CMS Series
Plattform Dünnschichtdepositionssystem
CMS (Combinatorial Materials Science) Series
Advanced Research System Utilizing Sputtering or Electron Beam Techniques
Übersicht
- Extrem leistungsfähiges, fortschrittliches Forschungswerkzeug
- Konzipiert für spezifische Dünnschichtanwendungen wie GMR, CMS, Halbleiter, nanoskalige Bauelemente, Photonik und Photovoltaik.
- Das einzigartige Systemdesign kann für eine echte Ultrahochvakuumleistung konfiguriert werden.
- Praxiserprobtes und bewährtes Design
Anwendungen
- Riesiger Magnetwiderstand (GMR)
- Kombinatorische Materialwissenschaft (CMS)
- Halbleiter
- Supraleiter
- Nanoskalige Vorrichtungen
- Photonik
- Photovoltaik (PV)
- OLED
- Organische Schichten
FEATURES
Kammer
- Anpassbare Kammer, Grundplatte und Substratoptionen
- 18" D x 15" H SS Prozesskammer
Substrat-Handhabung
- Rotierende Substratplatte für bis zu 150 mm (6") Substrate
- Substratheizung auf 800°C mit Quarzlampenheizung
- Einzel- oder Mehrfach-Wafer-Schleusenkammer mit manueller oder computergesteuerter Probentransfer
- Hochpräziser PID-Temperaturregelkreis (bei Ausstattung mit Substratheizung)
Pumpen und Messtechnik
- 1500 l/s Kryo Pumpe
- Weitbereichsvakuummeter, atm bis 1x10-10 torr
- Hochpräzise Druckregelung im geschlossenen Regelkreis (sowohl vor- als auch nachgeschaltet für Sputteranwendungen)
Depositionsquellen
- Pneumatisch betätigte Quell- und Substratverschlüsse
- Konfigurierbar mit sechs oder mehr Magnetron-Depositionsquellen
- Kreuzkontaminationsschutz (falls zutreffend)
Qualität und Sicherheit
- Computersteuerung mit manuellem oder vollautomatischem Betrieb
- CE-Zeichen, UL-Listung, CSA, NRTL und andere branchenweit anerkannte Prüfzertifikate verfügbar.
- Rahmen aus stranggepresstem Aluminium mit Gehäuseteilen
- Leistungsverteilungsmodul mit Einzeldienstausfall
OPTIONS
Kammer
- UHV Konfiguration
- 24" Kammeraufrüstung
- Multi-Prozess-Kammer-Cluster-Werkzeugkonfigurationen
Pumpen und Messtechnik
- Magnet-Turbopumpe
- Trockenpumppaket
- Restgasanalysator zur in-situ Überwachung von Prozessgasen oder Kammerbestandteilen
Depositionsquellen
- Verfügbare lineare Mehrfachtaschen-UHV-Elektronenstrahl-Verdampfungsquelle (mehrere technische Optionen verfügbar)
- HV- oder UHV-kompatible Magnetron-Sputterquellen
Substrat-Handhabung
- Rotierende Substratplatte für bis zu 200 mm (8") Substrate
- Substratvorspannung für die Probenreinigung (typischerweise RF-Plasma zur Entfernung nativer Oxidschichten)
- Substratvorspannung während der Abscheidung, um die Eigenschaften der Filmmikrostruktur zu beeinflussen (wie z. B. die Kristallorientierung), die Filmverdichtung zu verbessern, die Filmhaftung zu fördern und eine verbesserte Schichthomogenität von co-gesputterten Legierungsfilmen zu fördern.
- Substratheizung auf 1100°C mit Elementtyp Heizer
- Substratkühlung (Flüssigkeit und/oder LN2)
- Probenwechselvorrichtung zur beidseitigen Beschichtung des Substrats
- Filmformwerkzeug (Klinge montiert auf einem hochpräzisen, computergesteuerten Arm)
- Indexierbares Magnetfeld am Substrat
- In-situ-Filmanalyse (Optischer Prozessmonitor, RHEED oder spektroskopisches Ellipsometer)
Architektur-Übersicht
Kurt J. Lesker Company® eKLipse™ Controls Software wird auf allen KJLC-Plattformen eingesetzt. Die Plattform eKLipse™ steuert eine .NET-Anwendung, die auf einem Windows-PC für die Benutzeroberfläche und den Rezepteditor ausgeführt wird. Die Anlagenautomatisierung erfolgt über einen eigenständigen Echtzeit-Controller.
Rezepte
- Graphical Recipe Builder – Erstellen Sie ganz einfach Rezepte, indem Sie auf die gewünschte Komponente klicken und die Attribute dieses Elements festlegen.
- Scripted Recipe Builder – Ein traditionellerer „scripted“ Rezepteditor zeigt mehr Details zum Setzen oder Überprüfen des Wertes einer Systemkomponente während eines Prozesses.
Zuverlässig
- Echtzeit-Controller – Das System arbeitet unabhängig vom Windows-Softwarepaket und setzt das Rezept bei einer Fehlfunktion der Software/des Computers fort.
- Unabhängige thermische Verdampfung Dünnschicht-Steuerung – Es gibt keine Software von Drittanbietern, die einen „Handshake“ oder „Handoff“ zwischen der Software des Systemherstellers und der Software des Dünnschichtreglers erfordert.
Unbegrenzte Rezepte, (import- und exportfähig)
- Unbegrenzte Anzahl von Rezepten mit Funktionen der Benutzersicherheitsstufe
- Rezept-Import-/Exportfähigkeit (zum Übertragen von Rezepten zwischen ähnlich ausgestatteten Werkzeugen)
- Jeder Rezeptschritt kann so konfiguriert werden, dass der Benutzer einen Wert ändern und Prozessbedingungen ändern kann, ohne das Planungsrezept zu beeinflussen. Zum Beispiel kann das Rezept zum Zeitpunkt der Ausführung den Benutzer zur Eingabe der gewünschten Schichtdicke oder Leistungseinstellung auffordern.
- Einheitliche Benutzererfahrung über alle Depositionstechniken und KJLC-Plattformen (Sputter, Thermal, EBeam, ALD) hinweg.
- Mehrkammer- und Multi-PC-Steuerung für Cluster-Tools
Benutzerdefinierter Diagrammschreiber und Datenaufzeichnung
- Benutzerdefiniertes Diagramm mit bis zu 10 gleichzeitigen Diagrammen
- Der Diagrammschreiber kann verwendet werden, um einen beliebigen Schaltpunkt oder Rückführparameter anzuzeigen.
- Automatische Protokollierung der einzelnen Rezeptschritte für alle Rezepte
- Kartendaten und Konfiguration können gespeichert werden
- Grafische Auswahl der aufzuzeichnenden Signale
Benutzerdefinierte Wartungszähler
- Benutzerdefinierte Wartungszähler sind für jede Komponente verfügbar
- Regelmäßige Wartungsverriegelungen und Rezeptprüfungen können für jeden Wartungszähler konfiguriert werden
- Sputter Target kiloWatt*Stunden- und kundenspezifische Materialverbrauchsverfolgung
Benutzersicherheit
- Unterstützt mehrere Benutzerkonten und Passwortebenen mit benutzerdefiniertem Sicherheitszugang für Rezepte und Bildschirme.
- Der Zugriff auf den Software-Bildschirm kann pro Benutzer angepasst werden
- Rezeptbearbeitung und manuelle Bedienfunktionen können benutzerbezogen zugeordnet werden;
- Benutzer mit vollem Zugriff haben die Möglichkeit, Rezepte und Steuerverriegelungen zu bearbeiten. Benutzer mit eingeschränktem Zugriff sind auf die Ausführung bestimmter Rezepte beschränkt und haben keine Kontrolle über Verriegelungen.
- Jedes Kontrollobjekt kann einer Standard-Benutzersicherheitsstufe zugeordnet werden.
- Der individuelle Zugriff auf den Bildschirm kann jedem Benutzer separat zugeordnet werden.
Funktionen der Mehrbenutzeranlage
- Das Systemereignisprotokoll erfasst alle An- und Abmeldeereignisse der Benutzer, alle ausgeführten Rezepte und Systemstatusmeldungen.
- Die Verriegelung von Vakuum- und Depositionsanlagen ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Systemstatus und schränkt gleichzeitig die nicht genehmigte Systemnutzung ein (kein Abschalten des Systembildschirms oder PCs erforderlich).
Fernwartungsdienstprogramm und Anwendungen
- Kundenspezifische Version von TeamViewer ermöglicht Fernwartung (kostenlose Android- und IOS-Anwendungen)
- Die Fernverbindung unterstützt die Systemüberwachung und -steuerung sowie die Dateiübertragung.
