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Busch Cobra Serie Schraubenvakuumpumpe Busch Cobra Series Screw Vacuum Pump 1 Busch Cobra Series Screw Vacuum Pump 2 Busch Cobra Series Screw Vacuum Pump 3

Busch Cobra Serie Schraubenvakuumpumpe

Die COBRA Trockenschrauben Vakuumpumpen bieten hochmoderne Verfahren für den groben Betrieb und Lösungen mit hoher Kapazitätslast für die anspruchsvollsten Anwendungen in den Bereichen Solar, Flachbildschirm, Halbleiter oder Beschichtung. Diese Vakuumpumpen haben die beste Pumpgeschwindigkeit kombiniert mit überlegenem Wasserstoffdurchsatz und ausgezeichneten Pulverhandhabungsfähigkeiten, die aus ihrem einzigartigen Schraubenpumpendesign resultieren.

COBRA BA 0100 C Serie Pumpen verwenden eine hochleistungsfähige Luftkühlungs methode, die die Notwendigkeit für Kühlwasser beseitigt. Das einzigartige "fliegend aufgehangene" Schraubenaufhängungsdesign eliminiert Probleme mit dem Einlasslager und ermöglicht eine reduzierte Grundfläche.

Die COBRA BC 0100 F Serie Pumpen pumps enthalten SPS-Steuerungen und sind mit einer speziellen Beschichtung zum Umgang mit korrosiven Gasen und Dämpfen ausgestattet. Diese Vakuumpumpen verwenden eine direkte Kühlungsmethode in einheitliche Temperaturen im gesamten Pumpenkörper, was zur Beseitigung von kalten Stellen und zu einem thermisch stabilen Wassermantel führt. Die BC Serie verwendet ebenso das einzigartige "fliegend aufgehangene" Schraubenaufhängungsdesign, das Probleme mit dem Einlasslager eliminiert und eine reduzierte Grundfläche ermöglicht.

Merkmale:

  • Kostengünstig, lange Betriebszeit, energieeffizient
  • Lange Wartungsintervalle
  • Zuverlässig im Betrieb
  • Anwendungsorientiert
  • Leiser Betrieb ≤ 58 dB (A)

Anwendungen:

  • Atomlagenabscheidung (ALD)
  • High-Density-Plasma-CVD (HDP-CVD)
  • Subatmosphärisches CVD (SACVD)
  • Metall-organisches CVD (MOCVD)
  • Plasma-verstärktes CVD (PECVD)
  • Niederdruck-CVD (LPCVD)
  • Schnelle thermische Verarbeitung (RTP)
  • Schleusenkammeranwendung

Bemaßte Zeichnungen

 
BA0100 BC0100F

Spezifikationstabelle

Pumpenmodell BA 0100 C BC 0100 F
Pumping Speeds
50 (Hz)
50,0 CFM
1416 L/min
23,6 L/s
85,0 m3/hr
60 (Hz)
61,8 CFM
1749 L/min
29,2 L/s
105 m3/hr
50 (Hz)
58,9 CFM
1666 L/min
27,8 L/s
100 m3/hr
60 (Hz)
59,0 CFM
1672 L/min
27,9 L/s
100 m3/hr
Max Water Vapor
Pumping Rate
(with gas ballast)
1000 g/hr
Enddruck
Total Without Gas Ballast
1,00 x 10-2 hPA
1,00 x 10-2 mbar
1,00 x 100 Pa
7,50 x 10-3 Torr
Total Without Gas Ballast
1,00 x 10-2 hPA
1,00 x 10-2 mbar
1,00 x 100 Pa
7,50 x 10-3 Torr
Cooling Method(s) Method
Konvektionsoptimiertes Pirani
Method
Wasser
Motor Power HP (kW) 2,40 ( 1,80 ) 2,40 ( 1,80 )
Einlassflansch KF50
KF50
Abgasflansch KF40
KF40
Geräuschentwicklung db(A) 58,0 58,0
Weight Lbs (kg) 264 ( 120 ) 265 ( 120 )
Dimensions in. (mm.) 25,0 x 12,0 x 13,4
(635 x 304 x 339 )
33,0 x 12,0 x 14,3
(838 x 304 x 362 )
Lubrication Type Trocken
Trocken
Technology Type Schraube
Schraube
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  • Eine Charge Fomblin ist in der BA enthalten 0100C. Allerdings ist Fomblin nicht in der BC 0100 F enthalten und muss separat bestellt werden.

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Pumpenmodell Einlassflansch Voltage & Phases Manuell Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Pumpenmodell Einlassflansch Voltage & Phases Manuell Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
BA 0100 C KF50 208-240/380-480V
50/60Hz,3-Ø
PDF downloaden PUMPE,TROCKENSCHRAUBE,BA0100C,DN50 ISO-KF,208-240/380-480 V 50/60HZ,LUFTGEKÜHLT,FREQUENZUMRICHTER,HAUPTSCHALTER VORNE,SCHALLDÄMPFER HORIZONTAL VORNE,DILUTION N2 UNTER + SCHUTZGAS,MIT LENKROLLEN,MIT SUB-D-BUCHSE,PFPE 1361570714 Auf Anfrage Call for Availability
BA 0100 C KF50 200-230V
60Hz, 3-Ø
PDF downloaden PUMPE,TROCKENSCHRAUBE,BA0100C,DN50 ISO-KF,200-230 V 60HZ,LUFTGEKÜHLT,HAUPTSCHALTER VORNE,SCHALLDÄMPFER HORIZONTAL VORNE,CASTOR-RÄDER,PFPE 1361570761 Auf Anfrage Call for Availability
BC 0100 F KF50 200/400/460V
50/60Hz, 3-Ø
PDF downloaden PUMPE,TROCKENSCHRAUBE,BC0100F,DN50 ISO-KF, 200/400/460 50/60HZ, WASSERGEKÜHLT 1361700216 Auf Anfrage Call for Availability
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Zubehörtabelle

Für Pumpenmodell(e) Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
Für Pumpenmodell(e) Beschreibung Teilenummer Preis Auf Lager Zum Warenkorb hinzufügen
BA 0100 C, BC 0100 F Auto-Soft Flow Actuated Check Valve (KF50)
225-0050
Auf Anfrage
Auf Lager
BA 0100 C, BC 0100 F Clamping Kit, Für QF50 Flansch, Including Aluminum Clamp and FKM Centering Ring
QF50-HDKIT
Auf Anfrage
Call for Availability
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