzerfreundliche manuelle Armausrichtung
Die manuelle Version des RTTA wird mit einem innovativen, benutzerfreundlichen System geliefert, um den Arm mit den gewünschten Anschlüssen auszurichten.
An der Spitze des Kauschringes ist eine Reihe von einstellbaren Positionsanschlägen angebracht. Diese greifen in ein Paar federbelastete Lager, die herausgezogen werden können, während der Antrieb in Position gedreht und dann wieder eingerastet wird, um den Antrieb mit einem einfachen Hebel in Position zu halten. Jeder Stopp kann individuell mit einer Anschlussachse ausgerichtet werden, um Standardwinkelpositionen zu definieren, die sehr reproduzierbar sind.
True UHV Rotation With No Oil, Slip Rings, Bellows or Differential Pumping
The Radial Telescopic Transfer Arm is actuated by the MD64LB and MD40 magnetically-coupled MagiDrive rotary feedthroughs. Sie bieten eine echte UHV-Leistung ohne Balg, Öl, Schleifringe oder differenzielles Pumpen. Der größere MD64LB hat ein Losbrechmoment von ~40Nm, was zu einer extrem steifen Kupplung führt, die ideal zum Drehen der Armbaugruppe ist. Der kleinere MD40 betätigt die Mechanismen zum Ein- und Ausfahren des Arms.
Motorisiertes 'Talk Free' Konzept
Ein Problem bei vielen radialen Verteilerkammer-Systemdesigns ist das Problem der Dreharmbewegung, die verursacht, dass sich die Armverlängerungsbaugruppe bewegt (wird oft als Achsenübersprechen beschrieben). Daher bewirkt die Drehung des Arms auch, dass die Probe ein- und ausgefahren wird und ihre Position verliert. Um dies zu überwinden, ist eine komplexe Softwareprogrammierung erforderlich, um den Sekundärantrieb während der Drehung des Arms zu entspannen.
UHV Design recognizes this to be an unwanted feature and has, therefore, removed this as an issue through a unique mechanical design used on many other UHV Design manipulators over the years. Kurz gesagt, dies verbindet die Drehbewegung des MD64 Arms zur Motorhalterung des kleineren MD40, was zur mechanischen Entspannung der unerwünschten Bewegung führt, ohne die Notwendigkeit für komplexe Software.
Possible Actuation Methods
| Rotation Axis | Arm Extension Axis | Lift/Lower (3 Axis Only) | |
| Manuell | ✔ | ✔ | ✔ |
| Schrittmotor | ✔ | ✔ | ✔ |
| SMART Motor | ✔ | ✔ | ✔ |
| Without motor but with mounting provision | ✔ | ✔ | ✔ |
Mating Chamber
Merkmale
- Standard 762 mm/30" standard OD chamber that will accommodate all standard variants of the RTTA.
- All internal welds, allowing for true UHV performance
- A DN160CF (8" OD) CF port for maintenance and installation of the RTTA
- 6 radial ports for transfer, with options for both DN100CF (6" OD) CF and DN160CF/8"CF
- DN63CF (4,5" OD) CF ports for mounting viewports (not included) for setup of sample transfer
- Optional frame for easy system setup. Frame height can be customized to match your current system transfer height
- Variants with diameters of 660 mm/26" and up available for custom applications (must verify fit of RTTA or non-standard RTTA requested)
Hauptvorteile
- Compact volume allowing for optimized pump performance, while allowing mounting of both 2-axis and 3-axis variants.
- All internal welds, allowing for true UHV performance
- Strengthened DN200CF/10"CF pumping port on the base, allowing for mounting of large turbo pumps and ion pumps
- Unique safety pumping port. An internal lip in the chamber prevents any samples that get dislodged in transfer from entering the port
- A removable splinter shield fits directly into the pump port for pump protection
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