| Messverfahren |
Cold Cathode / Pirani |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani |
Hot Filament Ion Gauge / Convection Enhanced Pirani / Piezo |
Messbereich
Torr |
7,6E-10 to 760 (1E-09 to 1000) |
1E-09 to 1000 (1,3E-09 to 1333) |
1e-9 to 1000 (1,3E-09 to 1333) |
| Genauigkeit (typisch) |
±30% of reading (7,6e-10 to 76 Torr)
±50% of reading (76 to 760 Torr)
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Ionisation: ±15% of reading (1e-8 to 5e-2 Torr)
Convection: ±10% of reaching (1e-3 to 400 Torr); ±2,5 % of reading (400 to 1000 Torr)
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±15% of reading (1e-9 to 0,1 Torr)
±10% of reading (0,1 to 150 Torr)
±2,5 % of reading (150 to 1000 Torr)
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| Einheiten |
Controller Dependent
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Torr
mbar
Pa
|
Torr
mbar
Pa
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| Anschlüsse |
Single Port |
Multi-port (2 or 3) |
Single Port |
| Temperature - Operating (Range)°C (°F) |
5 to 55 (40 to 130) |
0 to 40 (32 to 104) |
10 to 40 (50 to 104) |
| Temperature - Bakeout Max °F (°C) |
150 (300) |
200 (392), Electronics Removed |
105 (221), Electronics Removed |
| Anzeige-Typ |
Nein |
Digital |
Optional, Digital |
| Sollwertrelais |
Controller Dependent |
3 |
3, Optional |
| Ansprechverhalten des Relais |
Controller Dependent |
1 A at 30 VDC resistive, 0,3 A at 125 VAC non-inductive |
1 A at 30 VDC, resistive load |
| Analogausgang |
0 to 10,5 VDC |
Ionsationsmessbereich allein: One log-linear 0 to 9 Vdc, 1 V/decade, semi-log
Used as a full range gauge: Eine 0,5 bis 7 Vdc, 0,5 V/Dekade, Halblog Konvektionsmessgerät 1 und 2: Zwei 1-8 Vdc, 1 V/Dekade, semi-log oder zwei nichtlineare 0,375 bis 5,659 Vdc
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Absoluter Druck: Logarithmisch, 0,5 bis 7,0 VDC, 0,5 V/Dekade
Differentialdruck: Linear 1-5 VDC, -750 bis +250 Torr
(-1000 bis +333mbar; -100 bis +33 kPa)
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| Eingangsleistung |
14,5 to 30 VDC, ±2 W |
20 bis 28 VDC, 30 W geschützt gegen Falschpolung und transiente Überspannungen. |
RS-485/Analog: 24 VDC +10% to -15%, 1 Amp, 22 W nominal
DeviceNet: 24 VDC (11 bis 26,4 VDC) bei 0,2 A nominal
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| Communication |
Analog |
Analog
RS485 |
Analog |
| Schnittstelle |
FCC68/RJ45 8 Pin |
9 Pin Sub D Male |
15 Pin Sub D Male (RS485 / Analog)
5 Pin Micro Connector (DeviceNet)
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| Compliance and Standards |
CE
RoHS
UL
CSA |
CE
RoHS |
CE
RoHS |
