A User's Guide to Vacuum Technology - Technische Bücher über Vakuum
By J. O'Hanlon
Wiley-Interscience, 3. Edition(2003)
2003, 516 pp.
ISBN:0471270520
Inhaltsverzeichnis | |
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Kapitel 1 - Vakuumtechnologie | Kapitel 14 - Getter und Ionenpumpen |
Kapitel 2 - Gaseigenschaften | Kapitel 15 - Kryogene Pumpen |
Kapitel 3 - Gasfluss | Kapitel 16 - Materialien im Vakuum |
Kapitel 4 - Gasfreisetzung von Feststoffen | Kapitel 17 - Gelenke, Dichtungen und Ventile |
Kapitel 5 - Manometer | Kapitel 18 - Schmierung |
Kapitel 6 - Durchflussmesser | Kapitel 19 - Grobvakuumpumpen |
Kapitel 7 - Pumpgeschwindigkeit | Kapitel 20 - Hochvakuumsysteme |
Kapitel 8 - Restgasanalysatoren | Kapitel 21 - Ultrasaubere Vakuumsysteme |
Kapitel 9 - Interpretation von RGA Daten | Kapitel 22 - Systeme mit hohem Durchfluss |
Kapitel 10 - Mechanische Pumpen | Kapitel 23 - Mehrkammersysteme |
Kapitel 11 - Turbomolekularpumpen | Kapitel 24 - Leckagesuche |
Kapitel 12 - Diffusionspumpen | Symbole |
Kapitel 13 - Pumpenflüssigkeiten | Anhänge |