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Vakuumventile

VAT Ventil-

Verschlüsse und Pendelventile (A)


werden hauptsächlich zur Turbo- und Kryopumpenisolierung verwendet. Neben der Halbleiterindustrie werden sie oft in FPD-Produktionssystemen, in der Beschichtungsindustrie, in der Forschung & Entwicklung usw. eingesetzt.

Steuerventile (B)


In Kombination mit einer Steuerung kontrollieren Sie den Druck in Vakuumprozessen. Das Steuerventil wird zwischen der Prozesskammer und der Pumpe installiert, um die Pumpgeschwindigkeit zu steuern. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung.

Transfer Valves and Doors for Semi (C)


werden für die Schleusen- und Prozesskammerisolierung verwendet. Die Ventile, oder als platzsparende Option nur die Einsätze, werden zwischen Kammern eingebaut oder integriert. Die Türen werden zur Isolierung auf der Atmosphärendruckseite verwendet. Die Größen entsprechen den SEMI-Standards, kundenspezifische Abmessungen sind jedoch möglich.

Winkel- oder Membranventile (E)


sind Absperrvorrichtungen für Vakuumprozesse, bei denen ein optisch freier Durchgang nicht erforderlich ist. Die Winkelmaße (Einbaumaße) entsprechen den Maßen handelsüblicher Bauteile (z.B. denen von Winkelstücken, T-Stücken usw.). Die Austauschbarkeit ist somit gewährleistet.


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