Ventil-
Vakuumventile
Verschlüsse und Pendelventile (A)
werden hauptsächlich zur Turbo- und Kryopumpenisolierung verwendet. Besides the semiconductor industry, they are often used in FPD production systems, in the coating industry and R&D.
Steuerventile (B)
In Kombination mit einer Steuerung kontrollieren Sie den Druck in Vakuumprozessen. Das Steuerventil wird zwischen der Prozesskammer und der Pumpe installiert, um die Pumpgeschwindigkeit zu steuern. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Prozessdruckregelung.
Transfer Valves and Doors for Semi (C)
werden für die Schleusen- und Prozesskammerisolierung verwendet. The valves or inserts, are installed between chambers or are integrated. Die Türen werden zur Isolierung auf der Atmosphärendruckseite verwendet. Die Größen entsprechen den SEMI-Standards, kundenspezifische Abmessungen sind jedoch möglich.
Transfer Valves and Doors for Fpd and Pv (D)
are used for load lock, transfer and process chamber isolation. The products are tailored to each application which allows the addition of needed attributes to enhance customer system performance.
Winkel- oder Membranventile (E)
sind Absperrvorrichtungen für Vakuumprozesse, bei denen ein optisch freier Durchgang nicht erforderlich ist. The angle dimensions (mounting dimensions) are in conformity with the dimensions of commercial components (e. g. elbows, T-pieces, etc.) and ensure Exchangeability.
Special Valves for Accelerators and Synchrotrons (F)
are sector shut-off devices in storage rings in order to minimize the RF loss and to increase the beam life. Safety devices such as fast closing valves/shutters are used to prevent air inrush. Beam stoppers protect experiments from beam load.